Structure and properties of Mg, Al, Ti oxide and nitride layers formed by ion-plasma sputtering
Dielectric layers of Al₂O₃, MgO, AlN and TiO₂ were formed by using ion-plasma sputtering method. Their microstructure and electrophysical properties in the range of 20 - 400°C were investigated. The conductivity mechanism, depth of traps and losses mechanism were established. The ohmic contact forma...
Збережено в:
Дата: | 2014 |
---|---|
Автори: | , , , |
Формат: | Стаття |
Мова: | English |
Опубліковано: |
НТК «Інститут монокристалів» НАН України
2014
|
Назва видання: | Functional Materials |
Теми: | |
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/119115 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Цитувати: | Structure and properties of Mg, Al, Ti oxide and nitride layers formed by ion-plasma sputtering / V.Pidkova, I.Brodnikovska, Z.Duriagina, V.Petrovskyy // Functional Materials. — 2015. — Т. 22, № 1. — С. 34-39. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraineid |
irk-123456789-119115 |
---|---|
record_format |
dspace |
spelling |
irk-123456789-1191152017-06-05T03:04:14Z Structure and properties of Mg, Al, Ti oxide and nitride layers formed by ion-plasma sputtering Pidkova, V. Brodnikovska, I. Duriagina, Z. Petrovskyy, V. Characterization and properties Dielectric layers of Al₂O₃, MgO, AlN and TiO₂ were formed by using ion-plasma sputtering method. Their microstructure and electrophysical properties in the range of 20 - 400°C were investigated. The conductivity mechanism, depth of traps and losses mechanism were established. The ohmic contact formation was revealed in TiO₂/40X13 system through which an injection of charge carries from the alloy into the dielectric layer occurs and its contribution to the electric equivalent circuit of substitution was assessed. 2014-12-12 Article Structure and properties of Mg, Al, Ti oxide and nitride layers formed by ion-plasma sputtering / V.Pidkova, I.Brodnikovska, Z.Duriagina, V.Petrovskyy // Functional Materials. — 2015. — Т. 22, № 1. — С. 34-39. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. 1027-5495 DOI: http://dx.doi.org/10.15407/fm22.01.034 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/119115 en Functional Materials НТК «Інститут монокристалів» НАН України |
institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
collection |
DSpace DC |
language |
English |
topic |
Characterization and properties Characterization and properties |
spellingShingle |
Characterization and properties Characterization and properties Pidkova, V. Brodnikovska, I. Duriagina, Z. Petrovskyy, V. Structure and properties of Mg, Al, Ti oxide and nitride layers formed by ion-plasma sputtering Functional Materials |
description |
Dielectric layers of Al₂O₃, MgO, AlN and TiO₂ were formed by using ion-plasma sputtering method. Their microstructure and electrophysical properties in the range of 20 - 400°C were investigated. The conductivity mechanism, depth of traps and losses mechanism were established. The ohmic contact formation was revealed in TiO₂/40X13 system through which an injection of charge carries from the alloy into the dielectric layer occurs and its contribution to the electric equivalent circuit of substitution was assessed. |
format |
Article |
author |
Pidkova, V. Brodnikovska, I. Duriagina, Z. Petrovskyy, V. |
author_facet |
Pidkova, V. Brodnikovska, I. Duriagina, Z. Petrovskyy, V. |
author_sort |
Pidkova, V. |
title |
Structure and properties of Mg, Al, Ti oxide and nitride layers formed by ion-plasma sputtering |
title_short |
Structure and properties of Mg, Al, Ti oxide and nitride layers formed by ion-plasma sputtering |
title_full |
Structure and properties of Mg, Al, Ti oxide and nitride layers formed by ion-plasma sputtering |
title_fullStr |
Structure and properties of Mg, Al, Ti oxide and nitride layers formed by ion-plasma sputtering |
title_full_unstemmed |
Structure and properties of Mg, Al, Ti oxide and nitride layers formed by ion-plasma sputtering |
title_sort |
structure and properties of mg, al, ti oxide and nitride layers formed by ion-plasma sputtering |
publisher |
НТК «Інститут монокристалів» НАН України |
publishDate |
2014 |
topic_facet |
Characterization and properties |
url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/119115 |
citation_txt |
Structure and properties of Mg, Al, Ti oxide and nitride layers formed by ion-plasma sputtering / V.Pidkova, I.Brodnikovska, Z.Duriagina, V.Petrovskyy // Functional Materials. — 2015. — Т. 22, № 1. — С. 34-39. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. |
series |
Functional Materials |
work_keys_str_mv |
AT pidkovav structureandpropertiesofmgaltioxideandnitridelayersformedbyionplasmasputtering AT brodnikovskai structureandpropertiesofmgaltioxideandnitridelayersformedbyionplasmasputtering AT duriaginaz structureandpropertiesofmgaltioxideandnitridelayersformedbyionplasmasputtering AT petrovskyyv structureandpropertiesofmgaltioxideandnitridelayersformedbyionplasmasputtering |
first_indexed |
2025-07-08T15:14:54Z |
last_indexed |
2025-07-08T15:14:54Z |
_version_ |
1837092249662390272 |
fulltext |
�����������
��������
�������������������
�
�
�
��
��������������
����
� �������
�������
�
��������
�
���
����������
�
������� ���
�
�������������
�
�
���� ����
��
�� �� ��
�� �
��
��� �� �� ��
�
�� � ���
����� ����� �����
�
���
�
����
� � !
