2025-02-23T13:05:38-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-140770%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T13:05:38-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-140770%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T13:05:38-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T13:05:38-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ

Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ

Предназначена для автоматического обнаружения дефектов топологии фотошаблонов, используемых для производства интегральных микросхем при проекционной литографии в масштабе 10:1 и 5:1....

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 1998
Series:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Subjects:
Научно-промышленные центры СНГ
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/140770
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
id irk-123456789-140770
record_format dspace
spelling irk-123456789-1407702018-07-16T01:23:21Z Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ Научно-промышленные центры СНГ Предназначена для автоматического обнаружения дефектов топологии фотошаблонов, используемых для производства интегральных микросхем при проекционной литографии в масштабе 10:1 и 5:1. 1998 Article Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 3-4. — С. 15. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/140770 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
topic Научно-промышленные центры СНГ
Научно-промышленные центры СНГ
spellingShingle Научно-промышленные центры СНГ
Научно-промышленные центры СНГ
Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Предназначена для автоматического обнаружения дефектов топологии фотошаблонов, используемых для производства интегральных микросхем при проекционной литографии в масштабе 10:1 и 5:1.
format Article
title Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ
title_short Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ
title_full Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ
title_fullStr Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ
title_full_unstemmed Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ
title_sort установка автоматического контроля топологии фотошаблонов эм-602эам
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
publishDate 1998
topic_facet Научно-промышленные центры СНГ
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/140770
citation_txt Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 3-4. — С. 15. — рос.
series Технология и конструирование в электронной аппаратуре
first_indexed 2023-10-18T21:23:24Z
last_indexed 2023-10-18T21:23:24Z
_version_ 1796152683473666048

Similar Items