Strain effect in surface acoustic wave elements with a piezoelectric acoustic line and sensors based on this effect

The results of investigations of strain effect in surface acoustic wave (SAW) elements with a piezoelectric ceramic (PC) acoustic line are presented. The choice of PC material for acoustic line is substantiated. Some recommendations concerning formation of interdigital transducer structures of the S...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Datum:2000
1. Verfasser: Lepikh, Ya.I.
Format: Artikel
Sprache:English
Veröffentlicht: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2000
Schriftenreihe:Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
Online Zugang:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/120225
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Strain effect in surface acoustic wave elements with a piezoelectric acoustic line and sensors based on this effect / Ya.I. Lepikh // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2000. — Т. 3, № 1. — С. 91-93. — Бібліогр.: 14 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-120225
record_format dspace
spelling irk-123456789-1202252017-06-12T03:05:43Z Strain effect in surface acoustic wave elements with a piezoelectric acoustic line and sensors based on this effect Lepikh, Ya.I. The results of investigations of strain effect in surface acoustic wave (SAW) elements with a piezoelectric ceramic (PC) acoustic line are presented. The choice of PC material for acoustic line is substantiated. Some recommendations concerning formation of interdigital transducer structures of the SAW element with PC acoustic line are given. For acoustic lines of different thicknesses fixed in cantilever a dependence of sensor responsivity on deforming force load is found. At optimum thickness of the PC acoustic line the sensor responsivity of 70 Hz/N is realized. The results of this work are compared to those obtained for single-crystal acoustic lines by other authors. A design of a pressure sensor with a strain-sensitive SAW element is presented, and some advantages of such sensors are discussed. 2000 Article Strain effect in surface acoustic wave elements with a piezoelectric acoustic line and sensors based on this effect / Ya.I. Lepikh // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2000. — Т. 3, № 1. — С. 91-93. — Бібліогр.: 14 назв. — англ. 1560-8034 PACS: 07.07. D, 77.84. L http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/120225 en Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language English
description The results of investigations of strain effect in surface acoustic wave (SAW) elements with a piezoelectric ceramic (PC) acoustic line are presented. The choice of PC material for acoustic line is substantiated. Some recommendations concerning formation of interdigital transducer structures of the SAW element with PC acoustic line are given. For acoustic lines of different thicknesses fixed in cantilever a dependence of sensor responsivity on deforming force load is found. At optimum thickness of the PC acoustic line the sensor responsivity of 70 Hz/N is realized. The results of this work are compared to those obtained for single-crystal acoustic lines by other authors. A design of a pressure sensor with a strain-sensitive SAW element is presented, and some advantages of such sensors are discussed.
format Article
author Lepikh, Ya.I.
spellingShingle Lepikh, Ya.I.
Strain effect in surface acoustic wave elements with a piezoelectric acoustic line and sensors based on this effect
Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
author_facet Lepikh, Ya.I.
author_sort Lepikh, Ya.I.
title Strain effect in surface acoustic wave elements with a piezoelectric acoustic line and sensors based on this effect
title_short Strain effect in surface acoustic wave elements with a piezoelectric acoustic line and sensors based on this effect
title_full Strain effect in surface acoustic wave elements with a piezoelectric acoustic line and sensors based on this effect
title_fullStr Strain effect in surface acoustic wave elements with a piezoelectric acoustic line and sensors based on this effect
title_full_unstemmed Strain effect in surface acoustic wave elements with a piezoelectric acoustic line and sensors based on this effect
title_sort strain effect in surface acoustic wave elements with a piezoelectric acoustic line and sensors based on this effect
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
publishDate 2000
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/120225
citation_txt Strain effect in surface acoustic wave elements with a piezoelectric acoustic line and sensors based on this effect / Ya.I. Lepikh // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2000. — Т. 3, № 1. — С. 91-93. — Бібліогр.: 14 назв. — англ.
series Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
work_keys_str_mv AT lepikhyai straineffectinsurfaceacousticwaveelementswithapiezoelectricacousticlineandsensorsbasedonthiseffect
first_indexed 2025-07-08T17:29:45Z
last_indexed 2025-07-08T17:29:45Z
_version_ 1837100738338095104
fulltext 91����������� � �� ����� � ���� ������ ������ ������������ ���� ������ ������ �� ��� � ���� �� � ���� �������� ��� ����� � � ����� ! ���� � � ��"� ����"�#"� $���� %"� �"� &%'&$" ��� ����� ����� ��������� ����� ���������������������������������������� �������� ������������������������������ � ������� ��������� � �!������������������� �������� ������������ �� ������ "���������� ����� ���������������������� ����� ������ �� ����������� ����� ���������������� � �!� ��� ����������� � ����� ������������ ������ ����#������$ ����������� ����� ������ ����� ���� �������������� �������� ����� ��� ��� ��������������"������������� �#��� �������������� ��� ������������� �� ������������� ����� ����������������#� "���� ������ ���������������������������������������������� ������������� �� ���� ����#������� ����������� ����� ���������#������������%���������� ����������� ���� ��� ������ ������#�� ��$ ���%�����&����������� ����#�������� �� � ����� �� ��#�����%����������'�(� �� ) ����$ ���%��� '�()���������*��+�� �� �� ����#� � ��� ������ ��������� ��������� ����# � ����������� ���������������� � �������(�����������,� ����� � ��������������������������� �����-."����� �� ��� ���� �� ��� ���������� �� �������$ ����"����� �!�-." ��� �� �������������������������������#� �������"���� ��� ������ �,������������������� ������������������ �� �� ������#�������� ������������ ������"������/��������� ��������� ����� �� ���#���#�������������������������� ����� ��������������������������"������� ���� ����#� �� ���� ����������� ��������������#�� ����������#������������ �� ����������������������������� ������������������� ��� ����� ������������������������ ��������0�#��������������"���� ���� ��������� ����� �,��� ������ �� ��������������������� ������������ ������������ ������������������������������ ���� ��� ������#������ $ �����#��1�������� ���� �������� ��#���������� ������������������ ������������ �������� ������� ����������� �������������������������������������� ���������������#�����������#�� ���������������� ������� ������� �������������������������������������������� ��#����������������� 2���������������������� ����� �� ������������������ �������� ���� ��� �!���� ���������������%������������� �� ����34����� ����������������������������� ����� ����� �������������������� ���� �� ������������� ����� �� -���������#����� ��#�� �������34� ������������������ � ������5�6���"��#� � ����/������������������������ �� ������������������������ �����������������7������(���� ������ ��� ���������������������������� ����������������#����� ���� �������"���� ���� �,������� ��������������������# � ������������������������������������� ������� ��� 3�4 8�9:�9:��.��::�6+��; ������������������ ��������� ������������������������� ����������������� ������������ ������������� ��������������� ������������ �� �� � ����(���� ���� )�� ��� *�� � �+�� �!�� ���,�� -����(���� � - ���� .������ *������ +�� �&�� !� �!�� �����"�/����� �� ������ �0�%�1�� ���� �� ���������"������ ����� ����������������� ��������� �������� � ������� ����������� �!����� ���� ����� �����%���������� ���� ��� �34�� ��� ����� ����� ���������������"��� �������� �34� �������� �� ��� ����� ����� ��� � ������������� � �� ���� ���������� ����������� �� ������ � � ������������ ������ ������� �� ����� ����� �!