Thermoelastic interactions in Al-n-Si-Ni structures at pulse laser irradiation
Using the scanning electron microscopy and optical metallography, the formation and redistribution of structural defects in the near-contact silicon layer of thermally untreated Al-n-Si structures resulting from thermoelastic stresses developed under pulse laser irradiation have been investigated ex...
Збережено в:
| Видавець: | НТК «Інститут монокристалів» НАН України |
|---|---|
| Дата: | 2005 |
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
НТК «Інститут монокристалів» НАН України
2005
|
| Назва видання: | Functional Materials |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/139698 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Цитувати: | Thermoelastic interactions in Al-n-Si-Ni structures at pulse laser irradiation / G.I. Vorobets, M.M. Vorobets, A.P. Fedorenko // Functional Materials. — 2005. — Т. 12, № 1. — С. 107-113. — Бібліогр.: 10 назв. — англ. |
Репозиторії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-139698 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1396982018-06-22T03:04:36Z Thermoelastic interactions in Al-n-Si-Ni structures at pulse laser irradiation Vorobets, G.I. Vorobets, M.M. Fedorenko, A.P. Using the scanning electron microscopy and optical metallography, the formation and redistribution of structural defects in the near-contact silicon layer of thermally untreated Al-n-Si structures resulting from thermoelastic stresses developed under pulse laser irradiation have been investigated experimentally. A structurized transition layer has been found to be formed at the metal/semiconductor interface at relaxation of elastic stresses in the metal layer. To explain the behavior features of the defect systems at the periphery of Schottky diodes under irradiation of Al-n-Si structures through a silicon optical window, a physical model of the laser radiation effect on the metal/semiconductor contact has been proposed taking into account temperature dependence of the radiation absorption coefficient in the semiconductor. Методами растровой электронной микроскопии и оптической металлографии экспериментально исследовано процессы формирования и перераспределения структурных дефектов в приконтактном слое кремния термически неотожженных структур AI—п— Si вследствие проявления термоупругих напряжений при импульсном лазерном облучении. Обнаружено формирование структурированного переходного слоя на границе металл-полупроводник при релаксации упругих напряжений в металлизации. Для объяснения особенностей поведения систем дефектов по периметру диодов Шоттки при облучении структур AI-п-Si через кремниевое оптическое окно предложена физическая модель воздействия лазерного излучения на контакт металл-полупроводник, учитывающая температурную зависимость коэффициента поглощения излучения в полупроводнике. Методами растрової електронної мікроскопії та оптичної металографії експериментально досліджено процеси формування та перерозподілу структурних дефектів у при-контактному шарі кремнію термічно невідпалених структур Al-n-Si внаслідок прояву термопружних напруг при імпульсному лазерному опроміненні. Виявлено формування структурованого перехідного шару на межі метал-напівпровідник при релаксації пружних напруг у металізації. Для пояснення особливостей поведінки систем дефектів на периметрі діодів Шотткі при опроміненні структур через кремнієве оптичне вікно запропоновано фізичну модель впливу лазерного проміння на контакт метал-напівпровідник, яка враховує температурну залежність коефіцієнта поглинання випромінювання у напівпровіднику. 2005 Article Thermoelastic interactions in Al-n-Si-Ni structures at pulse laser irradiation / G.I. Vorobets, M.M. Vorobets, A.P. Fedorenko // Functional Materials. — 2005. — Т. 12, № 1. — С. 107-113. — Бібліогр.: 10 назв. — англ. 1027-5495 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/139698 en Functional Materials НТК «Інститут монокристалів» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
English |
| description |
Using the scanning electron microscopy and optical metallography, the formation and redistribution of structural defects in the near-contact silicon layer of thermally untreated Al-n-Si structures resulting from thermoelastic stresses developed under pulse laser irradiation have been investigated experimentally. A structurized transition layer has been found to be formed at the metal/semiconductor interface at relaxation of elastic stresses in the metal layer. To explain the behavior features of the defect systems at the periphery of Schottky diodes under irradiation of Al-n-Si structures through a silicon optical window, a physical model of the laser radiation effect on the metal/semiconductor contact has been proposed taking into account temperature dependence of the radiation absorption coefficient in the semiconductor. |
| format |
Article |
| author |
Vorobets, G.I. Vorobets, M.M. Fedorenko, A.P. |
| spellingShingle |
Vorobets, G.I. Vorobets, M.M. Fedorenko, A.P. Thermoelastic interactions in Al-n-Si-Ni structures at pulse laser irradiation Functional Materials |
| author_facet |
Vorobets, G.I. Vorobets, M.M. Fedorenko, A.P. |
| author_sort |
Vorobets, G.I. |
| title |
Thermoelastic interactions in Al-n-Si-Ni structures at pulse laser irradiation |
| title_short |
Thermoelastic interactions in Al-n-Si-Ni structures at pulse laser irradiation |
| title_full |
Thermoelastic interactions in Al-n-Si-Ni structures at pulse laser irradiation |
| title_fullStr |
Thermoelastic interactions in Al-n-Si-Ni structures at pulse laser irradiation |
| title_full_unstemmed |
Thermoelastic interactions in Al-n-Si-Ni structures at pulse laser irradiation |
| title_sort |
thermoelastic interactions in al-n-si-ni structures at pulse laser irradiation |
| publisher |
НТК «Інститут монокристалів» НАН України |
| publishDate |
2005 |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/139698 |
| citation_txt |
Thermoelastic interactions in Al-n-Si-Ni structures at pulse laser irradiation / G.I. Vorobets, M.M. Vorobets, A.P. Fedorenko // Functional Materials. — 2005. — Т. 12, № 1. — С. 107-113. — Бібліогр.: 10 назв. — англ. |
| series |
Functional Materials |
| work_keys_str_mv |
AT vorobetsgi thermoelasticinteractionsinalnsinistructuresatpulselaserirradiation AT vorobetsmm thermoelasticinteractionsinalnsinistructuresatpulselaserirradiation AT fedorenkoap thermoelasticinteractionsinalnsinistructuresatpulselaserirradiation |
| first_indexed |
2023-10-18T21:21:13Z |
| last_indexed |
2023-10-18T21:21:13Z |
| _version_ |
1796152594793496576 |