Фізико-технологічні основи осадження тонких ВТНП-плівок YBa₂Cu₃O₇₋δ
Виконано ретельні теоретичні й експериментальні дослідження та модернізацію окремих процесів лазерної та магнетронної метод осадження з метою створення YBa₂Cu₃O₇₋δ плівок та бар’єрних шарів CeО₂ з контрольованою кристалічною структурою і високими надпровідними властивостями плівок YBa₂Cu₃O₇₋δ. У рез...
Збережено в:
| Дата: | 2006 |
|---|---|
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Ukrainian |
| Опубліковано: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2006
|
| Назва видання: | Успехи физики металлов |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/125803 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Фізико-технологічні основи осадження тонких ВТНП-плівок YBa₂Cu₃O₇₋δ / В.С. Фліс, В.М. Пан, В.А. Комашко, В.О. Москалюк, І.І. Пешко // Успехи физики металлов. — 2006. — Т. 7, № 4. — С. 189-241. — Бібліогр.: 37 назв. — укр. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-125803 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1258032017-11-05T03:03:04Z Фізико-технологічні основи осадження тонких ВТНП-плівок YBa₂Cu₃O₇₋δ Фліс, В.С. Пан, В.М. Комашко, В.А. Москалюк, В.О. Пешко, І.І. Виконано ретельні теоретичні й експериментальні дослідження та модернізацію окремих процесів лазерної та магнетронної метод осадження з метою створення YBa₂Cu₃O₇₋δ плівок та бар’єрних шарів CeО₂ з контрольованою кристалічною структурою і високими надпровідними властивостями плівок YBa₂Cu₃O₇₋δ. У результаті роботи розроблено фізико-технологічні основи процесу одержання надпровідних плівок YBa₂Cu₃O₇₋δ на діелектричних (сапфірових) підложжях із використанням бар’єрного шару CeО₂, як методою двопроменевого лазерного осадження, так і магнетронного розпорошення. Проведены тщательные теоретические и экспериментальные исследования и модернизация отдельных процессов лазерного и магнетронного методов осаждения с целью создания YBa₂Cu₃O₇₋δ пленок и барьерных слоев СеО₂ с контролируемой кристаллической структурой и высокими сверхпроводящими свойствами пленок YBa₂Cu₃O₇₋δ. В результате работы разработаны физико-технологические основы получения сверхпроводящих пленок YBa₂Cu₃O₇₋δ на диэлектрических (сапфировых) подложках с использованием барьерного слоя CeО₂, как методом двухлучевого лазерного осаждения, так и магнетронного распыления. The careful experimental and theoretical studies followed by a subsequent improvement of high-Tc superconducting YBa₂Cu₃O₇₋δ films’ and buffer CeО₂ layers’ deposition technologies with a use of laser and magnetron deposition techniques are carried out in order to obtain СеО₂-buffered high-Tc superconducting YBa₂Cu₃O₇₋δ films with a controllable crystalline structure and high superconducting properties. As a result of this work, the physical and technological backgrounds of the deposition processes of perfect YBa₂Cu₃O₇₋δ films on dielectric (sapphire) substrates with a use of buffer CeО₂ layers are developed for both two-beam laser and magnetron deposition techniques. 2006 Article Фізико-технологічні основи осадження тонких ВТНП-плівок YBa₂Cu₃O₇₋δ / В.С. Фліс, В.М. Пан, В.А. Комашко, В.О. Москалюк, І.І. Пешко // Успехи физики металлов. — 2006. — Т. 7, № 4. — С. 189-241. — Бібліогр.: 37 назв. — укр. 1608-1021 PACS: 61.72.Lk, 74.72.Bk, 74.76.Bz, 81.15.Cd, 81.15.Fg, 81.40.Rs, 85.25.-j DOI: https://doi.org/10.15407/ufm.07.04.189 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/125803 uk Успехи физики металлов Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Ukrainian |
| description |
Виконано ретельні теоретичні й експериментальні дослідження та модернізацію окремих процесів лазерної та магнетронної метод осадження з метою створення YBa₂Cu₃O₇₋δ плівок та бар’єрних шарів CeО₂ з контрольованою кристалічною структурою і високими надпровідними властивостями плівок YBa₂Cu₃O₇₋δ. У результаті роботи розроблено фізико-технологічні основи процесу одержання надпровідних плівок YBa₂Cu₃O₇₋δ на діелектричних (сапфірових) підложжях із використанням бар’єрного шару CeО₂, як методою двопроменевого лазерного осадження, так і магнетронного розпорошення. |
| format |
Article |
| author |
Фліс, В.С. Пан, В.М. Комашко, В.А. Москалюк, В.О. Пешко, І.І. |
| spellingShingle |
Фліс, В.С. Пан, В.М. Комашко, В.А. Москалюк, В.О. Пешко, І.І. Фізико-технологічні основи осадження тонких ВТНП-плівок YBa₂Cu₃O₇₋δ Успехи физики металлов |
| author_facet |
Фліс, В.С. Пан, В.М. Комашко, В.А. Москалюк, В.О. Пешко, І.І. |
| author_sort |
Фліс, В.С. |
| title |
Фізико-технологічні основи осадження тонких ВТНП-плівок YBa₂Cu₃O₇₋δ |
| title_short |
Фізико-технологічні основи осадження тонких ВТНП-плівок YBa₂Cu₃O₇₋δ |
| title_full |
Фізико-технологічні основи осадження тонких ВТНП-плівок YBa₂Cu₃O₇₋δ |
| title_fullStr |
Фізико-технологічні основи осадження тонких ВТНП-плівок YBa₂Cu₃O₇₋δ |
| title_full_unstemmed |
Фізико-технологічні основи осадження тонких ВТНП-плівок YBa₂Cu₃O₇₋δ |
| title_sort |
фізико-технологічні основи осадження тонких втнп-плівок yba₂cu₃o₇₋δ |
| publisher |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| publishDate |
2006 |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/125803 |
| citation_txt |
Фізико-технологічні основи осадження тонких ВТНП-плівок YBa₂Cu₃O₇₋δ / В.С. Фліс, В.М. Пан, В.А. Комашко, В.О. Москалюк, І.І. Пешко // Успехи физики металлов. — 2006. — Т. 7, № 4. — С. 189-241. — Бібліогр.: 37 назв. — укр. |
| series |
Успехи физики металлов |
| work_keys_str_mv |
AT flísvs fízikotehnologíčníosnoviosadžennâtonkihvtnpplívokyba2cu3o7d AT panvm fízikotehnologíčníosnoviosadžennâtonkihvtnpplívokyba2cu3o7d AT komaškova fízikotehnologíčníosnoviosadžennâtonkihvtnpplívokyba2cu3o7d AT moskalûkvo fízikotehnologíčníosnoviosadžennâtonkihvtnpplívokyba2cu3o7d AT peškoíí fízikotehnologíčníosnoviosadžennâtonkihvtnpplívokyba2cu3o7d |
| first_indexed |
2023-10-18T20:49:23Z |
| last_indexed |
2023-10-18T20:49:23Z |
| _version_ |
1796151200186368000 |