"�� ���#�
$� �" %�
����� ���
�
� �� ��
�� &���
$�
�" ���
�
� �" �����
� � '��(��
�����)� � ��� ��*+� '���� �����
�������� ����
�� �
�
���
������� �� ����
�� ��
�
�
�
� ���� ��� ��� ���
�
�� � �� ��� �� �
��� �������
��
����� �
��� ������� ���� ��� �
� ���� � ��� ����� ����
���� � ��� ���
�� ��� ���� �� �� �
���� �� � ��!�
�������� ��� ��������!��� �������
�� ����� �� � ��
��� ��
�
������
��
� �� � �
�����
���� ��� ����� ������� �� ������ ��
�!����� �� ���
�
"��#�$
�
���
�� ���� ����� �� ��%������ �� ��� �� �� ��
� �� ��� ����� ���� ��� ������� �� ���� ����
��� ��
���� ������� �� ��� ����� �� �&��!����� �� ���� ��
��
�������� ��
�
�
���
��������
� ���� �� � ��� ���
� �'��� ����
� ��� ��� ����
�
()*+�+, -+..+�/012,)..+�+ .1/30).-4 /+05�).3 �-60)7*8-�)97-) 90+- ��
�
�
�
�
���� ��� - ���
�
� :990)�+;1.1 -< ,-78+9*857*581 - 60)7*8+=-2-�)97-) 9;+>9*;1 ;
�-1/12+.) �� � ����?� @9*1.+;0).3 ,)<1.-2,3 /8+;+�-,+9*-� �05A-.1 210)�1.-4 0+;5�
�)7 - ,)<1.-2,3 /+*)8�� @9*1.+;0).+ +A812+;1.-) +,-�)97+�+ 7+.*17*1 ; 9-9*),)
���
�
"��B�$� �)8)2 7+*+83> /8+-9<+�-* -.C)7�-4 .+9-*)0)> 2184�1 -2 9/01;1 ; �-60)7*�
8-�)97-> 90+>� - +�).).3 )�+ ;701� ; 60)7*8-�)975� 67;-;10).*.5� 9<),5 21,)D).-4�
��
������� ��
��� ��������� �� ������������ ���
� � �����
� �� �
����
� ��� ���
��� �����������
���� !�������� ��!���������� ����������
����
�����������
�����������
����������������
()*+�+, �+..+�/012,+;+�+ .1/-0)..4 +�)8C1.+ ��)0)7*8-�.� �18- ��
�
�
�
� ���� ���
*1 ���
�
� E+90��C).+ F< ,�78+9*857*585 *1 )0)7*8+=�2-�.� ;019*-;+9*� 5 ��1/12+.� �� �
����?� G9*1.+;0).+ ,)<1.�2,- /8+;��.+9*�� �0-A-.5 2104�1..4 /19*+7 *1 ,)<1.�2,-
;*81*� G9*1.+;0).+ 5*;+8)..4 +,��.+�+ 7+.*17*5 ; 9-9*),� ���
�
"��B�$� �)8)2 47->
;��A5;1H*�94 �.C)7��4 .+9�F; 2184�5 2� 9/01;5 5 ��)0)7*8-�.-> �18� *1 +��.).+ >+�+
;.)9+7 ; )0)7*8-�.5 )7;�;10).*.5 9<),5 21,�D)..4�
�� �����
�����
������� �
� �
��� ����
�
���� �
��
����� �
�� ��� ������� �
�� �� ��� ��
�
��������� �������� �
�
�
����
�� �����
��
����� ������� �������� �
��
�����
� �
����
�� ���������� ��������� �
����
�
��� ����
���� ���� ���� ��� ���� �����
�� �� �� � ����
��
� �� �
������ ����� ���� �������
�� �
�
�������
�� ������� ����������� ���� ���
�� �������
� �� ��� ���� �� ���������� �����
�� �����
� �
� ����
���� ������ ��
�������� ��
�� ����
�
���������� �����
��
��� ���
� �
��
������ ��������� �� ���
���
�
��
����
� ������� � ������
� ��������
������� �!���� �
�
������� �
������� ����
�
�� " ��� ��� ��� ��� ��
