Элементный анализ аморфных углеродных пленок
The elemental analysis of amorphous carbon film produce in focus on the diamond-like type by the low temperature chemical vapour deposition and physical vapour deposition have been presented. The amorphous carbon films proposed as protective, wear-resistive, anti-reflective, chemical inert and bioco...
Збережено в:
| Дата: | 2007 |
|---|---|
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
2007
|
| Назва видання: | Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/135090 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Элементный анализ аморфных углеродных пленок / А.М. Куцай // Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения: Сб. науч. тр. — К.: ІНМ ім. В.М. Бакуля НАН України, 2007. — Вип. 10. — С. 270-273. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |