Структурные изменения при отжиге в композиционных пленках системы углерод – медь

• Дата: 2008
• Автори: Оноприенко, А.А., Даниленко, Н.И., Косско, И.А.
• Формат: Стаття
• Мова: Russian
• Опубліковано: Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України 2008
• Теми: Тонкие пленки и другие двумерные объекты
• Онлайн доступ: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/12764
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Структурные изменения при отжиге в композиционных пленках системы углерод – медь / А.А. Оноприенко, Н.И. Даниленко, И.А. Косско // Наноструктурное материаловедение. — 2008. — № 1. — С. 52-58. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.

Тонкая легированная медью (8 %, атомная доля Cu) углеродная пленка нанесена магнетронным распылением на постоянном токе в аргоновой плазме составной (графит+медь) мишени на подложку из монокристаллического (100) NaCl при комнатной температуре. Эволюция микроструктуры пленки при отжиге в вакууме при 600 °С исследована методами просвечивающей электронной микроскопии и электронографии. Осажденная пленка была аморфной с равномерным распределением атомов меди в объеме пленки. Отжиг привел к образованию ансамбля медных частиц в пленке с последующей их коалесценцией по диффузионному механизму, в результате чего плотность частиц уменьшалась, а их средний размер увеличивался со временем отжига. Коалесценция осуществлялась путем смешанного механизма объемной и поверхностной диффузии атомов меди в углеродной пленке, содержащей большое количество структурных дефектов, вследствие чего средний размер частиц в ансамбле изменялся по закону R^5 ~ t