� �� ������ ���
�
� �� ���
�� ����� �
�!���� ��� ���� #�$�
%������ �
�� �� ���������� ����������
�����
�� ����
� �
��� ��
�����
� �
�����
IJJK ���L�M�NM� O��������� P��� ���
� ��� K��� Q���MR� �� $��$N�
���S����S""�'������ �"����M��L"���������$� T ���M U J� VI�
������ �� J����� �
���
V
�� ���� !"�#$ %# &'!#$(
""
)
*+),
�!���������
� ���� �� ��� ��� ������ �
���
�����
� ������ �� ��� ����
��
� �
���
���� �
��� �
����
�
�� ��� ����� �
���
���
��� �
� ���
����� �
��� ��������� ��
������� ���� �� ������������ ����
�� ��� ���
�������� �����
�� �
�� ��������� ��� �
��
���� ���& �� ��� ���� �� ��������� '�(( )
*+(�,-
�� � ��
� �� �� .��� �����
��
������
�� ���� ����
�� ��� ���������
����
� ���� �� �����
�
�� ��� ���&�
� ��
��� ��� �� ��������� ����
� �!��
��� �!�
���������
� ����� ��������� ������
�� �
�
����� ����� ���
�
�� ����
� ����� ��
����� ���
��� �
��� ���������� �����������
.��� �����
�� ��� ���� �
�
������� ������
��
�� �� ��� ������� �
� ������ �
����
�
�
���
� ������������
/!���� �
�
������� �
��� ��� � ������
���� ��������� �� ��� ���� '�����- ��
���
�
� �� ��� ������� �������
'τ-� ���������
���� ����
���� '�-� �������� '�- �
� �����
�
���� � ��� '�-� �� �
���� � ������ �������
�
��� �����
�� ��� ��������� ���������
�
��� ������� ��� �� ���
� � ������ �
�������
�������� �
�� ��� �������
��� ��� �
���
��
����� � ����� � 0
�������
� ���
�
��
����
�
� �
��� ��������� �
� ����� �
����
���� � �� ���
� ������
������ �
���
1����
1 ���� � ��� ���
�� ��
�� *( �
�
��� ���������� �
��� ������ ���������
��
��������� �
��� ������ �
#�$�
.���� �
��� ��������� �
���
�� �� ����
��� ������ ��� ������� ��� �� ���
�
� �����
���
��������� 2.3�456(78 '29/7�
2���
-� ���� �
�
�������� ��
����
�� ���
��� �
� �
������ '0:, 9
����;/!
���-� 0
����� �� ������ ��� �����
� ������ �
������
�
� ������ �
��� ����&���
������� �
���
���������� ������� ��� ���������� ����������
���� �
���������� �
�����
���
� �����
�� ��
����� �
� ��� �������� ��������������� �
���
������� �
��� ��
���� ��� ������� �� �����
���
��� �
� ���
" �
���������� �����
��������� ��� ���� �� ��� ����� ��
����
'���� �-� 3������ �
�� �
��� ��������
��
'�- �
� ���������� ���� ��
��
� '��δ- ��
���
���
���� ��( <=� � &<=� �( &<= �
�
�(( &<= ���� ��&�
�� ������ ����� ����
�
%7,� ���� �
��� �������� ��������
� ����
���� ���� �� 3��
����� �
��� ������ �
�
����� ��� (�(+ >�
,���������
� �
��� ������ ���������� ����
�������� �� �
��� ���� ���� �
��� �� ���!
