Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ
Предназначена для ремонта и устранения дефектов фотошаблонов, используемых в производстве ИС, ГИС и полупроводниковых приборов. Устранение непрозрачных дефектов осуществляется путем воздействия сфокусированного лазерного излучения на маскирующее покрытие фотошаблона, устранение прозрачных дефектов —...
Збережено в:
| Видавець: | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
|---|---|
| Дата: | 1999 |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
1999
|
| Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/122692 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Цитувати: | Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 1. — С. 38. — рос. |
Репозиторії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-122692 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1226922017-07-18T03:03:21Z Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ Научно-промышленные центры СНГ Предназначена для ремонта и устранения дефектов фотошаблонов, используемых в производстве ИС, ГИС и полупроводниковых приборов. Устранение непрозрачных дефектов осуществляется путем воздействия сфокусированного лазерного излучения на маскирующее покрытие фотошаблона, устранение прозрачных дефектов — путем лазерно-стимулированного осаждения металлоорганического соединения. 1999 Article Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 1. — С. 38. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/122692 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Научно-промышленные центры СНГ Научно-промышленные центры СНГ |
| spellingShingle |
Научно-промышленные центры СНГ Научно-промышленные центры СНГ Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
Предназначена для ремонта и устранения дефектов фотошаблонов, используемых в производстве ИС, ГИС и полупроводниковых приборов. Устранение непрозрачных дефектов осуществляется путем воздействия сфокусированного лазерного излучения на маскирующее покрытие фотошаблона, устранение прозрачных дефектов — путем лазерно-стимулированного осаждения металлоорганического соединения. |
| format |
Article |
| title |
Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ |
| title_short |
Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ |
| title_full |
Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ |
| title_fullStr |
Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ |
| title_full_unstemmed |
Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ |
| title_sort |
установка ремонта топологии на фотошаблонах эм-5001ам |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
1999 |
| topic_facet |
Научно-промышленные центры СНГ |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/122692 |
| citation_txt |
Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 1. — С. 38. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| first_indexed |
2023-10-18T20:42:24Z |
| last_indexed |
2023-10-18T20:42:24Z |
| _version_ |
1796150898700845056 |