2025-02-24T02:25:34-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-122734%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-24T02:25:34-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-122734%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-24T02:25:34-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-24T02:25:34-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Использование эффекта Кирлиан для контроля качества полупроводниковых пластин

Использование эффекта Кирлиан для контроля качества полупроводниковых пластин

Метод и оборудование для его реализации позволяют проводить контроль полупроводниковой пластины и отдельных ее участков.

Saved in:
Bibliographic Details
Main Author: Добровольский, Ю.Г.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 1999
Series:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/122734
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!

Internet

http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/122734

Similar Items