���������� ��� �������� 'ε′ ? ε- '�- ���� ���
�� ���
��� ��������� ���� '�-
ε∗ = ε′ − �ε′′� '�-
����� ��� ���������� ������ ���
����
� �� ���
��� �
��
�� ��� �������
ε′′ ? ε′��δ�
���
� =
ε′ε
�
�
�
�
'�-
����� � " ��� ��
���� ���� '
���-� � "
����&
��� �
��� ���������� ������
��� �� ������ ��
��������� �� ��� ������
���
� �����
� �� ��������� ��@
σ(ω) = σ
�
+ �π�ε′ε
�
��δ� '*-
����� σ
�
" �������� ��
��������� �� ��� ���
���� �����
�� <������� �� ����
�����
����
�
��� ���������� ����
�� �����
� � �����
����� ���
���� ��� ��
��
���������
����� ������ ��
��������� �� ��� ���� ����
�
��� �� ���! �� ����
�� '5- ��� ������
�
�� �� ���
�� ��� '+-@
∗ = ′ + � ′′� '5-
′ = σ
�
= �π�ε′ε
�
��δ� '+-
���
��� � ���
��� ���� ��
′′ = �π�ε′ε
�
� '4-
��� �A����� �
����������� σ
�
'ω- �� �
�����
� �����
�
����
�
�����
�� �
� ��
�� �!������� �� ���
�� ���@
σ(ω) = ω′′� 'B-
������ W�����
�� �������
��
����� ���
X��� J��
� ��� τ� ��� -� Y� IZ� [ .� \
��
�
�
�
��� �� ��N �]� $M
���
�
��#�$ �� ��] �]� $�
��� \P�� �� ��N÷��] �]� $�
��� ��#�$ �� M�N �]� ��
O��� �� J�������� �� �
�������� �� ��� �����
� ����
���� ���
� �����
�
/�-!01"2# & #$� 3 4 '�� �'& #�0 5'"5&' !&( "6 ���
���� !"�#$ %# &'!#$(
""
)
*+), �,
�����
��� ����� �
��! �� ���������� ���
���
�� �
��� ����� ������� �� ��� ���������
�
� ��� ����� �
�� �� �
���
����
�
��� �
��� ���������
���������
�����
�� ����
��
�
�� ����� �
�������� �� ������
�����
3������ �
�� �
��� ���������� �������
��������� �� �������� ����
��
��� ���� ��
�
������ �
��� ���� � �
�
������ �����
� "
�����
� �
��� �� ���� �
�
��
��� ���� ���
�� �������� ���
�� ���� 5 ± ��,C �
�����
��� �� �������� ��
�� �
�( ) 5((�,�
�� ���
��� �� ���
�����
0
����������
�
���
�� �� ������ ����
��� �������� �� ��� �������
�� ���������
����� ����� � ��
���
�� �
����� ������
����� 0
����������� ��� �!��� ��� �
��
����� ��� � �� ���
����� � ���� �
�
�
�
������ ��������� �
��� ���
��� '���� ��-�
����� �������� �
����
�����
�
������
����
��� ��������� ��� �
�� �
���
�� �
���
�
����� ���������
�� ����� ���� � ��
��������
����� +( >� D��� ��� ������ ��
�
������
�� �� ���
���� ����� ���
����� ��
��� ���
���� ���� ��� ��������� ��������� �
� ��
�
���� �
�
������
�� ��
���� ���&�� ����
�
'���� ��-� ��&�
� �
�� �����
� ���� ���
�!��� ��� �
�
�� ����
������ �������
��� �
� �!������
�
��� ��������� ����
��� �� ��
���� � ���� �
�� ����� �!����
���
�� �������� �
��� ������� �
��� �����
������� 0
���� ����� �
�!���=�� ���������
���� �
������ ��� �������� ��
��������� �
���
���������� ������
��� ��� ����� ���
��� �� �� ���
����
'���� ��- ������� ��� �!������� �������� ��
����� �����
��
���� �
��� ������ 0
�� �
����� �
��� ����� ���
���� ������� �
������
�
��� �����
� �
� �� ����
� �� �
� �
���
���
������
� �
��� ��� ����� " �
�����
�� ������ '���� ��-�
��� ��� ����� ��
����� �
���
�������
����
� ���� ��
���
� ������� �
���������
�
��� ����
