Кинетика образования и роста микродефектов в кристаллах
В обзоре описаны основные результаты многочисленных прямых наблюдений образования микродефектов (преципитатов кислорода и дислокационных петель) в кристалле кремния при его выращивании и термообработках. Кратко изложены термодинамические представления об образовании частиц новой фазы в пересыщенном...
Збережено в:
| Дата: | 2006 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2006
|
| Назва видання: | Успехи физики металлов |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/125801 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Кинетика образования и роста микродефектов в кристаллах / С.Й. Олиховский, М.М. Белова, Е.В. Кочелаб // Успехи физики металлов. — 2006. — Т. 7, № 3. — С. 135-171. — Бібліогр.: 81 назв. — рос. |
Репозиторії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-125801 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1258012017-11-05T03:02:57Z Кинетика образования и роста микродефектов в кристаллах Олиховский, С.Й. Белова, М.М. Кочелаб, Е.В. В обзоре описаны основные результаты многочисленных прямых наблюдений образования микродефектов (преципитатов кислорода и дислокационных петель) в кристалле кремния при его выращивании и термообработках. Кратко изложены термодинамические представления об образовании частиц новой фазы в пересыщенном твердом растворе кислорода в кремнии. Представлены классические подходы к описанию кинетики преципитации кислорода. Описаны современные модели кинетики роста и распада преципитатов и дислокационных петель в кремнии. В обзорі наведено основні результати численних прямих спостережень утворення мікродефектів (преципітатів кисню та дисльокаційних петель) у кристалі кремнію при його вирощуванні та термообробках. Коротко подано термодинамічні уявлення про утворення частинок нової фази у перенасиченому твердому розчині кисню у кремнії. Представлено клясичні підходи до опису кінетики преципітації кисню. Описано сучасні моделі кінетики росту і розпаду преципітатів та дисльокаційних петель у кремнії. In the review, the main results of numerous direct observations of microdefects’ formation (oxygen precipitates and dislocation loops) in a silicon crystal during its growth and heat treatments are described. Thermodynamic conceptions concerning formation of new-phase particles in the supersaturated solid solution of oxygen in silicon are briefly presented. Classical approaches to the description of oxygen-precipitation kinetics are represented too. Modern models of kinetics of growth and decomposition of precipitates and dislocation loops in silicon are described. 2006 Article Кинетика образования и роста микродефектов в кристаллах / С.Й. Олиховский, М.М. Белова, Е.В. Кочелаб // Успехи физики металлов. — 2006. — Т. 7, № 3. — С. 135-171. — Бібліогр.: 81 назв. — рос. 1608-1021 PACS: 61.72. Bb, 61.72. Cc, 61.72.Jj, 61.72.Yx, 64.60.Qb, 82.60.Nh, 82.60.Qr DOI: https://doi.org/10.15407/ufm.07.03.135 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/125801 ru Успехи физики металлов Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| description |
В обзоре описаны основные результаты многочисленных прямых наблюдений образования микродефектов (преципитатов кислорода и дислокационных петель) в кристалле кремния при его выращивании и термообработках. Кратко изложены термодинамические представления об образовании частиц новой фазы в пересыщенном твердом растворе кислорода в кремнии. Представлены классические подходы к описанию кинетики преципитации кислорода. Описаны современные модели кинетики роста и распада преципитатов и дислокационных петель в кремнии. |
| format |
Article |
| author |
Олиховский, С.Й. Белова, М.М. Кочелаб, Е.В. |
| spellingShingle |
Олиховский, С.Й. Белова, М.М. Кочелаб, Е.В. Кинетика образования и роста микродефектов в кристаллах Успехи физики металлов |
| author_facet |
Олиховский, С.Й. Белова, М.М. Кочелаб, Е.В. |
| author_sort |
Олиховский, С.Й. |
| title |
Кинетика образования и роста микродефектов в кристаллах |
| title_short |
Кинетика образования и роста микродефектов в кристаллах |
| title_full |
Кинетика образования и роста микродефектов в кристаллах |
| title_fullStr |
Кинетика образования и роста микродефектов в кристаллах |
| title_full_unstemmed |
Кинетика образования и роста микродефектов в кристаллах |
| title_sort |
кинетика образования и роста микродефектов в кристаллах |
| publisher |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| publishDate |
2006 |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/125801 |
| citation_txt |
Кинетика образования и роста микродефектов в кристаллах / С.Й. Олиховский, М.М. Белова, Е.В. Кочелаб // Успехи физики металлов. — 2006. — Т. 7, № 3. — С. 135-171. — Бібліогр.: 81 назв. — рос. |
| series |
Успехи физики металлов |
| work_keys_str_mv |
AT olihovskijsj kinetikaobrazovaniâirostamikrodefektovvkristallah AT belovamm kinetikaobrazovaniâirostamikrodefektovvkristallah AT kočelabev kinetikaobrazovaniâirostamikrodefektovvkristallah |
| first_indexed |
2023-10-18T20:49:23Z |
| last_indexed |
2023-10-18T20:49:23Z |
| _version_ |
1796151199971409920 |