X-ray study of dopant state in highly doped semiconductor single crystals
Using Si(As, P, B) and GaSb(Si) study, possibilities of X-ray diffraction methods for diagnostics of highly doped semiconductor crystals in characterization of dopant state – whether it is in the crystals in the form of solid solution or under various stages of its decomposition – are shown. The com...
Збережено в:
| Дата: | 2011 |
|---|---|
| Автори: | , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2011
|
| Назва видання: | Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/117624 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | X-ray study of dopant state in highly doped semiconductor single crystals / I.L. Shul’pina, R.N. Kyutt, V.V. Ratnikov, I.A. Prokhorov, I.Zh. Bezbakh, M.P. Shcheglov // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2011. — Т. 14, № 1. — С. 62-70. — Бібліогр.: 27 назв. — англ. |