Рост, структура и оптические свойства многослойных рентгеновских зеркал W/Mg₂Si
Электронно-микроскопическими и рентгенодифракционными методами исследована структура многослойных рентгеновских зеркал (МРЗ) W/Mg₂Si. Показано, что в процессе изготовления МРЗ W/Mg₂Si наблюдается межслоевое взаимодействие, в результате которого формируется перемешанная зона на границе Mg₂Si-W из сил...
Збережено в:
| Дата: | 2017 |
|---|---|
| Автори: | , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2017
|
| Назва видання: | Журнал физики и инженерии поверхности |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/122605 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Рост, структура и оптические свойства многослойных рентгеновских зеркал W/Mg₂Si / Л.Е. Конотопский, И.А. Копылец, В.А. Севрюкова, Е.Н. Зубарев, В.В. Мамон, В.В. Кондратенко // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2017. — Т. 2, № 1. — С. 20-28. — Бібліогр.: 18 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-122605 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1226052017-07-16T03:03:24Z Рост, структура и оптические свойства многослойных рентгеновских зеркал W/Mg₂Si Конотопский, Л.Е. Копылец, И.А. Севрюкова, В.А. Зубарев, Е.Н. Мамон, В.В. Кондратенко, В.В. Электронно-микроскопическими и рентгенодифракционными методами исследована структура многослойных рентгеновских зеркал (МРЗ) W/Mg₂Si. Показано, что в процессе изготовления МРЗ W/Mg₂Si наблюдается межслоевое взаимодействие, в результате которого формируется перемешанная зона на границе Mg₂Si-W из силицида вольфрама. Установлено, что состав перемешанной зоны зависит от толщины слоев, составляющих период рентгеновского зеркала. В МРЗ W/Mg₂Si с периодом 3,1 нм формируется перемешанная зона силицида вольфрама с преимущественным содержанием вольфрама: W₃Si и/или W₅Si₃. В МРЗ с периодом 14,2 нм состав перемешанной зоны близок к WSi₂. Плотности перемешанных зон в МРЗ W/Mg₂Si с периодами 3,1 нм и 14,2 нм составляют 16,1 г/см³ и 8,2 г/см³ соответственно. Проведена оценка оптических свойств МРЗ W/Mg₂Si. Показано, что на длине волны 9,89 нм отражательная способность неоптимизированного по конструкции МРЗ W/Mg₂Si находится на уровне с оптимизированным МРЗ W/B₄C. Електронно-мікроскопічними та рентгенодифракційними методами досліджено структуру багатошарових рентгенівських дзеркал (БРД) W/Mg₂Si. Показано, що підчас виготовлення БРД W/Mg₂Si спостерігається міжшарова взаємодія, в результаті якої формується змішана зона на границі Mg₂Si-W з силіциду вольфраму. Встановлено, що склад змішаних зон залежить від товщини шарів, що складають період рентгенівського дзеркала. У БРД W/Mg₂Si з періодом 3,1 нм формується змішана зона силіциду вольфраму з переважним вмістом кремнію: W₃Si та/або W₅Si₃. У БРД з періодом 14,2 нм склад змішаної зони близький до WSi₂. Щільність змішаних зон у БРД W/Mg₂Si з періодами 3,1 нм та 14,2 нм складає 16,1 г/см³ та 8,2 г/см³ відповідно. Оцінені оптичні властивості БРД W/Mg₂Si. Показано, що на довжині хвилі 9,89 нм відбивна здатність не оптимізованого по конструкції БРД W/Mg₂Si знаходиться на рівні з оптимізованим БРД W/B₄C. Transmission electron microscopy and low-angle X-ray diffraction methods are used for investigations of W/Mg₂Si multilayers structure. It is shown that due to interlayer interaction mixed zones of tungsten silicide are formed on the Mg₂Si-W interface during deposition of W/Mg₂Si multilayers. It is found that the composition of the mixed zones depends on thickness of the layers in X-ray mirror. In the W/Mg₂Si multilayers with period of 3.1 nm the intermixed zones of tungsten silicide with the predominant content of tungsten namely W₃Si and/or W₅Si₃, can be formed. In the multilayers with a period of 14.2 nm the composition of mixed zones is close to WSi₂. Densities of mixed zones in multilayers with periods of 3.1 nm and 14.2 nm are 16.1 g/cm³ and 8.2 g/cm³ respectively. It is shown that reflectivity of the non-optimized in construction W/Mg₂Si multilayer at wavelength of 9.89 nm is close to that of optimized W/B₄C multilayer. 