Сверхтвердые покрытия систем (Zr–Ti–Si)N и (Ti–Hf–Si)N, полученные методом вакуумно-дугового осаждения из сепарированного потока
Методом вакуумно-дугового осаждения с применением импульсной стимуляции на подложку и сепарации ионно-плазменного потока получены многокомпонентные твердые покрытия на основе нитридов металлов переходной группы, легированных кремнием. Изучены физико-механические и триботехнические характеристики пок...
Збережено в:
| Дата: | 2014 |
|---|---|
| Автори: | , , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
2014
|
| Назва видання: | Сверхтвердые материалы |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/126092 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Сверхтвердые покрытия систем (Zr–Ti–Si)N и (Ti–Hf–Si)N, полученные методом вакуумно-дугового осаждения из сепарированного потока / В.М. Береснев, С.А. Клименко, И.Н. Торяник, А.Д. Погребняк, О.В. Соболь, П.В. Турбин, С.С. Гранкин // Сверхтвердые материалы. — 2014. — № 1. — С. 40-48. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. |