���� ���������34���� ���������������������<������ ������������ �� ������ ����,������� �/��� ��� ����������� �� ����������� � � ������� �����������#� ��� �� �� ��� ����� ����� ��� � ����������� � ����,������ � ����34���� ����� ����� ���� ������� �����������#�� :9�2%)=���������%����"������ ����� ���������,������� ������������������������ ������������#���� ��� ����� ������ �#� ������ � ���������������� � � �� ����� ��� ������������ �� ����������������� �! ��� ���� ������������������ �� �������������� � � ��� ���������������� ����� !�"��� �#� ������� � ����� � � ���� ��� ���������������%���������� ���� ��������� ��� ������� 3��������������&:�9��77>��������� �� ����������������������77>���������� ���� ����������9+�9��99� 7& �� ��$2%3������ ������������#������������������� ��������� �������������������������� !������������������ ����� �34� ������������������ ������������%�������������������;'"���#��� ��?�������# ���� ���������������������������34�������� ������8����� � ������#�� � ����������������������������������������� ����>�������� ����� ����������������������� ����������#�� ���������#���������� �����>������@� �����>������ ������� ��������������!���� �!������ ������������ ������������ ��$ ��� ���������������� ������34���� �����������"��# �� ������������� ��� ������������������������������ ����# ������������� ��$ ���#���������#� ����� �����#��� � ��� �������� ��������,����� � ���� ������������������� ��� �����#��"��������������� ���������������������� �� ���� ����-."�� ��������� � ���������������������������� 34� ��������������������� �� ����� ������������������� $ ��� ����������� ����������#���������� ����������������� -."���� �� ������������� ����������&���*�� "����������� ������� �����34�������������� �������� -."���������� ����� �������������� ������<��������34 ������� ��� ����&9×:� &������ �/����������������������� �������� �/� ����"���,�������� ������������ �������������� ������9����������� �������������� ������������������� �� 4���� ����������������������������������������������� �����������"���-."������������������������,����� � ���� 4������#��������,��������������� ����������#� �� ������ � ���� ��� ��$ ���#� ���������� ��������������� ����� �������������� ��$ ���#���9�������9�A2%��"���-."������ �������������� ��������������� �*λ��������λ������������� ��������7��� �������� ������ ������� ����� ������������ -�������� ������������������������ �-."�� ������� ��� �������������� � ������� ������� ����������#�������� ��� �!���� ���� ��� ����������%������������� �� ��� � �������#��"��� �!� ������������� ��� ��������� ��������� ����� ��$ ���#������������ ����������� ������,������� �� ����������� ��� �����"�������������������� ��$ ���#���� ������������������������������ ������������������������ ����������������������� ��������������� �,������������� �������� ��$ ��� ����� ��� -."� �������������� ���#� ���� ������������������������ ��$ ���#������������������ �� ������ � � �������������� ���������� ���� ���� ����� ������� ��$ ��������������������������������������-."����������� ��������������������� �� ����������������������������� ��$ ��� ��������� �� ������������1��������� ����������� ������ ��$ ���#������������� ����������������������������� ����� �!���� �����������34���� ������������+�� -����� ����������������������#���� �34������� �/�������� ����������� �����#� ����������� ������#���������������� �������������������������������������������������/����� �������������"������������ �� �����,�� ��������� ������ ����� ���������������$ ��� ����� �������������� ���� "���� ���� �����#�� ������������������������� �� ����������� ��������A��� ����� �������� �����<����� ��� ���� �,���� �34� ���������A�������� �� �569��3'"�&� ���� �����#�A ������B���������+�99��3C0��&������ ��� ���0���������.���-����� ���� �3�#������0 ������ $��������������� ��� ���� �� � ��� ����� ������� ����������������� ����� �� ����� �!� ���������� ����� ��$ ���#���������∆��D� ��E��9����������� ��������� ��������������� ��������� �����34������������-."