Мікромеханічні та електрофізичні властивості наноструктурованих діелектричних покривів Al₂O₃ на плоских нагрівних елементах

Мікромеханічні та електрофізичні властивості наноструктурованих діелектричних покривів Al₂O₃ на плоских нагрівних елементах

З використанням іонно-плазмової розрядної системи на плоскому нагрівному елементі з алюмомагнієвого сплаву АМг2 отримано діелектричний шар Al₂O₃ нанорозмірної структури. Напилений шар складається з двох підшарів загальною товщиною 13…15 mm з розміром зерен від 4 до 306 nm. Шорсткість поверхні знах...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2016
Автори: Дурягіна, З.А., Ковбасюк, Т.М., Беспалов, С.А., Підкова, В.Я.
Формат: Стаття
Мова:Ukrainian
Опубліковано: Фізико-механічний інститут ім. Г.В. Карпенка НАН України 2016
Назва видання:Фізико-хімічна механіка матеріалів
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/137162
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Мікромеханічні та електрофізичні властивості наноструктурованих діелектричних покривів Al₂O₃ на плоских нагрівних елементах / З.А. Дурягіна, Т.М. Ковбасюк, С.А. Беспалов, В.Я. Підкова // Фізико-хімічна механіка матеріалів. — 2016. — Т. 52, № 1. — С. 51-55. — Бібліогр.: 8 назв. — укp.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-137162
record_format dspace
spelling irk-123456789-1371622018-06-18T03:07:18Z Мікромеханічні та електрофізичні властивості наноструктурованих діелектричних покривів Al₂O₃ на плоских нагрівних елементах Дурягіна, З.А. Ковбасюк, Т.М. Беспалов, С.А. Підкова, В.Я. З використанням іонно-плазмової розрядної системи на плоскому нагрівному елементі з алюмомагнієвого сплаву АМг2 отримано діелектричний шар Al₂O₃ нанорозмірної структури. Напилений шар складається з двох підшарів загальною товщиною 13…15 mm з розміром зерен від 4 до 306 nm. Шорсткість поверхні знаходиться в межах 50...60 nm. За коефіцієнта адгезії HSC ~ 1 мікротвердість шару Al₂O₃ за Меєром становить 0,788, а модульЮнґа – 75,433 GPa. С использованием ионно-плазменной разрядной системы на плоском нагревательном элементе из сплава АМг2 получено диэлектрический слой Al₂O₃ наноразмерной структуры. Напыленный слой состоит из двух подслоев общей толщины 13…15 mm с размером зерен от 4 до 306 nm. Шероховатость поверхности находится в пределах 50…60 nm. При коэффициенте адгезии HSC ~ 1 микротвердость слоя Al₂O₃ по Мееру составляет 0,788, а модуль Юнга – 75,433 GPa. Using the ion-plasma discharge system for film heating elements (substrate Al–Mg alloy) the Al₂O₃ dielectric film with nanoscale structure is obtained. Al₂O₃ layer consists of two sublayers with total thickness of 13…15 mm with a grain size of 4…306 nm. Surface roughness is 50…60 nm. For adhesion coefficient HSC ~ 1 the microhardness of Al₂O₃ layer by Meyer is 0.788, and the Young’s modulus – 75.433 GPa. 2016 Article Мікромеханічні та електрофізичні властивості наноструктурованих діелектричних покривів Al₂O₃ на плоских нагрівних елементах / З.А. Дурягіна, Т.М. Ковбасюк, С.А. Беспалов, В.Я. Підкова // Фізико-хімічна механіка матеріалів. — 2016. — Т. 52, № 1. — С. 51-55. — Бібліогр.: 8 назв. — укp. 0430-6252 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/137162 uk Фізико-хімічна механіка матеріалів Фізико-механічний інститут ім. Г.В. Карпенка НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Ukrainian
description З використанням іонно-плазмової розрядної системи на плоскому нагрівному елементі з алюмомагнієвого сплаву АМг2 отримано діелектричний шар Al₂O₃ нанорозмірної структури. Напилений шар складається з двох підшарів загальною товщиною 13…15 mm з розміром зерен від 4 до 306 nm. Шорсткість поверхні знаходиться в межах 50...60 nm. За коефіцієнта адгезії HSC ~ 1 мікротвердість шару Al₂O₃ за Меєром становить 0,788, а модульЮнґа – 75,433 GPa.
format Article
author Дурягіна, З.А.
Ковбасюк, Т.М.
Беспалов, С.А.
Підкова, В.Я.
spellingShingle Дурягіна, З.А.
Ковбасюк, Т.М.
Беспалов, С.А.
Підкова, В.Я.
Мікромеханічні та електрофізичні властивості наноструктурованих діелектричних покривів Al₂O₃ на плоских нагрівних елементах
Фізико-хімічна механіка матеріалів
author_facet Дурягіна, З.А.
Ковбасюк, Т.М.
Беспалов, С.А.
Підкова, В.Я.
author_sort Дурягіна, З.А.
title Мікромеханічні та електрофізичні властивості наноструктурованих діелектричних покривів Al₂O₃ на плоских нагрівних елементах
title_short Мікромеханічні та електрофізичні властивості наноструктурованих діелектричних покривів Al₂O₃ на плоских нагрівних елементах
title_full Мікромеханічні та електрофізичні властивості наноструктурованих діелектричних покривів Al₂O₃ на плоских нагрівних елементах
title_fullStr Мікромеханічні та електрофізичні властивості наноструктурованих діелектричних покривів Al₂O₃ на плоских нагрівних елементах
title_full_unstemmed Мікромеханічні та електрофізичні властивості наноструктурованих діелектричних покривів Al₂O₃ на плоских нагрівних елементах
title_sort мікромеханічні та електрофізичні властивості наноструктурованих діелектричних покривів al₂o₃ на плоских нагрівних елементах
publisher Фізико-механічний інститут ім. Г.В. Карпенка НАН України
publishDate 2016
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/137162
citation_txt Мікромеханічні та електрофізичні властивості наноструктурованих діелектричних покривів Al₂O₃ на плоских нагрівних елементах / З.А. Дурягіна, Т.М. Ковбасюк, С.А. Беспалов, В.Я. Підкова // Фізико-хімічна механіка матеріалів. — 2016. — Т. 52, № 1. — С. 51-55. — Бібліогр.: 8 назв. — укp.
series Фізико-хімічна механіка матеріалів
work_keys_str_mv AT durâgínaza míkromehaníčnítaelektrofízičnívlastivostínanostrukturovanihdíelektričnihpokrivíval2o3naploskihnagrívnihelementah
AT kovbasûktm míkromehaníčnítaelektrofízičnívlastivostínanostrukturovanihdíelektričnihpokrivíval2o3naploskihnagrívnihelementah
AT bespalovsa míkromehaníčnítaelektrofízičnívlastivostínanostrukturovanihdíelektričnihpokrivíval2o3naploskihnagrívnihelementah
AT pídkovavâ míkromehaníčnítaelektrofízičnívlastivostínanostrukturovanihdíelektričnihpokrivíval2o3naploskihnagrívnihelementah
first_indexed 2023-10-18T21:15:17Z
last_indexed 2023-10-18T21:15:17Z
_version_ 1796152329529982976

Схожі ресурси