Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС
Збережено в:
| Дата: | 1998 |
|---|---|
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
1998
|
| Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/140766 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС / С.П. Новосядлый // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 2. — С. 39. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-140766 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1407662018-07-16T01:23:18Z Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС Новосядлый, С.П. Депонированные рукописи 1998 Article Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС / С.П. Новосядлый // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 2. — С. 39. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/140766 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Депонированные рукописи Депонированные рукописи |
| spellingShingle |
Депонированные рукописи Депонированные рукописи Новосядлый, С.П. Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| format |
Article |
| author |
Новосядлый, С.П. |
| author_facet |
Новосядлый, С.П. |
| author_sort |
Новосядлый, С.П. |
| title |
Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС |
| title_short |
Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС |
| title_full |
Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС |
| title_fullStr |
Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС |
| title_full_unstemmed |
Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС |
| title_sort |
геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники бис |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
1998 |
| topic_facet |
Депонированные рукописи |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/140766 |
| citation_txt |
Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС / С.П. Новосядлый // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 2. — С. 39. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| work_keys_str_mv |
AT novosâdlyjsp getterirovanieprimesejidefektovvsistemnojtehnologiimikroélektronikibis |
| first_indexed |
2023-10-18T21:23:24Z |
| last_indexed |
2023-10-18T21:23:24Z |
| _version_ |
1796152683053187072 |