�� ����
������ �
��� ���������
���
��� ���� ��
�� ��� � �
� �������
����
���
� �
��
���� � �����
���� ��� ��=� �
���
�� �� ����
� �� ������
���������� 0� ��
�������� ���� ��� ����
�����
� �� �������
��� �� ��� 1����
�1 ����
�� ����� ���
�� �� ����
�� ��� �����
�� ���
�� ����
�
�� ��
���� �
���������=����
�
� �����
��������
� ������ '���� ���
-� ����� ���
���� ����
����
� ���
�� �� �
��� �����
���� �
��
���
� ��=��� ��� �� ����� �����
��
���������� ����
� ��� ����������=�� �� �
����� �����
�� ���
��� ���������
� E���
�������� �� ���
��
� ���� ��� ����� ��
�� �� �
��� ��� ��
����� � ��������
� �
��
���� �
�!���
�� �������� ��
����
���
���&� �
��� ����� ���� ��� ���������
�����
�
������ ������� ���� ��� �����
�� �
��� ��� ����� ���� � ��������
��
�������� ���� ������� �!���
��
����
��
���
��
� #*$�
��� ���� ��
���� �
��� ��������� �
�
�
�
�� ��� ������ ��� ���
��� ���� �
���
��
����� ���
��� ���
��
� �� �
���=�
�
��� ������������� <��� ������ �
��� ����
������ ���� ����
���� �
� �������� ����
�
��� ���� � �
��
����� � ��������
� ��
�����
���� �� �
������
� ��� ��� �
� ��
� �����
���
��
� ��� ���������� ��
������
�� �
� ������
������
�� �
� �
��� ����� ��������� #5$�
O��� �� JZP
� ���� ��� �
� ���� � �� ��� ������� �� ����
S �� � U ��
�
�
�
^ �� � U ���
�
^ �� � U ����
�� � U ����
/�-!01"2# & #$� 3 4 '�� �'& #�0 5'"5&' !&( "6 ���
�7 ���� !"�#$ %# &'!#$(
""
)
*+),
9������� ��
��������� �
��� ������ ���
�
� ��
������ �� ���
�����
���� �� ��
�� ��� �
���
��� �� ��� ��� �� ��������
�
� ��� �����!� ����� *⋅�(�� Ω��⋅ ���
B⋅�(�� Ω��⋅ �� �
� *⋅�(�� Ω��⋅ ��� �������
������� 0
��� ����� ���������� ������ '�� ���
�� ��������� ����� *((�,- �
� �
��� '��
��� �� ��������� ����� �+(�,- �
���
��
�
������ �
��� ��
��������� ������ �� �����
�� ���������
�
��� ������ ��������
��
�
���� ������ (�4* �8 �
� (�*+ �8� �������
������� ����
�� 0
��� ��
���������� ������ ��
�� �������� �
�+(�, ��� ����� �
������ �
��
��������� �� �� ��� �
����� �
��
��
���� �� ��������� ���
��� ����� �����
� ��
��� �
����� ������� ���� �
������� ���
�� ��
���
�
��� ������=�� ���� ����� ���� ��� ���
�������
�
���� �
(�5B �8 �
����� �������
9������� ��
��������� �
��� ���������
�� 5⋅�(�� Ω��⋅ �� �� �⋅�(��� Ω��⋅ ��
���� ��� �� �������� ������
�� ��� ���
�
� �� �+(�, �
� �
������� �� �⋅�(�� Ω��⋅ ��
���� ��� �� �������� ������ �� 5((�,�
��� �����
�� ������� ��
��
�� ��� ����
�����
�� �� ��� ������� �
#+$ ��� �
������
����� ��� �������� ���������� �
���
���!���
����
��
�� � ��������� �
����� ����
�������� ���� ������ ���� �
��� �� �����
���� ��
�� �
5( ) �((�, ��� �������� ��
�
��������� �
��� ���� ��� ���������
�
���
���� �
(��* ) (�*6 �8 �������� � ��� �� �
�� �� �
��� �!� ��� �
��� ��� ������ ������
���� '��� ������� �
������
�� �������
� ��
� �8-� ��� ������� �
#4$ ����������� ���
����=�
� ���� �
��
��������� �
���� ��
�����
� �� ���� ����� ��� ������� �� ������
