Ефективність взаємодії міжвузловинного вуглецю з киснем, оловом і вуглецем заміщення в опроміненому кремнії

Ефективність взаємодії міжвузловинного вуглецю з киснем, оловом і вуглецем заміщення в опроміненому кремнії

У роботi методом iнфрачервоної фур’є-спектроскопiї проведено дослiдження ефективностi взаємодiї мiжвузловинного вуглецю з основними технологiчними домiшками кремнiю – киснем та вуглецем замiщення, а також з iзоелектронною домiшкою – оловом. Показано, що ймовiрностi взаємодiї мiжвузловинного вуглецю...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Видавець:Відділення фізики і астрономії НАН України
Дата:2010
Автори: Гриценко, М.І., Кобзар, О.О., Помозов, Ю.В., Соснін, М.Г., Хируненко, Л.І.
Формат: Стаття
Мова:Ukrainian
Опубліковано: Відділення фізики і астрономії НАН України 2010
Теми:
Тверде тіло
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/13387
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Цитувати:Ефективність взаємодії міжвузловинного вуглецю з киснем, оловом і вуглецем заміщення в опроміненому кремнії / М.І. Гриценко, О.О. Кобзар, Ю.В. Помозов, М.Г. Соснін, Л.І. Хируненко // Укр. фіз. журн. — 2010. — Т. 55, № 2. — С. 223-228. — Бібліогр.: 25 назв. — укр.

