2025-02-23T03:27:29-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-147497%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T03:27:29-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-147497%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T03:27:29-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T03:27:29-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Использование суспензий на основе пирогенного кремнезема для химико-механической полировки монокристаллического кремния

Использование суспензий на основе пирогенного кремнезема для химико-механической полировки монокристаллического кремния

В статье описывается методика приготовления полирующих суспензий на основе наноразмерных частиц пирогенного кремнезема, приводятся их основные технологические характеристики, а также даются рекомендации по их использованию в химико-механической полировке полупроводниковых пластин монокристаллическог...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Гайшун, В.Е., Косенок, Я.А., Тюленкова, О.И., Туров, В.В., Гунько, В.М.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут хімії поверхні ім. О.О. Чуйка НАН України 2008
Series:Поверхность
Subjects:
Наноматериалы и нанотехнологии
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/147497
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Description
Summary:В статье описывается методика приготовления полирующих суспензий на основе наноразмерных частиц пирогенного кремнезема, приводятся их основные технологические характеристики, а также даются рекомендации по их использованию в химико-механической полировке полупроводниковых пластин монокристаллического кремния.

Similar Items