Технология локальной изоляции активных элементов больших интегральных схем
Збережено в:
| Видавець: | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
|---|---|
| Дата: | 1998 |
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
1998
|
| Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/140765 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Цитувати: | Технология локальной изоляции активных элементов больших интегральных схем / С.П. Новосядлый // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 2. — С. 22. — рос. |
Репозиторії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-140765 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1407652018-07-16T01:23:09Z Технология локальной изоляции активных элементов больших интегральных схем Новосядлый, С.П. Депонированные рукописи 1998 Article Технология локальной изоляции активных элементов больших интегральных схем / С.П. Новосядлый // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 2. — С. 22. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/140765 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Депонированные рукописи Депонированные рукописи |
| spellingShingle |
Депонированные рукописи Депонированные рукописи Новосядлый, С.П. Технология локальной изоляции активных элементов больших интегральных схем Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| format |
Article |
| author |
Новосядлый, С.П. |
| author_facet |
Новосядлый, С.П. |
| author_sort |
Новосядлый, С.П. |
| title |
Технология локальной изоляции активных элементов больших интегральных схем |
| title_short |
Технология локальной изоляции активных элементов больших интегральных схем |
| title_full |
Технология локальной изоляции активных элементов больших интегральных схем |
| title_fullStr |
Технология локальной изоляции активных элементов больших интегральных схем |
| title_full_unstemmed |
Технология локальной изоляции активных элементов больших интегральных схем |
| title_sort |
технология локальной изоляции активных элементов больших интегральных схем |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
1998 |
| topic_facet |
Депонированные рукописи |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/140765 |
| citation_txt |
Технология локальной изоляции активных элементов больших интегральных схем / С.П. Новосядлый // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 2. — С. 22. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| work_keys_str_mv |
AT novosâdlyjsp tehnologiâlokalʹnojizolâciiaktivnyhélementovbolʹšihintegralʹnyhshem |
| first_indexed |
2023-10-18T21:23:23Z |
| last_indexed |
2023-10-18T21:23:23Z |
| _version_ |
1796152682947280896 |