Structural transformation in Zr/Mg multilayer on Si substrate after annealing

• Дата: 2018
• Автори: Konotopsky, L.E., Kopilets, I.A., Kosmachev, S.M., Kondratenko, V.V.
• Формат: Стаття
• Мова: English
• Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2018
• Назва видання: Вопросы атомной науки и техники
• Теми: Чистые материалы и вакуумные технологии
• Онлайн доступ: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/137877
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Structural transformation in Zr/Mg multilayer on Si substrate after annealing / L.E. Konotopsky, I.A. Kopilets, S.M. Kosmachev, V.V. Kondratenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 1. — С. 39-42. — Бібліогр.: 19 назв. — англ.

A Zr/Mg periodic multilayer was deposited onto silicon substrate by DC magnetron sputtering. Study of the Zr/Mg multilayer structure in an initial state and after thermal annealing in a temperature range of 100...600 °C was made by the X-ray diffraction and cross-section transmission electron micros...