Микроскоп МКИ-2М
Предназначен для использования в технологическом процессе при производстве изделий электронной техники для контроля дефектов структур интегральных микросхем на фотошаблонах и полупроводниковых пластинах. Может применяться для исследования фотошаблонов и полупроводниковых пластин в светлом и темном п...
Збережено в:
| Дата: | 1999 |
|---|---|
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
1999
|
| Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/122690 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Микроскоп МКИ-2М // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 1. — С. 30. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-122690 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1226902017-07-18T03:03:11Z Микроскоп МКИ-2М Научно-промышленные центры СНГ Предназначен для использования в технологическом процессе при производстве изделий электронной техники для контроля дефектов структур интегральных микросхем на фотошаблонах и полупроводниковых пластинах. Может применяться для исследования фотошаблонов и полупроводниковых пластин в светлом и темном поле отраженного света при разработке технологических процессов, в лабораторной практике и для массовых контрольных операций внешнего вида изделий при производстве ИС. 1999 Article Микроскоп МКИ-2М // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 1. — С. 30. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/122690 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Научно-промышленные центры СНГ Научно-промышленные центры СНГ |
| spellingShingle |
Научно-промышленные центры СНГ Научно-промышленные центры СНГ Микроскоп МКИ-2М Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
Предназначен для использования в технологическом процессе при производстве изделий электронной техники для контроля дефектов структур интегральных микросхем на фотошаблонах и полупроводниковых пластинах. Может применяться для исследования фотошаблонов и полупроводниковых пластин в светлом и темном поле отраженного света при разработке технологических процессов, в лабораторной практике и для массовых контрольных операций внешнего вида изделий при производстве ИС. |
| format |
Article |
| title |
Микроскоп МКИ-2М |
| title_short |
Микроскоп МКИ-2М |
| title_full |
Микроскоп МКИ-2М |
| title_fullStr |
Микроскоп МКИ-2М |
| title_full_unstemmed |
Микроскоп МКИ-2М |
| title_sort |
микроскоп мки-2м |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
1999 |
| topic_facet |
Научно-промышленные центры СНГ |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/122690 |
| citation_txt |
Микроскоп МКИ-2М // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 1. — С. 30. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| first_indexed |
2023-10-18T20:42:23Z |
| last_indexed |
2023-10-18T20:42:23Z |
| _version_ |
1796150898490081280 |