2025-02-23T14:05:15-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-122692%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T14:05:15-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-122692%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T14:05:15-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T14:05:15-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ

Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ

Предназначена для ремонта и устранения дефектов фотошаблонов, используемых в производстве ИС, ГИС и полупроводниковых приборов. Устранение непрозрачных дефектов осуществляется путем воздействия сфокусированного лазерного излучения на маскирующее покрытие фотошаблона, устранение прозрачных дефектов —...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 1999
Series:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Subjects:
Научно-промышленные центры СНГ
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/122692
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
id irk-123456789-122692
record_format dspace
spelling irk-123456789-1226922017-07-18T03:03:21Z Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ Научно-промышленные центры СНГ Предназначена для ремонта и устранения дефектов фотошаблонов, используемых в производстве ИС, ГИС и полупроводниковых приборов. Устранение непрозрачных дефектов осуществляется путем воздействия сфокусированного лазерного излучения на маскирующее покрытие фотошаблона, устранение прозрачных дефектов — путем лазерно-стимулированного осаждения металлоорганического соединения. 1999 Article Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 1. — С. 38. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/122692 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
topic Научно-промышленные центры СНГ
Научно-промышленные центры СНГ
spellingShingle Научно-промышленные центры СНГ
Научно-промышленные центры СНГ
Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Предназначена для ремонта и устранения дефектов фотошаблонов, используемых в производстве ИС, ГИС и полупроводниковых приборов. Устранение непрозрачных дефектов осуществляется путем воздействия сфокусированного лазерного излучения на маскирующее покрытие фотошаблона, устранение прозрачных дефектов — путем лазерно-стимулированного осаждения металлоорганического соединения.
format Article
title Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ
title_short Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ
title_full Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ
title_fullStr Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ
title_full_unstemmed Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ
title_sort установка ремонта топологии на фотошаблонах эм-5001ам
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
publishDate 1999
topic_facet Научно-промышленные центры СНГ
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/122692
citation_txt Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 1. — С. 38. — рос.
series Технология и конструирование в электронной аппаратуре
first_indexed 2023-10-18T20:42:24Z
last_indexed 2023-10-18T20:42:24Z
_version_ 1796150898700845056

Similar Items