Полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния

• Дата: 2015
• Автори: Филатов, Ю.Д., Ветров, А.Г., Сидорко, В.И., Филатов, А.Ю., Ковалев, С.В., Курилович, В.Д., Данильченко, М.А., Прихна, Т.А., Боримский, А.И., Куцай, А.М., Полторацкий, В.Г.
• Формат: Стаття
• Мова: Russian
• Опубліковано: Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України 2015
• Назва видання: Сверхтвердые материалы
• Теми: Исследование процессов обработки
• Онлайн доступ: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/126152
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния / Ю.Д. Филатов, А.Г. Ветров, В.И. Сидорко, А.Ю. Филатов, С.В. Ковалев, В.Д. Курилович, М.А. Данильченко, Т.А. Прихна, А.И. Боримский, А.М. Куцай, В.Г. Полторацкий // Сверхтвердые материалы. — 2015. — № 1. — С. 63-74. — Бібліогр.: 24 назв. — рос.

Обоснована целесообразность применения полировальных суспензий из алмазных микропорошков, порошков нитрида бора и МАХ-фазы Ti₃AlС₂ при исследовании закономерностей полирования монокристаллического карбида кремния и использовании в качестве критериев эффективности процесса обработки приведенной величины энергии переноса, плотности энергии переноса и плотности колебательной энергии, затрачиваемой на образование частиц шлама. В результате компьютерного моделирования микро- и нанопрофиля обработанной поверхности построены профилограммы, по которым определены значения параметров шероховатости и характерные соотношения, связывающие их с наиболее вероятным размером частиц шлама.