2017 Article Рост, структура и оптические свойства многослойных рентгеновских зеркал W/Mg₂Si / Л.Е. Конотопский, И.А. Копылец, В.А. Севрюкова, Е.Н. Зубарев, В.В. Мамон, В.В. Кондратенко // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2017. — Т. 2, № 1. — С. 20-28. — Бібліогр.: 18 назв. — рос. 2519-2485 PACS: 07.85.Fv, 61.05.cm, 61.05.cf, 68.37.Og, 68.65.Ac http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/122605 539.216.2 ru Журнал физики и инженерии поверхности Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| description |
Электронно-микроскопическими и рентгенодифракционными методами исследована структура многослойных рентгеновских зеркал (МРЗ) W/Mg₂Si. Показано, что в процессе изготовления МРЗ W/Mg₂Si наблюдается межслоевое взаимодействие, в результате которого формируется перемешанная зона на границе Mg₂Si-W из силицида вольфрама. Установлено, что состав перемешанной зоны зависит от толщины слоев, составляющих период рентгеновского зеркала. В МРЗ W/Mg₂Si с периодом 3,1 нм формируется перемешанная зона силицида вольфрама с преимущественным содержанием вольфрама: W₃Si и/или W₅Si₃. В МРЗ с периодом 14,2 нм состав перемешанной зоны близок к WSi₂. Плотности перемешанных зон в МРЗ W/Mg₂Si с периодами 3,1 нм и 14,2 нм составляют 16,1 г/см³ и 8,2 г/см³ соответственно. Проведена оценка оптических свойств МРЗ W/Mg₂Si. Показано, что на длине волны 9,89 нм отражательная способность неоптимизированного по конструкции МРЗ W/Mg₂Si находится на уровне с оптимизированным МРЗ W/B₄C. |
| format |
Article |
| author |
Конотопский, Л.Е. Копылец, И.А. Севрюкова, В.А. Зубарев, Е.Н. Мамон, В.В. Кондратенко, В.В. |
| spellingShingle |
Конотопский, Л.Е. Копылец, И.А. Севрюкова, В.А. Зубарев, Е.Н. Мамон, В.В. Кондратенко, В.В. Рост, структура и оптические свойства многослойных рентгеновских зеркал W/Mg₂Si Журнал физики и инженерии поверхности |
| author_facet |
Конотопский, Л.Е. Копылец, И.А. Севрюкова, В.А. Зубарев, Е.Н. Мамон, В.В. Кондратенко, В.В. |
| author_sort |
Конотопский, Л.Е. |
| title |
Рост, структура и оптические свойства многослойных рентгеновских зеркал W/Mg₂Si |
| title_short |
Рост, структура и оптические свойства многослойных рентгеновских зеркал W/Mg₂Si |
| title_full |
Рост, структура и оптические свойства многослойных рентгеновских зеркал W/Mg₂Si |
| title_fullStr |
Рост, структура и оптические свойства многослойных рентгеновских зеркал W/Mg₂Si |
| title_full_unstemmed |
Рост, структура и оптические свойства многослойных рентгеновских зеркал W/Mg₂Si |
| title_sort |
рост, структура и оптические свойства многослойных рентгеновских зеркал w/mg₂si |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| publishDate |
2017 |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/122605 |
| citation_txt |
Рост, структура и оптические свойства многослойных рентгеновских зеркал W/Mg₂Si / Л.Е. Конотопский, И.А. Копылец, В.А. Севрюкова, Е.Н. Зубарев, В.В. Мамон, В.В. Кондратенко // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2017. — Т. 2, № 1. — С. 20-28. — Бібліогр.: 18 назв. — рос. |
| series |
Журнал физики и инженерии поверхности |
| work_keys_str_mv |
AT konotopskijle roststrukturaioptičeskiesvojstvamnogoslojnyhrentgenovskihzerkalwmg2si AT kopylecia roststrukturaioptičeskiesvojstvamnogoslojnyhrentgenovskihzerkalwmg2si AT sevrûkovava roststrukturaioptičeskiesvojstvamnogoslojnyhrentgenovskihzerkalwmg2si AT zubareven roststrukturaioptičeskiesvojstvamnogoslojnyhrentgenovskihzerkalwmg2si AT mamonvv roststrukturaioptičeskiesvojstvamnogoslojnyhrentgenovskihzerkalwmg2si AT kondratenkovv roststrukturaioptičeskiesvojstvamnogoslojnyhrentgenovskihzerkalwmg2si |
| first_indexed |
2023-10-18T20:42:12Z |
| last_indexed |
2023-10-18T20:42:12Z |
| _version_ |
1796150890721181696 |