Масоперенесення у нанорозмірних шарах перехідних металів під дією йонно-плазмового оброблення
Досліджено особливості масоперенесення компонентів у системі Ni–Cu–Cr із шарами нанорозмірної товщини внаслідок йонно-плазмового оброблення різної тривалости. Виявлену поверхневу сеґреґацію атомів Cu та Cr пов’язано із ґенерацією радіяційних дефектів і проявом зворотнього Кіркендаллового ефекту. Обг...
Збережено в:
| Дата: | 2017 |
|---|---|
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Ukrainian |
| Опубліковано: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2017
|
| Назва видання: | Металлофизика и новейшие технологии |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/123469 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Масоперенесення у нанорозмірних шарах перехідних металів під дією йонно-плазмового оброблення / А.К. Орлов, І.О. Круглов, І.Є. Котенко, С.І. Сидоренко, С.М. Волошко // Металлофизика и новейшие технологии. — 2017. — Т. 39, № 3. — С. 349-361. — Бібліогр.: 29 назв. — укр. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-123469 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1234692017-09-06T03:02:56Z Масоперенесення у нанорозмірних шарах перехідних металів під дією йонно-плазмового оброблення Орлов, А.К. Круглов, І.О. Котенко, І.Є. Сидоренко, С.І. Волошко, С.М. Металлические поверхности и плёнки Досліджено особливості масоперенесення компонентів у системі Ni–Cu–Cr із шарами нанорозмірної товщини внаслідок йонно-плазмового оброблення різної тривалости. Виявлену поверхневу сеґреґацію атомів Cu та Cr пов’язано із ґенерацією радіяційних дефектів і проявом зворотнього Кіркендаллового ефекту. Обговорюється можливість розробки нового ефективного способу йонно-плазмового керування хемічною активністю нанорозмірних шарів перехідних металів, що використовуються для формування топології мікро- та наноелектронних пристроїв і захисту їх від корозії. Исследованы особенности массопереноса компонентов в системе Ni–Cu–Cr со слоями наноразмерной толщины вследствие ионно-плазменной обработки различной продолжительности. Обнаруженная поверхностная сегрегация атомов Cu и Cr связывается с генерацией радиационных дефектов и проявлением обратного эффекта Киркендалла. Обсуждается возможность разработки нового эффективного способа ионно-плазменно¬го управления химической активностью наноразмерных слоёв переходных металлов, используемых для формирования топологии микро- и наноэлектронных устройств и защиты их от коррозии. The features of mass transfer of components in the Ni–Cu–Cr system with layers of nanometre thickness because of ion–plasma processing of different duration are investigated. The observed surface segregation of Cu and Cr atoms is associated with the generation of radiation defects and manifestation of the inverse Kirkendall effect. The possibilities of developing a new effective method of ion–plasma control of the reactivity of nanoscale layers of transition metals used to form the topology of micro- and nanoelectronic devices and protect them from corrosion are discussed. 2017 Article Масоперенесення у нанорозмірних шарах перехідних металів під дією йонно-плазмового оброблення / А.К. Орлов, І.О. Круглов, І.Є. Котенко, С.І. Сидоренко, С.М. Волошко // Металлофизика и новейшие технологии. — 2017. — Т. 39, № 3. — С. 349-361. — Бібліогр.: 29 назв. — укр. 1024-1809 DOI: 10.15407/mfint.39.03.0349 PACS: 61.72.up, 61.80.Jh, 68.37.Hk, 81.15.Jj, 81.40.Wx, 81.65.-b, 81.70.Jb http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/123469 uk Металлофизика и новейшие технологии Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Ukrainian |
| topic |
Металлические поверхности и плёнки Металлические поверхности и плёнки |
| spellingShingle |
Металлические поверхности и плёнки Металлические поверхности и плёнки Орлов, А.К. Круглов, І.О. Котенко, І.Є. Сидоренко, С.І. Волошко, С.М. Масоперенесення у нанорозмірних шарах перехідних металів під дією йонно-плазмового оброблення Металлофизика и новейшие технологии |
| description |
Досліджено особливості масоперенесення компонентів у системі Ni–Cu–Cr із шарами нанорозмірної товщини внаслідок йонно-плазмового оброблення різної тривалости. Виявлену поверхневу сеґреґацію атомів Cu та Cr пов’язано із ґенерацією радіяційних дефектів і проявом зворотнього Кіркендаллового ефекту. Обговорюється можливість розробки нового ефективного способу йонно-плазмового керування хемічною активністю нанорозмірних шарів перехідних металів, що використовуються для формування топології мікро- та наноелектронних пристроїв і захисту їх від корозії. |
| format |
Article |
| author |
Орлов, А.К. Круглов, І.О. Котенко, І.Є. Сидоренко, С.І. Волошко, С.М. |
| author_facet |
Орлов, А.К. Круглов, І.О. Котенко, І.Є. Сидоренко, С.І. Волошко, С.М. |
| author_sort |
Орлов, А.К. |
| title |
Масоперенесення у нанорозмірних шарах перехідних металів під дією йонно-плазмового оброблення |
| title_short |
Масоперенесення у нанорозмірних шарах перехідних металів під дією йонно-плазмового оброблення |
| title_full |
Масоперенесення у нанорозмірних шарах перехідних металів під дією йонно-плазмового оброблення |
| title_fullStr |
Масоперенесення у нанорозмірних шарах перехідних металів під дією йонно-плазмового оброблення |
| title_full_unstemmed |
Масоперенесення у нанорозмірних шарах перехідних металів під дією йонно-плазмового оброблення |
| title_sort |
масоперенесення у нанорозмірних шарах перехідних металів під дією йонно-плазмового оброблення |
| publisher |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| publishDate |
2017 |
| topic_facet |
Металлические поверхности и плёнки |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/123469 |
| citation_txt |
Масоперенесення у нанорозмірних шарах перехідних металів під дією йонно-плазмового оброблення / А.К. Орлов, І.О. Круглов, І.Є. Котенко, С.І. Сидоренко, С.М. Волошко // Металлофизика и новейшие технологии. — 2017. — Т. 39, № 3. — С. 349-361. — Бібліогр.: 29 назв. — укр. |
| series |
Металлофизика и новейшие технологии |
| work_keys_str_mv |
AT orlovak masoperenesennâunanorozmírnihšarahperehídnihmetalívpíddíêûjonnoplazmovogoobroblennâ AT kruglovío masoperenesennâunanorozmírnihšarahperehídnihmetalívpíddíêûjonnoplazmovogoobroblennâ AT kotenkoíê masoperenesennâunanorozmírnihšarahperehídnihmetalívpíddíêûjonnoplazmovogoobroblennâ AT sidorenkosí masoperenesennâunanorozmírnihšarahperehídnihmetalívpíddíêûjonnoplazmovogoobroblennâ AT vološkosm masoperenesennâunanorozmírnihšarahperehídnihmetalívpíddíêûjonnoplazmovogoobroblennâ |
| first_indexed |
2023-10-18T20:44:13Z |
| last_indexed |
2023-10-18T20:44:13Z |
| _version_ |
1796150976635207680 |