The emission surface calculation for reactive gas ion source with decreased neutral gas inleakage
The possibility of calculating the cathode shape of an ion sources for a beam formation system is investigated with the computer code. The acceleration of nitrogen ions with energies from 10 to 50 keV and ion currents of 10…20 mA was investigated [1]. The charged particle beams dynamic in a two-pote...
Збережено в:
| Дата: | 2017 |
|---|---|
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2017
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/136177 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | The emission surface calculation for reactive gas ion source with decreased neutral gas inleakage / P.A. Martynenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2017. — № 6. — С. 16-17. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-136177 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1361772018-06-17T03:04:24Z The emission surface calculation for reactive gas ion source with decreased neutral gas inleakage Martynenko, P.A. Теория и техника ускорения частиц The possibility of calculating the cathode shape of an ion sources for a beam formation system is investigated with the computer code. The acceleration of nitrogen ions with energies from 10 to 50 keV and ion currents of 10…20 mA was investigated [1]. The charged particle beams dynamic in a two-potential electron-optical system is showed. The calculation results are compared with the experimental data. The simulation can be used in the design of injection systems and selection of operating parameters of power sources of technological installations for surface modification. Ця робота присвячена дослідженню можливості розрахунку форми емісійної поверхні для системи прискорення іонів реактивних газів. Наведено чисельний розрахунок самоузгодженої динаміки заряджених частинок у двопотенційній електронно-оптичній системі. Досліджуються властивості системи прискорення іонів до енергії 50 кеВ зі струмом 10…20 мА. Проведено порівняння результатів розрахунку з експериментальними даними. Розрахунки можуть використовуватися при конструюванні систем прискорення іонів та вибору робочих параметрів джерел живлення технологічних установок для модифікації поверхні. Данная работа посвящена исследованию возможности расчета формы поверхности эмиссии системы ускорения ионов реактивных газов. Решается самосогласованная задача динамики заряженных частиц в двух-потенциальной электронно-оптической системе. Исследуется система ускорения ионов азота с энергией от 10 до 50 кэВ с током 10…20 мА. Проведено сравнение результатов расчета с экспериментальными данными. Расчеты могут использоваться при конструировании систем инжекции ионов и выборе рабочих параметров источников питания технологических установок для модификации поверхности. 2017 Article The emission surface calculation for reactive gas ion source with decreased neutral gas inleakage / P.A. Martynenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2017. — № 6. — С. 16-17. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 29.25.Ni http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/136177 en Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
English |
| topic |
Теория и техника ускорения частиц Теория и техника ускорения частиц |
| spellingShingle |
Теория и техника ускорения частиц Теория и техника ускорения частиц Martynenko, P.A. The emission surface calculation for reactive gas ion source with decreased neutral gas inleakage Вопросы атомной науки и техники |
| description |
The possibility of calculating the cathode shape of an ion sources for a beam formation system is investigated with the computer code. The acceleration of nitrogen ions with energies from 10 to 50 keV and ion currents of 10…20 mA was investigated [1]. The charged particle beams dynamic in a two-potential electron-optical system is showed. The calculation results are compared with the experimental data. The simulation can be used in the design of injection systems and selection of operating parameters of power sources of technological installations for surface modification. |
| format |
Article |
| author |
Martynenko, P.A. |
| author_facet |
Martynenko, P.A. |
| author_sort |
Martynenko, P.A. |
| title |
The emission surface calculation for reactive gas ion source with decreased neutral gas inleakage |
| title_short |
The emission surface calculation for reactive gas ion source with decreased neutral gas inleakage |
| title_full |
The emission surface calculation for reactive gas ion source with decreased neutral gas inleakage |
| title_fullStr |
The emission surface calculation for reactive gas ion source with decreased neutral gas inleakage |
| title_full_unstemmed |
The emission surface calculation for reactive gas ion source with decreased neutral gas inleakage |
| title_sort |
emission surface calculation for reactive gas ion source with decreased neutral gas inleakage |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| publishDate |
2017 |
| topic_facet |
Теория и техника ускорения частиц |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/136177 |
| citation_txt |
The emission surface calculation for reactive gas ion source with decreased neutral gas inleakage / P.A. Martynenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2017. — № 6. — С. 16-17. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. |
| series |
Вопросы атомной науки и техники |
| work_keys_str_mv |
AT martynenkopa theemissionsurfacecalculationforreactivegasionsourcewithdecreasedneutralgasinleakage AT martynenkopa emissionsurfacecalculationforreactivegasionsourcewithdecreasedneutralgasinleakage |
| first_indexed |
2023-10-18T21:12:20Z |
| last_indexed |
2023-10-18T21:12:20Z |
| _version_ |
1796152194027749376 |