Diffusion model of defect formation in silicon under light ion implantation
In the given paper the model of defect formation in silicon under light ion implantation is proposed which describes the whole complex of available experimental results qualitatively, and in a number of cases rather well quantitatively. In contrast to the models existing by now, it takes into accoun...
Збережено в:
| Дата: | 2000 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2000
|
| Назва видання: | Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/121130 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Diffusion model of defect formation in silicon under light ion implantation / M.V. Voznyy, P.M. Gorley, V.A. Schenderovskyy // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2000. — Т. 3, № 3. — С. 271-274. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. |