Многоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5089В
Предназначен для экспонирования металлизированных фотошаблонов (ФШ). Осуществляет формирование слоя ФШ за время, не зависящее от сложности его описания. Оснащен системой совмещения, позволяющей производить экспонирование в режиме двойного маскирования. Работает по принципу растровой развертки луча л...
Збережено в:
| Дата: | 1998 |
|---|---|
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
1998
|
| Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/140773 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Многоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5089В // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 3-4. — С. 61. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-140773 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1407732018-07-16T01:23:29Z Многоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5089В Научно-промышленные центры СНГ Предназначен для экспонирования металлизированных фотошаблонов (ФШ). Осуществляет формирование слоя ФШ за время, не зависящее от сложности его описания. Оснащен системой совмещения, позволяющей производить экспонирование в режиме двойного маскирования. Работает по принципу растровой развертки луча лазера с помощью электрооптического устройства. 1998 Article Многоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5089В // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 3-4. — С. 61. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/140773 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Научно-промышленные центры СНГ Научно-промышленные центры СНГ |
| spellingShingle |
Научно-промышленные центры СНГ Научно-промышленные центры СНГ Многоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5089В Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
Предназначен для экспонирования металлизированных фотошаблонов (ФШ). Осуществляет формирование слоя ФШ за время, не зависящее от сложности его описания. Оснащен системой совмещения, позволяющей производить экспонирование в режиме двойного маскирования. Работает по принципу растровой развертки луча лазера с помощью электрооптического устройства. |
| format |
Article |
| title |
Многоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5089В |
| title_short |
Многоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5089В |
| title_full |
Многоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5089В |
| title_fullStr |
Многоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5089В |
| title_full_unstemmed |
Многоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5089В |
| title_sort |
многоканальный лазерный генератор изображений эм-5089в |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
1998 |
| topic_facet |
Научно-промышленные центры СНГ |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/140773 |
| citation_txt |
Многоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5089В // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 3-4. — С. 61. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| first_indexed |
2023-10-18T21:23:25Z |
| last_indexed |
2023-10-18T21:23:25Z |
| _version_ |
1796152683788238848 |