Ефективність взаємодії міжвузловинного вуглецю з киснем, оловом і вуглецем заміщення в опроміненому кремнії

У роботi методом iнфрачервоної фур’є-спектроскопiї проведено дослiдження ефективностi взаємодiї мiжвузловинного вуглецю з основними технологiчними домiшками кремнiю – киснем та вуглецем замiщення, а також з iзоелектронною домiшкою – оловом. Показано, що ймовiрностi взаємодiї мiжвузловинного вуглецю...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Видавець:Відділення фізики і астрономії НАН України
Дата:2010
Автори: Гриценко, М.І., Кобзар, О.О., Помозов, Ю.В., Соснін, М.Г., Хируненко, Л.І.
Формат: Стаття
Мова:Ukrainian
Опубліковано: Відділення фізики і астрономії НАН України 2010
Теми:
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/13387
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Цитувати:Ефективність взаємодії міжвузловинного вуглецю з киснем, оловом і вуглецем заміщення в опроміненому кремнії / М.І. Гриценко, О.О. Кобзар, Ю.В. Помозов, М.Г. Соснін, Л.І. Хируненко // Укр. фіз. журн. — 2010. — Т. 55, № 2. — С. 223-228. — Бібліогр.: 25 назв. — укр.

Репозиторії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Опис
Резюме:У роботi методом iнфрачервоної фур’є-спектроскопiї проведено дослiдження ефективностi взаємодiї мiжвузловинного вуглецю з основними технологiчними домiшками кремнiю – киснем та вуглецем замiщення, а також з iзоелектронною домiшкою – оловом. Показано, що ймовiрностi взаємодiї мiжвузловинного вуглецю з мiжвузловинним киснем та вузловим вуглецем є близькими за величиною. Виявлено, що мiжвузловинний вуглець у Si, легованому оловом, має меншу термiчну стабiльнiсть, нiж у кремнiї, i температура його остаточного вiдпалу поступово знижується при зростаннi концентрацiї олова. Показано, що ймовiрнiсть взаємодiї мiжвузловинного вуглецю з оловом у ~2,3 раза перевищує ймовiрнiсть його взаємодiї з киснем та вузловим вуглецем.