Influence of UV-radiation on structure and properties of diamond-like a-C:N films
Study results on effect of a low power (up to 1 W/cm²) UV and visible radiation on the structure and properties of diamond-like carbon nitride (α-C:N) films during their growth have been presented. The UV irradiation of the growing film surface has been found to be effective for the graphite phase e...
Збережено в:
| Дата: | 2004 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
НТК «Інститут монокристалів» НАН України
2004
|
| Назва видання: | Functional Materials |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/139485 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Influence of UV-radiation on structure and properties of diamond-like a-C:N films / R.V.Shalaev, V.N.Varyukhin, A.M.Prudnikov // Functional Materials. — 2004. — Т. 11, № 3. — С. 617-619. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-139485 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1394852018-06-21T03:05:06Z Influence of UV-radiation on structure and properties of diamond-like a-C:N films Shalaev, R.V. Varyukhin, V.N. Prudnikov, A.M. Study results on effect of a low power (up to 1 W/cm²) UV and visible radiation on the structure and properties of diamond-like carbon nitride (α-C:N) films during their growth have been presented. The UV irradiation of the growing film surface has been found to be effective for the graphite phase etching and to result in an improved structure ordering of the film and enhanced quality thereof. Представлены результаты исследования воздействия УФ- и видимого излучения невысокой мощности (до 1 Вт/см² на структуру и свойства алмазоподобных пленок нитрида углерода α-C:N в процессе их роста. Обнаружено, что УФ-облучение ростовой поверхности пленок эффективно для травления графитной фазы, ведет к росту структурной упорядоченности пленок и улучшает их качество. Представлено результати досліджєння впливу УФ- i видимого випромінювання невисокої потужності (до 1 Вт/см²) на структуру і властивості алмазоподібних плівок нітриду вуглецю α-C:N у процесі їхнього росту. Виявлено, що УФ-опромінення ростової поверхні плівок ефективно для травлення графітної фази, веде до росту структурної упорядкованості плівок і поліпшує їхню якість. 2004 Article Influence of UV-radiation on structure and properties of diamond-like a-C:N films / R.V.Shalaev, V.N.Varyukhin, A.M.Prudnikov // Functional Materials. — 2004. — Т. 11, № 3. — С. 617-619. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. 1027-5495 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/139485 en Functional Materials НТК «Інститут монокристалів» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
English |
| description |
Study results on effect of a low power (up to 1 W/cm²) UV and visible radiation on the structure and properties of diamond-like carbon nitride (α-C:N) films during their growth have been presented. The UV irradiation of the growing film surface has been found to be effective for the graphite phase etching and to result in an improved structure ordering of the film and enhanced quality thereof. |
| format |
Article |
| author |
Shalaev, R.V. Varyukhin, V.N. Prudnikov, A.M. |
| spellingShingle |
Shalaev, R.V. Varyukhin, V.N. Prudnikov, A.M. Influence of UV-radiation on structure and properties of diamond-like a-C:N films Functional Materials |
| author_facet |
Shalaev, R.V. Varyukhin, V.N. Prudnikov, A.M. |
| author_sort |
Shalaev, R.V. |
| title |
Influence of UV-radiation on structure and properties of diamond-like a-C:N films |
| title_short |
Influence of UV-radiation on structure and properties of diamond-like a-C:N films |
| title_full |
Influence of UV-radiation on structure and properties of diamond-like a-C:N films |
| title_fullStr |
Influence of UV-radiation on structure and properties of diamond-like a-C:N films |
| title_full_unstemmed |
Influence of UV-radiation on structure and properties of diamond-like a-C:N films |
| title_sort |
influence of uv-radiation on structure and properties of diamond-like a-c:n films |
| publisher |
НТК «Інститут монокристалів» НАН України |
| publishDate |
2004 |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/139485 |
| citation_txt |
Influence of UV-radiation on structure and properties of diamond-like a-C:N films / R.V.Shalaev, V.N.Varyukhin, A.M.Prudnikov // Functional Materials. — 2004. — Т. 11, № 3. — С. 617-619. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. |
| series |
Functional Materials |
| work_keys_str_mv |
AT shalaevrv influenceofuvradiationonstructureandpropertiesofdiamondlikeacnfilms AT varyukhinvn influenceofuvradiationonstructureandpropertiesofdiamondlikeacnfilms AT prudnikovam influenceofuvradiationonstructureandpropertiesofdiamondlikeacnfilms |
| first_indexed |
2023-10-18T21:20:27Z |
| last_indexed |
2023-10-18T21:20:27Z |
| _version_ |
1796152554952851456 |