2025-02-23T12:56:44-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-126025%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T12:56:44-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-126025%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T12:56:44-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T12:56:44-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Исследование топологических особенностей формирования рельефа поверхности пленок нитрида титана на кремниевой подложке при диффузионном массопереносе и отжиге методом сканирующей туннельной микроскопии

Исследование топологических особенностей формирования рельефа поверхности пленок нитрида титана на кремниевой подложке при диффузионном массопереносе и отжиге методом сканирующей туннельной микроскопии

Рассмотрены особенности структуры и свойств наноструктурных пленок нитрида титана на кремниевой подложке и построена физико-математическая модель формирования рельефа их поверхности на основе деформационной теории. Получена зависимость длины волны поверхностной гофрировки от толщины пленки. Исследов...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Author: Цысарь, М.А.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України 2013
Series:Сверхтвердые материалы
Subjects:
Получение, структура, свойства
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/126025
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!

Similar Items

2025-02-23T12:56:44-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&rows=40&rows=5&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-126025%22&qt=morelikethis
2025-02-23T12:56:44-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&rows=40&rows=5&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-126025%22&qt=morelikethis
2025-02-23T12:56:44-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T12:56:44-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response

Similar Items