Репозиторії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-13387
record_format dspace
spelling irk-123456789-133872010-11-08T12:03:00Z Ефективність взаємодії міжвузловинного вуглецю з киснем, оловом і вуглецем заміщення в опроміненому кремнії Гриценко, М.І. Кобзар, О.О. Помозов, Ю.В. Соснін, М.Г. Хируненко, Л.І. Тверде тіло У роботi методом iнфрачервоної фур’є-спектроскопiї проведено дослiдження ефективностi взаємодiї мiжвузловинного вуглецю з основними технологiчними домiшками кремнiю – киснем та вуглецем замiщення, а також з iзоелектронною домiшкою – оловом. Показано, що ймовiрностi взаємодiї мiжвузловинного вуглецю з мiжвузловинним киснем та вузловим вуглецем є близькими за величиною. Виявлено, що мiжвузловинний вуглець у Si, легованому оловом, має меншу термiчну стабiльнiсть, нiж у кремнiї, i температура його остаточного вiдпалу поступово знижується при зростаннi концентрацiї олова. Показано, що ймовiрнiсть взаємодiї мiжвузловинного вуглецю з оловом у ~2,3 раза перевищує ймовiрнiсть його взаємодiї з киснем та вузловим вуглецем. В работе методом инфракрасной фур’є-спектроскопии проведено исследование эффективности взаимодействия межузельного углерода с основными технологическими примесями кремния – кислородом и углеродом замещения, а также с изоэлектронной примесью – оловом. Показано, что вероятности взаимодействия межузельного углерода с межузельным кислородом и узловым углеродом близки по величине. Обнаружено, что межузельный углерод в Si, легированном оловом, имеет меньшую термическую стабильность, чем в кремнии, и температура его окончательного отжига постепенно снижается при увеличении концентрации олова. Показано, что вероятность взаимодействия межузельного углерода с оловом в ~2,3 раза превышает вероятность его взаимодействия с кислородом и узловым углеродом. The infrared Fourier spectroscopy technique is used for the investigation of the efficiency of interaction of interstitial carbon with the basic technological impurities in silicon, oxygen and substitution carbon, as well as with an isoelectronic impurity, tin. It is shown that the probabilities of the interaction of interstitial carbon with interstitial oxygen and substitution carbon are close. It is found that interstitial carbon in tin-doped Si is less thermostable than that in Si, and the temperature of its complete annealing gradually decreases with increasing the tin concentration. It is shown that the probability of the interaction of interstitial carbon with tin exceeds the probability of its interaction with oxygen and on-site carbon by a factor of ~2.3. 2010 Article Ефективність взаємодії міжвузловинного вуглецю з киснем, оловом і вуглецем заміщення в опроміненому кремнії / М.І. Гриценко, О.О. Кобзар, Ю.В. Помозов, М.Г. Соснін, Л.І. Хируненко // Укр. фіз. журн. — 2010. — Т. 55, № 2. — С. 223-228. — Бібліогр.: 25 назв. — укр. 2071-0194 PACS 61.72.uf http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/13387 621.315.592 uk Відділення фізики і астрономії НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Ukrainian
topic Тверде тіло
Тверде тіло
spellingShingle Тверде тіло
Тверде тіло
Гриценко, М.І.
Кобзар, О.О.
Помозов, Ю.В.
Соснін, М.Г.
Хируненко, Л.І.
Ефективність взаємодії міжвузловинного вуглецю з киснем, оловом і вуглецем заміщення в опроміненому кремнії
description У роботi методом iнфрачервоної фур’є-спектроскопiї проведено дослiдження ефективностi взаємодiї мiжвузловинного вуглецю з основними технологiчними домiшками кремнiю – киснем та вуглецем замiщення, а також з iзоелектронною домiшкою – оловом. Показано, що ймовiрностi взаємодiї мiжвузловинного вуглецю з мiжвузловинним киснем та вузловим вуглецем є близькими за величиною. Виявлено, що мiжвузловинний вуглець у Si, легованому оловом, має меншу термiчну стабiльнiсть, нiж у кремнiї, i температура його остаточного вiдпалу поступово знижується при зростаннi концентрацiї олова. Показано, що ймовiрнiсть взаємодiї мiжвузловинного вуглецю з оловом у ~2,3 раза перевищує ймовiрнiсть його взаємодiї з киснем та вузловим вуглецем.
format Article
author Гриценко, М.І.
Кобзар, О.О.
Помозов, Ю.В.
Соснін, М.Г.
Хируненко, Л.І.
author_facet Гриценко, М.І.
Кобзар, О.О.
Помозов, Ю.В.
Соснін, М.Г.
Хируненко, Л.І.
author_sort Гриценко, М.І.
title Ефективність взаємодії міжвузловинного вуглецю з киснем, оловом і вуглецем заміщення в опроміненому кремнії
title_short Ефективність взаємодії міжвузловинного вуглецю з киснем, оловом і вуглецем заміщення в опроміненому кремнії
title_full Ефективність взаємодії міжвузловинного вуглецю з киснем, оловом і вуглецем заміщення в опроміненому кремнії
title_fullStr Ефективність взаємодії міжвузловинного вуглецю з киснем, оловом і вуглецем заміщення в опроміненому кремнії
title_full_unstemmed Ефективність взаємодії міжвузловинного вуглецю з киснем, оловом і вуглецем заміщення в опроміненому кремнії
title_sort ефективність взаємодії міжвузловинного вуглецю з киснем, оловом і вуглецем заміщення в опроміненому кремнії
publisher Відділення фізики і астрономії НАН України
publishDate 2010
topic_facet Тверде тіло
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/13387
citation_txt Ефективність взаємодії міжвузловинного вуглецю з киснем, оловом і вуглецем заміщення в опроміненому кремнії / М.І. Гриценко, О.О. Кобзар, Ю.В. Помозов, М.Г. Соснін, Л.І. Хируненко // Укр. фіз. журн. — 2010. — Т. 55, № 2. — С. 223-228. — Бібліогр.: 25 назв. — укр.
work_keys_str_mv AT gricenkomí efektivnístʹvzaêmodíímížvuzlovinnogovuglecûzkisnemolovomívuglecemzamíŝennâvopromínenomukremníí
AT kobzaroo efektivnístʹvzaêmodíímížvuzlovinnogovuglecûzkisnemolovomívuglecemzamíŝennâvopromínenomukremníí
AT pomozovûv efektivnístʹvzaêmodíímížvuzlovinnogovuglecûzkisnemolovomívuglecemzamíŝennâvopromínenomukremníí
AT sosnínmg efektivnístʹvzaêmodíímížvuzlovinnogovuglecûzkisnemolovomívuglecemzamíŝennâvopromínenomukremníí
AT hirunenkolí efektivnístʹvzaêmodíímížvuzlovinnogovuglecûzkisnemolovomívuglecemzamíŝennâvopromínenomukremníí
first_indexed 2023-10-18T16:51:10Z
last_indexed 2023-10-18T16:51:10Z
_version_ 1796140047119941632

Схожі ресурси