Optical properties of TiAISiN based thin films
Spectroellipsometric investigations of optical properties of TiAISiN based thin films have been performed. The dispersive dependences of the film optical conductivity о have been obtained in the 1-5 eV spectral range. The observed intense absorption in the near ultraviolet range and some low intensi...
Збережено в:
Дата: | 2005 |
---|---|
Автори: | , , |
Формат: | Стаття |
Мова: | English |
Опубліковано: |
НТК «Інститут монокристалів» НАН України
2005
|
Назва видання: | Functional Materials |
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/140064 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Цитувати: | Optical properties of TiAISiN based thin films / O.I. Nakonechna, L.V. Poperenko, I.V. Yurgelevych // Functional Materials. — 2005. — Т. 12, № 1. — С. 127-130. — Бібліогр.: 15 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraineid |
irk-123456789-140064 |
---|---|
record_format |
dspace |
spelling |
irk-123456789-1400642018-06-23T03:03:34Z Optical properties of TiAISiN based thin films Nakonechna, O.I. Poperenko, L.V. Yurgelevych, I.V. Spectroellipsometric investigations of optical properties of TiAISiN based thin films have been performed. The dispersive dependences of the film optical conductivity о have been obtained in the 1-5 eV spectral range. The observed intense absorption in the near ultraviolet range and some low intensity peculiarities in the near infrared one against a background of intraband absorption in the о curves are related to the interband electron transitions. The character differences in о curves for various coatings could be explained by different chemical composition and the deposition techniques. Проведены спектроэллипсометрические исследования оптических свойств тонких пленок на основе TiAISiN. Получены дисперсионные зависимости оптической проводимости о покрытий в спектральном интервале 1—5 эВ. Интенсивное поглощение в ближней ультрафиолетовой спектральной области и малоинтенсивные особенности в ближней инфракрасной области на фоне внутризонного поглощения, которые наблюдаются на кривых о, связаны с междузонными переходами электронов. Отличия в характере кривых о для различных покрытий можно объяснить различными химическими составами, а также способами их напыления. Проведено спектроеліпсометричні дослідження оптичних властивостей тонких плівок на основі TiAISiN. Отримано дисперсійні залежності оптичної провідності ст покриттів у спектральному інтервалі 1—5 еВ. Інтенсивне поглинання у ближній ультрафіолетовій спектральній області та малоінтенсивні особливості у ближній інфрачервоній області на фоні внутрішньозонного поглинання, які спостерігаються на кривих ст, пов’язані з міжзонними переходами електронів. Відмінності у характері кривих ст для різних покриттів можна пояснити різними хімічними складами, а також способами їх напилення. 2005 Article Optical properties of TiAISiN based thin films / O.I. Nakonechna, L.V. Poperenko, I.V. Yurgelevych // Functional Materials. — 2005. — Т. 12, № 1. — С. 127-130. — Бібліогр.: 15 назв. — англ. 1027-5495 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/140064 en Functional Materials НТК «Інститут монокристалів» НАН України |
institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
collection |
DSpace DC |
language |
English |
description |
Spectroellipsometric investigations of optical properties of TiAISiN based thin films have been performed. The dispersive dependences of the film optical conductivity о have been obtained in the 1-5 eV spectral range. The observed intense absorption in the near ultraviolet range and some low intensity peculiarities in the near infrared one against a background of intraband absorption in the о curves are related to the interband electron transitions. The character differences in о curves for various coatings could be explained by different chemical composition and the deposition techniques. |
format |
Article |
author |
Nakonechna, O.I. Poperenko, L.V. Yurgelevych, I.V. |
spellingShingle |
Nakonechna, O.I. Poperenko, L.V. Yurgelevych, I.V. Optical properties of TiAISiN based thin films Functional Materials |
author_facet |
Nakonechna, O.I. Poperenko, L.V. Yurgelevych, I.V. |
author_sort |
Nakonechna, O.I. |
title |
Optical properties of TiAISiN based thin films |
title_short |
Optical properties of TiAISiN based thin films |
title_full |
Optical properties of TiAISiN based thin films |
title_fullStr |
Optical properties of TiAISiN based thin films |
title_full_unstemmed |
Optical properties of TiAISiN based thin films |
title_sort |
optical properties of tiaisin based thin films |
publisher |
НТК «Інститут монокристалів» НАН України |
publishDate |
2005 |
url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/140064 |
citation_txt |
Optical properties of TiAISiN based thin films / O.I. Nakonechna, L.V. Poperenko, I.V. Yurgelevych // Functional Materials. — 2005. — Т. 12, № 1. — С. 127-130. — Бібліогр.: 15 назв. — англ. |
series |
Functional Materials |
work_keys_str_mv |
AT nakonechnaoi opticalpropertiesoftiaisinbasedthinfilms AT poperenkolv opticalpropertiesoftiaisinbasedthinfilms AT yurgelevychiv opticalpropertiesoftiaisinbasedthinfilms |
first_indexed |
2023-10-18T21:21:36Z |
last_indexed |
2023-10-18T21:21:36Z |
_version_ |
1796152612528062464 |