Plasma activated eb-deposition: different modes of arc discharge and plasma characteristics
The results of experimental study of the operating parameters of a non-self-sustaining arc discharge in the process of electron-beam evaporation of a cathode are presented in the paper. The conditions of ignition and burning of the arc discharge were studied. The plasma parameters, ion current on th...
Збережено в:
| Дата: | 2017 |
|---|---|
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2017
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/136155 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Plasma activated eb-deposition: different modes of arc discharge and plasma characteristics / V. Safonov // Вопросы атомной науки и техники. — 2017. — № 5. — С. 65-72. — Бібліогр.: 25 назв. — англ. |