2025-02-23T22:09:45-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-140766%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T22:09:45-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-140766%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T22:09:45-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T22:09:45-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
1998
|
| Series: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/140766 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| id |
irk-123456789-140766 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1407662018-07-16T01:23:18Z Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС Новосядлый, С.П. Депонированные рукописи 1998 Article Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС / С.П. Новосядлый // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 2. — С. 39. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/140766 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Депонированные рукописи Депонированные рукописи |
| spellingShingle |
Депонированные рукописи Депонированные рукописи Новосядлый, С.П. Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| format |
Article |
| author |
Новосядлый, С.П. |
| author_facet |
Новосядлый, С.П. |
| author_sort |
Новосядлый, С.П. |
| title |
Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС |
| title_short |
Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС |
| title_full |
Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС |
| title_fullStr |
Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС |
| title_full_unstemmed |
Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС |
| title_sort |
геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники бис |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
1998 |
| topic_facet |
Депонированные рукописи |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/140766 |
| citation_txt |
Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС / С.П. Новосядлый // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 2. — С. 39. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| work_keys_str_mv |
AT novosâdlyjsp getterirovanieprimesejidefektovvsistemnojtehnologiimikroélektronikibis |
| first_indexed |
2023-10-18T21:23:24Z |
| last_indexed |
2023-10-18T21:23:24Z |
| _version_ |
1796152683053187072 |