2025-02-23T15:30:35-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-126152%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T15:30:35-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-126152%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T15:30:35-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T15:30:35-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния
Обоснована целесообразность применения полировальных суспензий из алмазных микропорошков, порошков нитрида бора и МАХ-фазы Ti₃AlС₂ при исследовании закономерностей полирования монокристаллического карбида кремния и использовании в качестве критериев эффективности процесса обработки приведенной велич...
Saved in:
| Main Authors: | , , , , , , , , , , |
|---|---|
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
2015
|
| Series: | Сверхтвердые материалы |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/126152 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| id |
irk-123456789-126152 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1261522017-11-17T03:02:34Z Полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния Филатов, Ю.Д. Ветров, А.Г. Сидорко, В.И. Филатов, А.Ю. Ковалев, С.В. Курилович, В.Д. Данильченко, М.А. Прихна, Т.А. Боримский, А.И. Куцай, А.М. Полторацкий, В.Г. Исследование процессов обработки Обоснована целесообразность применения полировальных суспензий из алмазных микропорошков, порошков нитрида бора и МАХ-фазы Ti₃AlС₂ при исследовании закономерностей полирования монокристаллического карбида кремния и использовании в качестве критериев эффективности процесса обработки приведенной величины энергии переноса, плотности энергии переноса и плотности колебательной энергии, затрачиваемой на образование частиц шлама. В результате компьютерного моделирования микро- и нанопрофиля обработанной поверхности построены профилограммы, по которым определены значения параметров шероховатости и характерные соотношения, связывающие их с наиболее вероятным размером частиц шлама. Обґрунтовано доцільність використання полірувальних суспензій з алмазних мікропорошків, порошків нітриду бору та МАХ-фази Ti₃AlС₂ при дослідженні закономірностей полірування монокристалічного карбіду кремнію та використанні в якості критеріїв ефективності процесу обробки приведеної величини енергії переносу, густини енергії переносу та густини коливальної енергії, що витрачається на утворення частинок шламу. В результаті комп’ютерного моделювання мікро- і нанопрофілю обробленої поверхні побудовано профілограми, за якими визначено значення параметрів шорсткості та характерні співвідношення, що зв’язують їх з найбільш імовірним розміром частинок шламу. As a result of studies of regularities polishing monocrystal silicon carbide and use as criteria efficient processing of the presented energy transfer, the energy density and density transfer vibration energy expended on the formation of particles of sludge proved the feasibility of applying diamond polishing suspensions of micron powders, powders of boron nitride and MAX-phase Ti₃AlС₂. As a result of computer simulation surface of micro- and nanoprofile built profilograms, which values of roughness parameters and characteristic relations connecting them with the most probable size of sludge particles. 2015 Article Полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния / Ю.Д. Филатов, А.Г. Ветров, В.И. Сидорко, А.Ю. Филатов, С.В. Ковалев, В.Д. Курилович, М.А. Данильченко, Т.А. Прихна, А.И. Боримский, А.М. Куцай, В.Г. Полторацкий // Сверхтвердые материалы. — 2015. — № 1. — С. 63-74. — Бібліогр.: 24 назв. — рос. 0203-3119 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/126152 621.623 ru Сверхтвердые материалы Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Исследование процессов обработки Исследование процессов обработки |
| spellingShingle |
Исследование процессов обработки Исследование процессов обработки Филатов, Ю.Д. Ветров, А.Г. Сидорко, В.И. Филатов, А.Ю. Ковалев, С.В. Курилович, В.Д. Данильченко, М.А. Прихна, Т.А. Боримский, А.И. Куцай, А.М. Полторацкий, В.Г. Полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния Сверхтвердые материалы |
| description |
Обоснована целесообразность применения полировальных суспензий из алмазных микропорошков, порошков нитрида бора и МАХ-фазы Ti₃AlС₂ при исследовании закономерностей полирования монокристаллического карбида кремния и использовании в качестве критериев эффективности процесса обработки приведенной величины энергии переноса, плотности энергии переноса и плотности колебательной энергии, затрачиваемой на образование частиц шлама. В результате компьютерного моделирования микро- и нанопрофиля обработанной поверхности построены профилограммы, по которым определены значения параметров шероховатости и характерные соотношения, связывающие их с наиболее вероятным размером частиц шлама. |
| format |
Article |
| author |
Филатов, Ю.Д. Ветров, А.Г. Сидорко, В.И. Филатов, А.Ю. Ковалев, С.В. Курилович, В.Д. Данильченко, М.А. Прихна, Т.А. Боримский, А.И. Куцай, А.М. Полторацкий, В.Г. |
| author_facet |
Филатов, Ю.Д. Ветров, А.Г. Сидорко, В.И. Филатов, А.Ю. Ковалев, С.В. Курилович, В.Д. Данильченко, М.А. Прихна, Т.А. Боримский, А.И. Куцай, А.М. Полторацкий, В.Г. |
| author_sort |
Филатов, Ю.Д. |
| title |
Полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния |
| title_short |
Полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния |
| title_full |
Полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния |
| title_fullStr |
Полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния |
| title_full_unstemmed |
Полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния |
| title_sort |
полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния |
| publisher |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України |
| publishDate |
2015 |
| topic_facet |
Исследование процессов обработки |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/126152 |
| citation_txt |
Полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния / Ю.Д. Филатов, А.Г. Ветров, В.И. Сидорко, А.Ю. Филатов, С.В. Ковалев, В.Д. Курилович, М.А. Данильченко, Т.А. Прихна, А.И. Боримский, А.М. Куцай, В.Г. Полторацкий // Сверхтвердые материалы. — 2015. — № 1. — С. 63-74. — Бібліогр.: 24 назв. — рос. |
| series |
Сверхтвердые материалы |
| work_keys_str_mv |
AT filatovûd polirovanieélementovoptikoélektronnojtehnikiizmonokristalličeskogokarbidakremniâ AT vetrovag polirovanieélementovoptikoélektronnojtehnikiizmonokristalličeskogokarbidakremniâ AT sidorkovi polirovanieélementovoptikoélektronnojtehnikiizmonokristalličeskogokarbidakremniâ AT filatovaû polirovanieélementovoptikoélektronnojtehnikiizmonokristalličeskogokarbidakremniâ AT kovalevsv polirovanieélementovoptikoélektronnojtehnikiizmonokristalličeskogokarbidakremniâ AT kurilovičvd polirovanieélementovoptikoélektronnojtehnikiizmonokristalličeskogokarbidakremniâ AT danilʹčenkoma polirovanieélementovoptikoélektronnojtehnikiizmonokristalličeskogokarbidakremniâ AT prihnata polirovanieélementovoptikoélektronnojtehnikiizmonokristalličeskogokarbidakremniâ AT borimskijai polirovanieélementovoptikoélektronnojtehnikiizmonokristalličeskogokarbidakremniâ AT kucajam polirovanieélementovoptikoélektronnojtehnikiizmonokristalličeskogokarbidakremniâ AT poltorackijvg polirovanieélementovoptikoélektronnojtehnikiizmonokristalličeskogokarbidakremniâ |
| first_indexed |
2023-10-18T20:50:10Z |
| last_indexed |
2023-10-18T20:50:10Z |
| _version_ |
1796151233433567232 |