Лазерный генератор изображений ЭМ-5009В

Установка предназначена для изготовления металлизированных промежуточных фотооригиналов при производстве БИС, СБИС, фотоэлектронных преобразователей, ЖК-индикаторов, фотошаблонов ГИС, специальных измерительных и тестовых шаблонов. Является автоматической установкой, работающей по принципу микрофотон...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Видавець:Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Дата:1998
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 1998
Назва видання:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Теми:
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/140772
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Цитувати:Лазерный генератор изображений ЭМ-5009В // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 3-4. — С. 37. — рос.

Репозиторії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine