2025-02-23T12:46:04-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-140770%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T12:46:04-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-140770%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T12:46:04-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T12:46:04-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ

Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ

Предназначена для автоматического обнаружения дефектов топологии фотошаблонов, используемых для производства интегральных микросхем при проекционной литографии в масштабе 10:1 и 5:1....

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 1998
Series:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Subjects:
Научно-промышленные центры СНГ
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/140770
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Description
Summary:Предназначена для автоматического обнаружения дефектов топологии фотошаблонов, используемых для производства интегральных микросхем при проекционной литографии в масштабе 10:1 и 5:1.

Similar Items