Структура та властивості поруватого кремнію, що утворюється при електрохімічному розчиненні монокристала
Досліджено структуру поруватого кремнію методами скануючої електронної мікроскопії (СЕМ) та атомної силової мікроскопії (АСМ) в залежності від режимів електрохімічного процесу розчинення монокристалічного кремнію р-типу. Встановлено, що при анодному розчиненні можливе утворення двохшарової нанопорув...
Збережено в:
| Видавець: | Інститут хімії поверхні ім. О.О. Чуйка НАН України |
|---|---|
| Дата: | 2004 |
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Ukrainian |
| Опубліковано: |
Інститут хімії поверхні ім. О.О. Чуйка НАН України
2004
|
| Назва видання: | Поверхность |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/146376 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Цитувати: | Структура та властивості поруватого кремнію, що утворюється при електрохімічному розчиненні монокристала / Т.І. Горбанюк, В.С. Солнцев // Поверхность. — 2004. — Вип. 10. — С. 65-68. — Бібліогр.: 4 назв. — укр. |
Репозиторії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-146376 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1463762019-02-10T01:23:17Z Структура та властивості поруватого кремнію, що утворюється при електрохімічному розчиненні монокристала Горбанюк, Т.І. Солнцев, В.С. Хімія поверхні кремнезему Досліджено структуру поруватого кремнію методами скануючої електронної мікроскопії (СЕМ) та атомної силової мікроскопії (АСМ) в залежності від режимів електрохімічного процесу розчинення монокристалічного кремнію р-типу. Встановлено, що при анодному розчиненні можливе утворення двохшарової нанопоруватої полімерної плівки кремнію, мікропоруватого шару з включеннями аморфного кремнію або полірованої поверхні кремнію. The structure of porous Si has been studied by scanning electron microscopy (SEM) and atomic force microscopy (AFM) as dependent on the conditions of electrochemical dissolution of single-crystal p–type silicon. The formation has been found of two-layer nanoporous silicon polymer film, of microporous layer with incorporated amorphous silicon particles, or of polished silicon surface. 2004 Article Структура та властивості поруватого кремнію, що утворюється при електрохімічному розчиненні монокристала / Т.І. Горбанюк, В.С. Солнцев // Поверхность. — 2004. — Вип. 10. — С. 65-68. — Бібліогр.: 4 назв. — укр. 2617-5975 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/146376 535.36.37+537.2+539.219 uk Поверхность Інститут хімії поверхні ім. О.О. Чуйка НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Ukrainian |
| topic |
Хімія поверхні кремнезему Хімія поверхні кремнезему |
| spellingShingle |
Хімія поверхні кремнезему Хімія поверхні кремнезему Горбанюк, Т.І. Солнцев, В.С. Структура та властивості поруватого кремнію, що утворюється при електрохімічному розчиненні монокристала Поверхность |
| description |
Досліджено структуру поруватого кремнію методами скануючої електронної мікроскопії (СЕМ) та атомної силової мікроскопії (АСМ) в залежності від режимів електрохімічного процесу розчинення монокристалічного кремнію р-типу. Встановлено, що при анодному розчиненні можливе утворення двохшарової нанопоруватої полімерної плівки кремнію, мікропоруватого шару з включеннями аморфного кремнію або полірованої поверхні кремнію. |
| format |
Article |
| author |
Горбанюк, Т.І. Солнцев, В.С. |
| author_facet |
Горбанюк, Т.І. Солнцев, В.С. |
| author_sort |
Горбанюк, Т.І. |
| title |
Структура та властивості поруватого кремнію, що утворюється при електрохімічному розчиненні монокристала |
| title_short |
Структура та властивості поруватого кремнію, що утворюється при електрохімічному розчиненні монокристала |
| title_full |
Структура та властивості поруватого кремнію, що утворюється при електрохімічному розчиненні монокристала |
| title_fullStr |
Структура та властивості поруватого кремнію, що утворюється при електрохімічному розчиненні монокристала |
| title_full_unstemmed |
Структура та властивості поруватого кремнію, що утворюється при електрохімічному розчиненні монокристала |
| title_sort |
структура та властивості поруватого кремнію, що утворюється при електрохімічному розчиненні монокристала |
| publisher |
Інститут хімії поверхні ім. О.О. Чуйка НАН України |
| publishDate |
2004 |
| topic_facet |
Хімія поверхні кремнезему |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/146376 |
| citation_txt |
Структура та властивості поруватого кремнію, що утворюється при електрохімічному розчиненні монокристала / Т.І. Горбанюк, В.С. Солнцев // Поверхность. — 2004. — Вип. 10. — С. 65-68. — Бібліогр.: 4 назв. — укр. |
| series |
Поверхность |
| work_keys_str_mv |
AT gorbanûktí strukturatavlastivostíporuvatogokremníûŝoutvorûêtʹsâprielektrohímíčnomurozčinennímonokristala AT solncevvs strukturatavlastivostíporuvatogokremníûŝoutvorûêtʹsâprielektrohímíčnomurozčinennímonokristala |
| first_indexed |
2023-05-20T17:24:38Z |
| last_indexed |
2023-05-20T17:24:38Z |
| _version_ |
1796153232074997760 |