���� �� �� ��������� �/������������������-���*�����������������/����� ���������������������� ���������������� ��$ ���#������� ����� �������� ����������� ����������4��1��������������� � �������������� ����� �������������������������������� ����������/����������� ���������%���������������������� ���� ������� ���� ������� �!���� �������������������� �/�����������,������� ��������� �� 8 ( ) ( ��# � 4 � � ( �� �5 �� α µ ρ σ & �� & &� & 99 9 99 & 9 &� &� +    − − +≈    ∆ � 2��� ( ) ( )∫= 6 �� �� �5 �4 6 4 ζζσσ � � &�&� && �������� ������� ������������������������� ���������� �������6� ������� �! �����>������&�������������� �������������� � ����� ���� �����������#��>���D��)�9�������� �������������������#���� � �������� � ����/���� ������#�>�#9�������� �!��������#��� ���� ���������� �������>�ρ9�������� ������������#������� ���#>��9�����µ9�����F� ��G�� �� � ������3������G�������� �����������#>�α(����������� �������� ���������/��������� ���� �������>�(���������� ����� ��> &� & ��σ ���������/����� ������#� � �������������� ����������������� ��������<����&����������/���� ������ ��$ ���#������� 5������������������ ����� ����� ������34���� ��������������,� ��������"��� �������� �������� ����� �"�" �+&��� �,�� -���� ������������������������� ��� � ������������������� ����������������� ����� ��������� ��#8������������ ������� ������ ��������� �������7!�D�9�+&>������������� �������# ( **ε )ε �D�*:9H+9>��������������������������������������%�� �#���δ�I�9�995>� ���� ������������ ��������A���������� �&99>�����4 ������ ����� ���(��D�59*�C��"��� ��������� ������� �� �9����9�5�=��(���������������������/���� ������∆� �4��� ���������������������������������������"���� �,���� $ ������������ ���������������� ����������� ��������������� �� ��� �������,��� ����� ������#�� ��$ ���%��&������������� � � � %�&�� ����������� � �������� ������������ � �� ������� ������ �������� �!���� ���8� �� E�34� ��� ����� ����>� &� E� -."� ������������#������������������� ��������� �������������������������� 7*�� ��$2%3������ � ��������������� � �!������������8������������� �������� ����������#������������3��������� ���� ������������������ �������������������� ��������<����&������ ������������ �� ��������"������������ ��� ������������������������������� � ��������������� ��������������#������&����"����� ����� ������������ ���∆��D�9����4�D�9����� �� ������*� ������������ ���������������������,��������������������34�����������,� �������� �������������������������������������������� �����������#���������������������� ���������1 ���������� ��������������#����������� �������� ��������� ���������� ������������ ����� � ���������#���������������������� ������<����������� �������� ����,������� ���������������# �������������������������������������������� ��� ���� ����������������34�����������,������ ��� ����������� �����������#����:9�2%)=������������ ��� ������������� ����������#� ���� ������"���� ����,����� ��� �� ��� �� ����� ���� � -����� ������������������ ����������������� ������� ���������(������������������������������#���������#��� ��� ��#���� ��#���#��������������34���������%��� 1������������������������������ �!���� ������ ����� �������� ����������������� ����������� �������������#�� ������� ����� ����� �����������-����,������������� ��� ������ ��� <���*�� �� ���������� �������� ��� ���� ������ �����������#����������� ��� � ������������������� ��������� ������� ��� ����� ���������"��� ���������������� � ��� ������ ���������������� �������� �� ������� ����� ���� ������������������������� ������������������������������� ��� �� ����� ��� ������������� '���� ����� 1����������������� �������� ����� �!