Структурные изменения при отжиге в композиционных пленках системы углерод – медь

Тонкая легированная медью (8 %, атомная доля Cu) углеродная пленка нанесена магнетронным распылением на постоянном токе в аргоновой плазме составной (графит+медь) мишени на подложку из монокристаллического (100) NaCl при комнатной температуре. Эволюция микроструктуры пленки при отжиге в вакууме при...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2008
Автори:	Оноприенко, А.А., Даниленко, Н.И., Косско, И.А.
Формат:	Стаття
Мова:	Russian
Опубліковано:	Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України 2008
Теми:	Тонкие пленки и другие двумерные объекты
Онлайн доступ:	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/12764
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Структурные изменения при отжиге в композиционных пленках системы углерод – медь / А.А. Оноприенко, Н.И. Даниленко, И.А. Косско // Наноструктурное материаловедение. — 2008. — № 1. — С. 52-58. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

id	irk-123456789-12764
record_format	dspace
spelling	irk-123456789-127642010-10-22T12:02:21Z Структурные изменения при отжиге в композиционных пленках системы углерод – медь Оноприенко, А.А. Даниленко, Н.И. Косско, И.А. Тонкие пленки и другие двумерные объекты Тонкая легированная медью (8 %, атомная доля Cu) углеродная пленка нанесена магнетронным распылением на постоянном токе в аргоновой плазме составной (графит+медь) мишени на подложку из монокристаллического (100) NaCl при комнатной температуре. Эволюция микроструктуры пленки при отжиге в вакууме при 600 °С исследована методами просвечивающей электронной микроскопии и электронографии. Осажденная пленка была аморфной с равномерным распределением атомов меди в объеме пленки. Отжиг привел к образованию ансамбля медных частиц в пленке с последующей их коалесценцией по диффузионному механизму, в результате чего плотность частиц уменьшалась, а их средний размер увеличивался со временем отжига. Коалесценция осуществлялась путем смешанного механизма объемной и поверхностной диффузии атомов меди в углеродной пленке, содержащей большое количество структурных дефектов, вследствие чего средний размер частиц в ансамбле изменялся по закону R^5 ~ t Тонка легована міддю (8 %, атомна частка Cu) вуглецева плівка нанесена магнетронним розпиленням на постійному струмі в аргоновій плазмі складової (графіт + мідь) мішені на підкладку з монокристалічного (100) NaCl за кімнатної температури. Еволюція мікроструктури плівки при відпалі у вакуумі при 600 °С досліджена методами просвітлювальної електронної мікроскопії та електронографії. Нанесена плівка була аморфною з рівномірним розподілом атомів міді в об’ємі плівки. Відпал призвів до утворення ансамблю мідних частинок у плівці з наступною їх коалесценцією за дифузійним механізмом, у результаті чого щільність частинок зменшувалась, а їх середній розмір зростав із часом відпалу. Коалесценція відбувалася шляхом змішаного механізму об’ємної та поверхневої дифузії атомів міді у вуглецевій плівці, яка вміщувала велику кількість структурних дефектів, унаслідок чого середній розмір частинок в ансамблі змінювався за законом R^5 ~ t. Thin copper-doped (8 at. % Cu) carbon film was deposited by d. c. magnetron sputtering of composite graphite/copper target in argon plasma. The evolution of film structure on annealing at 600 °C in a vacuum has been studied by transmission electron microscopy and electron diffraction. The as-deposited film was amorphous with copper atoms uniformly distributed over the film volume. Annealing resulted in precipitation of copper particles within carbon film and accompanied by changes in the ensemble of copper particles due to diffusion coalescence: the density of copper particles decreased and particle average size increased with annealing time. The coalescence occurred by the mixed mechanism of bulk and surface diffusion of copper atoms within carbon film that contained a large number of structural defects. As a result, the mean radius of copper particles in ensemble changed as R^5 ~ t. 2008 Article Структурные изменения при отжиге в композиционных пленках системы углерод – медь / А.А. Оноприенко, Н.И. Даниленко, И.А. Косско // Наноструктурное материаловедение. — 2008. — № 1. — С. 52-58. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. 1996-9988 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/12764 53.216.2 ru Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
language	Russian
topic	Тонкие пленки и другие двумерные объекты Тонкие пленки и другие двумерные объекты
spellingShingle	Тонкие пленки и другие двумерные объекты Тонкие пленки и другие двумерные объекты Оноприенко, А.А. Даниленко, Н.И. Косско, И.А. Структурные изменения при отжиге в композиционных пленках системы углерод – медь
description	Тонкая легированная медью (8 %, атомная доля Cu) углеродная пленка нанесена магнетронным распылением на постоянном токе в аргоновой плазме составной (графит+медь) мишени на подложку из монокристаллического (100) NaCl при комнатной температуре. Эволюция микроструктуры пленки при отжиге в вакууме при 600 °С исследована методами просвечивающей электронной микроскопии и электронографии. Осажденная пленка была аморфной с равномерным распределением атомов меди в объеме пленки. Отжиг привел к образованию ансамбля медных частиц в пленке с последующей их коалесценцией по диффузионному механизму, в результате чего плотность частиц уменьшалась, а их средний размер увеличивался со временем отжига. Коалесценция осуществлялась путем смешанного механизма объемной и поверхностной диффузии атомов меди в углеродной пленке, содержащей большое количество структурных дефектов, вследствие чего средний размер частиц в ансамбле изменялся по закону R^5 ~ t
format	Article
author	Оноприенко, А.А. Даниленко, Н.И. Косско, И.А.
author_facet	Оноприенко, А.А. Даниленко, Н.И. Косско, И.А.
author_sort	Оноприенко, А.А.
title	Структурные изменения при отжиге в композиционных пленках системы углерод – медь
title_short	Структурные изменения при отжиге в композиционных пленках системы углерод – медь
title_full	Структурные изменения при отжиге в композиционных пленках системы углерод – медь
title_fullStr	Структурные изменения при отжиге в композиционных пленках системы углерод – медь
title_full_unstemmed	Структурные изменения при отжиге в композиционных пленках системы углерод – медь
title_sort	структурные изменения при отжиге в композиционных пленках системы углерод – медь
publisher	Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України
publishDate	2008
topic_facet	Тонкие пленки и другие двумерные объекты
url	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/12764
citation_txt	Структурные изменения при отжиге в композиционных пленках системы углерод – медь / А.А. Оноприенко, Н.И. Даниленко, И.А. Косско // Наноструктурное материаловедение. — 2008. — № 1. — С. 52-58. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.
work_keys_str_mv	AT onoprienkoaa strukturnyeizmeneniâpriotžigevkompozicionnyhplenkahsistemyuglerodmedʹ AT danilenkoni strukturnyeizmeneniâpriotžigevkompozicionnyhplenkahsistemyuglerodmedʹ AT kosskoia strukturnyeizmeneniâpriotžigevkompozicionnyhplenkahsistemyuglerodmedʹ
first_indexed	2023-10-18T16:49:47Z
last_indexed	2023-10-18T16:49:47Z
_version_	1796139987554533376

Структурные изменения при отжиге в композиционных пленках системы углерод – медь

Репозитарії

Схожі ресурси