Влияние ионно-плазменного воздействия на элементный состав и структурно-фазовое состояние системы Cu-Ti
Представлены результаты исследования элементного состава и структурно-фазового состояния системы Cu-Ti после воздействия высокодозной ионной имплантации и электронного отжига импульсным низкоэнергетическим высокотоковым электронным пучком (НВЭП). Установлено, что применение имплантации с высокой доз...
Збережено в:
Дата: | 2018 |
---|---|
Автори: | , , , |
Формат: | Стаття |
Мова: | Russian |
Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2018
|
Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
Теми: | |
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/137339 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Цитувати: | Влияние ионно-плазменного воздействия на элементный состав и структурно-фазовое состояние системы Cu-Ti / А.Д. Погребняк, Аид Куссей Джаруллах, А.Д. Михалев, Л.В. Маликов // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 1. — С. 77-81. — Бібліогр.: 20 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraineid |
irk-123456789-137339 |
---|---|
record_format |
dspace |
spelling |
irk-123456789-1373392018-06-18T03:04:52Z Влияние ионно-плазменного воздействия на элементный состав и структурно-фазовое состояние системы Cu-Ti Погребняк, А.Д. Аид Куссей Джаруллах Михалев, А.Д. Маликов, Л.В. Физика и технология конструкционных материалов Представлены результаты исследования элементного состава и структурно-фазового состояния системы Cu-Ti после воздействия высокодозной ионной имплантации и электронного отжига импульсным низкоэнергетическим высокотоковым электронным пучком (НВЭП). Установлено, что применение имплантации с высокой дозой ((5…8)∙10¹⁷ ион/см²) и последующим воздействием НВЭП приводит к уменьшению концентрации титана, а с малой дозой до 1∙10¹⁷ ион/см² – к его диффузии вглубину от поверхности. Исследование структурно-фазового состояния показало частичное испарение прослоек карбида титана и формирование субструктуры. Представлені результати дослідження елементного складу та структурно-фазового стану системи Cu-Ti після впливу високої дози іонної імплантації та електронного відпалювання імпульсним низькоенергетичним високострумовим електронним пучком (НВЕП). Встановлено, що застосування імплантації з високою дозою ((5…8)∙10¹⁷ іон/см²) і подальшим впливом НВЕП призводить до зменшення концентрації титану, а з малою дозою до 1∙10¹⁷ іон/см² – до його дифузії вглибину від поверхні. Дослідження структурно-фазового стану показало часткове випаровування прошарків карбіду титану і формування субструктури. The results of the investigations of the elemental composition and phase state of the Cu-Ti system after high-ion implantation and electron annealing by high-current electron beam (HCEB) are presented. It has been established that the use of high dose ((5…8)∙10¹⁷ ions/cm²) implantation and the subsequent effect of HCEB leads to a reduction in the concentration of titanium, and the use of a small dose to 1∙10¹⁷ ions/cm² until it diffuses in depth from the surface. Investigation of the structural-phase state showed a partial evaporation of layers of carbide-titanium and the formation of a substructure. 2018 Article Влияние ионно-плазменного воздействия на элементный состав и структурно-фазовое состояние системы Cu-Ti / А.Д. Погребняк, Аид Куссей Джаруллах, А.Д. Михалев, Л.В. Маликов // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 1. — С. 77-81. — Бібліогр.: 20 назв. — рос. 1562-6016 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/137339 539.121.8.04 ru Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
collection |
DSpace DC |
language |
Russian |
topic |
Физика и технология конструкционных материалов Физика и технология конструкционных материалов |
spellingShingle |
Физика и технология конструкционных материалов Физика и технология конструкционных материалов Погребняк, А.Д. Аид Куссей Джаруллах Михалев, А.Д. Маликов, Л.В. Влияние ионно-плазменного воздействия на элементный состав и структурно-фазовое состояние системы Cu-Ti Вопросы атомной науки и техники |
description |
Представлены результаты исследования элементного состава и структурно-фазового состояния системы Cu-Ti после воздействия высокодозной ионной имплантации и электронного отжига импульсным низкоэнергетическим высокотоковым электронным пучком (НВЭП). Установлено, что применение имплантации с высокой дозой ((5…8)∙10¹⁷ ион/см²) и последующим воздействием НВЭП приводит к уменьшению концентрации титана, а с малой дозой до 1∙10¹⁷ ион/см² – к его диффузии вглубину от поверхности. Исследование структурно-фазового состояния показало частичное испарение прослоек карбида титана и формирование субструктуры. |
format |
Article |
author |
Погребняк, А.Д. Аид Куссей Джаруллах Михалев, А.Д. Маликов, Л.В. |
author_facet |
Погребняк, А.Д. Аид Куссей Джаруллах Михалев, А.Д. Маликов, Л.В. |
author_sort |
Погребняк, А.Д. |
title |
Влияние ионно-плазменного воздействия на элементный состав и структурно-фазовое состояние системы Cu-Ti |
title_short |
Влияние ионно-плазменного воздействия на элементный состав и структурно-фазовое состояние системы Cu-Ti |
title_full |
Влияние ионно-плазменного воздействия на элементный состав и структурно-фазовое состояние системы Cu-Ti |
title_fullStr |
Влияние ионно-плазменного воздействия на элементный состав и структурно-фазовое состояние системы Cu-Ti |
title_full_unstemmed |
Влияние ионно-плазменного воздействия на элементный состав и структурно-фазовое состояние системы Cu-Ti |
title_sort |
влияние ионно-плазменного воздействия на элементный состав и структурно-фазовое состояние системы cu-ti |
publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
publishDate |
2018 |
topic_facet |
Физика и технология конструкционных материалов |
url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/137339 |
citation_txt |
Влияние ионно-плазменного воздействия на элементный состав и структурно-фазовое состояние системы Cu-Ti / А.Д. Погребняк, Аид Куссей Джаруллах, А.Д. Михалев, Л.В. Маликов // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 1. — С. 77-81. — Бібліогр.: 20 назв. — рос. |
series |
Вопросы атомной науки и техники |
work_keys_str_mv |
AT pogrebnâkad vliânieionnoplazmennogovozdejstviânaélementnyjsostavistrukturnofazovoesostoâniesistemycuti AT aidkussejdžarullah vliânieionnoplazmennogovozdejstviânaélementnyjsostavistrukturnofazovoesostoâniesistemycuti AT mihalevad vliânieionnoplazmennogovozdejstviânaélementnyjsostavistrukturnofazovoesostoâniesistemycuti AT malikovlv vliânieionnoplazmennogovozdejstviânaélementnyjsostavistrukturnofazovoesostoâniesistemycuti |
first_indexed |
2023-10-18T21:14:19Z |
last_indexed |
2023-10-18T21:14:19Z |
_version_ |
1796152289629569024 |