���� ������������� ����������������#������ ������������ �������������� ������ ��#������$ ������������������ �������� ��������������� � ����� �����������"������������� ��������� �������������� �����������������������������������$ ������������������� J���� ����%�������������� ������� �������������� ����� ������������������ ���������������������������������� ��#� ����������������������� �#���������������������� �������� �/��������������������� ������ ���������������� 8��������� �� .�K� ���,��2�<�"������������� ����#���� � � ���� ��� ������ ������ �������� ����������#� � � "9�� �� $ ���%� � � ��������� ���������� ����� ���� � �������� �/�������� ��#���� ���� � �������� ���� &*9� &*6�� ���3����� +&��������<��$��4������ # ����1���� �����A�� �766��=���F��,� ��76:�� &� F �K�? �#�����K�A�C�����,���F �K�A���,���� ������ � ��� ��� �!� ��� �� ��������� �� ���������#��������� $ ���%� ��� ���� ����� ���� 0 ������� ))�8�� ���� ��� � ���� � � ��� $$����� ���&++6�&+��� ��766�� *� -�A�?���,���� K�C�;�� ����,��� K�3�3������#�,� =�?�4����#�,��A��� ����� �� �� ������ ����������� ������ �� ��#����� ��� �� ���� ����0 �������� ���� �6&��6*�� ��� 3�����4�� � �� �� ���� � � ��,�5 ���� � �� ��� ��� �� �� ���� �-��A��� ���� ��766�� +� K�-������ ,����L�K�������?� ������� ������� ������ ��� �! ���'�() �� ��#����� ��� �� ���� ����0 ������� ))�9����"� (����" 4 :�� ()��9��� ���� &9���&9�+� ��766�� �� '�J�"�� ����� ������ ������������ �� ������� �!0� ))����' � ��� ������ �� ��� �*���&��� ���� &*��&*7� ��767�� 5� 3�. ����� <�;�%����� <�4������ 4�A� ���� ;����� ������� �� ��������� ������������ ��� ���� ����� ��������� ���� ���� 3�-�3����������� -�� ))�;� ��"� �� "� $��&��� ���� ++5*�++57� ��766�� :� ��F��.����������;���0�%������,��� �-�. �,���� ��� �����!�#� ��� �������� �����#� � ������� ��������� ��� ���%������������ ��� ������ ���� 0 �������� ���*��+��� ��� 4������� ��� �� <����� � � �: ���� � � ���� 3����� -������� ���� M� 3������ 4�� � N3��%�������������7�O��C����� 3 �����0���������.��� ��77��� 6� K�K�C�� ���� (� �.��,���,�#��� ?�L� ����,���� ��� ���� .�����,� ���%���������� ���� ��� ���� 0 �������� ���� �7�5��� �� 4������� ��� �� <����� �� � �: ���� � � ���� 3����� -������� ��� M�3������4�� �� N3��%�������������7�P��C�����3 �����0������ ���.��� ��77��� 7� F��-�;���,���������������� � ����;'"� �#��� ����� ��� ��� �! �������� ���� 0 ������� ))� ���� � ������ (���� �� �� ����9� ; �� ���� � ������� � � 5��=����� ���� +6��9� ��766�� �9� F��� ;���,��� � ����� � � ��%����� ��� ��������� �� ��� ���������������� ��57�� ������� � � ���)���� ����� ��� � ������ !�� ����������� -�������4�� ���L�����C� �����;����Q�� J�������������0���� ��779�� ��� K�3� �,����,���<�� � ������ ������ ��#����� ��� ���%������������ ���� 0 �������� ���� ���&�� ��� 4������� ��� �� <����� � � �: ���� � � ���� 3����� -������� ���� M� 3������ 4�� � N3��%�������������7�P��C����� 3 �����0���������.��� ��77��� �&� F��-�;���,���F �K�? �#����� ��=�C�������,��������#����� �������������� � � �!� ������� ���������������� ����0 ������� )) 8�� ���� ��� � ���� � � ��� $$������ ���� &*7��&*77� ��766�� �*� F��-�;���,������ �/��������� � � ���� ���� ������������ ��� �! �������� ���� ���������� ��$ ��� ����� ��� ��� ����0 �������� ��� 5*� ���)���� ��� ���� � � ����������� ����M�"������4�� ���A��� ���� ��77*�� �+� F��-�;���,��� �3�3����������� -������������� � � ���� ��$ ���# ����������� � � ���������� ������� ��� �!��������� ����0 ������ ))�(���� �������� 5��5��: �� ����("��=��� ��� ���� :6�6*� ��779�� � � � � � %�&�� $���� ���� ����� ������ �� � �� ����� ��� ������8� �� E� ���������� ����� �� ������� ������ ���>� &� E� �� ������� ����������>� *� E� �/��>� +� E ��������� �����>� �� E� ����� %�&�� �� ������ ��$ ���#� ��������∆��� 5�� ������� ����� ������4� � ����� ��,��� ���34������� ����,������ � 9��� ����� ��9� �&�� �������� �*�� � � � � �� �� � ∆������ � � �