2025-02-23T15:14:25-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-126152%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T15:14:25-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-126152%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T15:14:25-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T15:14:25-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния

Полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния

Обоснована целесообразность применения полировальных суспензий из алмазных микропорошков, порошков нитрида бора и МАХ-фазы Ti₃AlС₂ при исследовании закономерностей полирования монокристаллического карбида кремния и использовании в качестве критериев эффективности процесса обработки приведенной велич...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Филатов, Ю.Д., Ветров, А.Г., Сидорко, В.И., Филатов, А.Ю., Ковалев, С.В., Курилович, В.Д., Данильченко, М.А., Прихна, Т.А., Боримский, А.И., Куцай, А.М., Полторацкий, В.Г.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України 2015
Series:Сверхтвердые материалы
Subjects:
Исследование процессов обработки
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/126152
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Description
Summary:Обоснована целесообразность применения полировальных суспензий из алмазных микропорошков, порошков нитрида бора и МАХ-фазы Ti₃AlС₂ при исследовании закономерностей полирования монокристаллического карбида кремния и использовании в качестве критериев эффективности процесса обработки приведенной величины энергии переноса, плотности энергии переноса и плотности колебательной энергии, затрачиваемой на образование частиц шлама. В результате компьютерного моделирования микро- и нанопрофиля обработанной поверхности построены профилограммы, по которым определены значения параметров шероховатости и характерные соотношения, связывающие их с наиболее вероятным размером частиц шлама.

Similar Items