�� ���
�
�� �� ���� �������
�
� ���� �����
����
� �� ���� ��
�
� ��
����� ��� ������ �
��� ���� �
�������� ��
������� ���������
�
�� �
A��� �
�� ��� ����
�� ��
� �� ��
�
��������� =�
�� �������������
O��� $� ����� ��� � ����������
�� ��� ����!� ������' ��������!��� ��������� �� � �&������
��
� _`a� �� _`a� ��� _`a�
O��� �� O �&����� ����������
�� ��� ������'
��������!��� ����!� ��������� �� M�� �
/�-!01"2# & #$� 3 4 '�� �'& #�0 5'"5&' !&( "6 ���
���� !"�#$ %# &'!#$(
""
)
*+), �8
����� ��� ��
��������� �������� �
���
�
���������� ����� � 1��������������������
�����1 ��
�� ��
����� ���� ������� ���
������ �
��� �������� �
A����� �
�� ��� ���
�������� �����
�� ����� ���������� ������
���� �� ��
������ ���� �
��� ������ �
���
�������
�
���C5(F�* ����� �
����������
����� �� ���� ������
�
���
�������
���
���� �
�� ���
������� �
� �����=����
�
��� �� �� ��
����� ��� ��
��������� �
�
������ �� ��� �� ��������� ����� �+(�, ��
������ �� ���� �� ���������
�
(�B* �8
���� ����� '��� ��
� ��� �
��� �� *�� �8-�
� �� �� ���
�� ��� �� �������� ���
��
��
��� �
�������� ��
��������� �
��� ���
�������� ������ �� �����
���
� �����
�
'���� *- �
�
�� �����
�����
�� ����
��
�
�� '���� 5-� �
��� �
���������� ����� � ���
��
��������� �
������� ��
����� ���� ���
���
���
�� �����
�� ��� ��
��������� �
������
�� ������ �� � ����� �
��� ���� ������=����
����
�� �� 3�������� ��� ����
��
�� ��
�
���
�� �
���������� ��������@ �
��� �����
������
? (��� �������
�� ��� �
� ��
"
? (�+� 0
��� ���!��� ����
�� ������
����� �� (�6�
���������� ������ ����� ���������� �����
��
����� ��
���� �� ����������� ���
� �� ��
��� ���� �� ����&���
� ���������� �
���
����� ���
��� ���������� ������ ��� ��
�
����� ���� �������� ��
��������� #B$� ������
���� ����� ������
� ��� ��������� �������
�
� ���������� ����� �
��� ������� �
�����
�
�
� �����������
���� �������� �� ��
��������
�� ������ ��� ���� �
� ��� ����� �
����������
���� ������ ����� �� ����� �� ��� ����
�������
� ��
�����
��
0
�������
� ���� ���
��� ��� ��
������
�
�������� �
��� ���������� ����� ��
����� �
��� ���������� ���������� ��� ��� ���
�������� ������ �
��� ������
�����
�� ��
��
'�(� ) �(� <=- '���� +�- ��� ���������� ����
��
��
� �� ��������� �� ���������� ���@
�� (�5� �� (�((� �
��� ����� ������G
�� (��4 �� (�((H �
���G
�� (�(B ��
(�((5 �
��� �
�
�� (�(+ �� (�(� �
��
�
��� ������ �������� �
��� ���������� ��
�
���
� ��� ��������@
�� �5 �� ���B �
���
����� �������
�� �5 �� ���� �
����
��
*6 �� *+�5 �
��� �
� �
������
�
�� �H��
�� �H�H �
��
� ��� �������� �
��� �������
���� ��
���
� �
���� ���� �� ������ �� �����
���
�� �� ��
�� ���� �� ������=����
�����
���������� ��
��������
�� ������� ����� � ���
'�(�� ) �(�- �
� ���
�����
�� ���������
���� �
�����
�� ��
�� '�(�)�(�� <=
��
�������
�� �
� �( ) �(� <=
�� ��
�� ��
�
���������- #H$� �������� �
��� ���������� ����
��
��
� ����
�����
�� �
������
� �������
����=�� ��� ������ ������ �� ��� �������� ��
�
����������
D��� ��� �
������ �
��� �� �������� �
��� ������ ��� �
� ��
������ ����� �� �
��
���� ��
��
�� �� �
������ ��� ����������
���� ��
��
� '���� +�- �
��� �� ��������
��
�� �
�( ) 5((�, ��� �� ��� �������� ��
�
��������� ������� 0
��� ��� ������ �� �� �
��������� �+(�, �������� �
��� ����������
������ �� ��������� ���� ���������� ���� ���
�������� �
��� �������� ��
���������
'���� *-� ���� ���� �
������ ��
� ���� ���
�!��� ����
�� ���������� ������ ��� ���
������� �� � ��� �� ���! ����������������
���� ������� �
� ���� � ����� ��
����� ���
�� �� ��
���� ��
��������
� �
��&� ��� ����
����� %,����� �
�� �� � ����
�� ����������
�����
�� ����������
�
��� ����� ������
�� �����
�����
0� �� ����
���� ��� ���������� ������
��������� �
��� ��������� ���
��� ��
�� ��
O��� M� O �&����� ����������
�� �����!� ������� �� �� �����!���� ������� �� ��
������� �� ���
�������
�� �M� Q�R ��� ����� ��� � ����������
�� ��� ������� �� ��
����������� �� � �&������
��
� _`a Q�R�
/�-!01"2# & #$� 3 4 '�� �'& #�0 5'"5&' !&( "6 ���
�9 ���� !"�#$ %# &'!#$(
""
)
*+),
�� ��
�� ��� � �
� ����
������
�
��� ����
�����
��
� ���������
0� �� ����������� ���� ��
��������� �
������ ��� �
� ��
�� ���
�����
����
������ ���
��� �� ��� ��� �� �������� �
�
�������
����� *⋅�(�� Ω��⋅ ��� B⋅�(�� Ω��⋅ ��
�
� *⋅�(�� Ω��⋅ ��� ������������� ����
*((�, �
������ �+(�, �
��� �
� �+(�, �
��
��� �������� �������� ��
���������
����� ���� ��� ���������
� �
������ �
(�4* �8� (�*+ �8 �
� (�5B �8� �������������
��� ��� ������ �������� ��
��������� ���������
�� 5⋅�(�� Ω��⋅ �� �� �⋅�(�� Ω��⋅ �� �
�
�
������� ���� ��� ���������
� �
���� �
(�B* �8 �� ��� �� �������� ������ ��
5((�,� 0� ������� �� �� ��������� ��� �� ��
��
����
�� ����
�
��� ����� 15(F�*
��������� " ��� ���������� �����1�
0
������
� ��� ��������� ������� �
�
��� ���������� �����
�� ��
�������
� �
��
��������� ��� �
� �� ��
�������� �� ������
��� ���� �
� ����� �
��� ���������� ������
������ �������
� �
��� ��������
��
���
���
��
����������
�� b�\��� ������� J� ���� Y��
��
��� ����
�
� �� VX!�!
c_� Y�����_���_�V K������� d��!� �
���� X!�! Q���NR e�� d_ ������f�
�� b�\��� ������� J�\�g�
����!� [�h��Y��_�!��
��Y�Y����
_��� :& #$$"5;<(� =&> ?&�;�"$�� ##�
$N$ Q����R�
$� b�\��� ������� [�h��Y��_�!�� J�i�i�
��!
_��
���� !"�#$ :# &'!#$(� "$� �N� Q���$R�
�� b��� ������� [�Y��_�!�� �!@�AB;!%� :&1A
;#�!1# :# &'�� K��$� L� Q���$R�
M� ��P� �� �� �g����� W�j�! ��� �� ���� 4�'6�
4�!�� %$&'%($� �]k Q����R�
]� ��[�j ����_�� [�[�J������!� �??� )*� ���
Q���]R�
L� [�Y�� �!
_�� C� :# &'� 4�!� #�0 D�E!��� )� $N
Q����R�
k� d�P�Y����!_�� X�Y�Y� �!� a�!�� I�Y�W��!
_���
Y��
��
�� \���!� ������� ��
� W�
��! ��
����� J����� � O��� �� d��!�
��� Q���NR e��
W�
���f�
/�-!01"2# & #$� 3 4 '�� �'& #�0 5'"5&' !&( "6 ���
���� !"�#$ %# &'!#$(
""
)
*+), �F
|