Using of proton beam writing techniques for fabrication of micro difraction gratings
To obtain micrometric gratings with a high aspect ratio by lithographic technique, it is proposed to use a proton beam focused in a line and electromagnetic scanning in the transverse direction to irradiate the resistive material. Numerical modeling is carried out to optimize the parameters of the...
Збережено в:
| Дата: | 2018 |
|---|---|
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2018
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/147662 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Using of proton beam writing techniques for fabrication of micro difraction gratings / A.G. Ponomarev, S.V. Kolinko, V.A. Rebrov, V.N. Kolomiets, S.N. Kravchenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 4. — С. 285-288. — Бібліогр.: 13 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-147662 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1476622019-02-16T01:23:49Z Using of proton beam writing techniques for fabrication of micro difraction gratings Ponomarev, A.G. Kolinko, S.V. Rebrov, V.A. Kolomiets, V.N. Kravchenko, S.N. Приложения и технологии To obtain micrometric gratings with a high aspect ratio by lithographic technique, it is proposed to use a proton beam focused in a line and electromagnetic scanning in the transverse direction to irradiate the resistive material. Numerical modeling is carried out to optimize the parameters of the probe forming system for this task. The calculations were confirmed during the experimental implementation of the proposed technique. A grating from the 23.4×2060 μm lines was made. Для виробництва мікродифракційних граток з великим аспектним співвідношенням методом літографії запропоновано застосувати для опромінення фоторезисту протонний пучок, сфокусований в лінію, та електромагнітне сканування в поперечному напрямку. Проведене чисельне моделювання з оптимізації параметрів ЗФС для даної задачі. Розрахунки підтверджено при експериментальній реалізації запропонованого методу, виготовлено гратку зi смугами розмірами 23,4×2060 мкм. Для получения микродифракционных решеток с высоким аспектным соотношением методом литографии предложено использовать для облучения фоторезиста протонный пучок, сфокусированный в линию, и электромагнитное сканирование в поперечном направлении. Проведено численное моделирование по оптимизации параметров ЗФС для данной задачи. Расчеты подтверждены при экспериментальной реализации предложенного метода, получена решетка из полос размерами 23,4×2060 мкм. 2018 Article Using of proton beam writing techniques for fabrication of micro difraction gratings / A.G. Ponomarev, S.V. Kolinko, V.A. Rebrov, V.N. Kolomiets, S.N. Kravchenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 4. — С. 285-288. — Бібліогр.: 13 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 42.82.Cr; 85.40.Hp; 81.16.Nd http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/147662 en Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
English |
| topic |
Приложения и технологии Приложения и технологии |
| spellingShingle |
Приложения и технологии Приложения и технологии Ponomarev, A.G. Kolinko, S.V. Rebrov, V.A. Kolomiets, V.N. Kravchenko, S.N. Using of proton beam writing techniques for fabrication of micro difraction gratings Вопросы атомной науки и техники |
| description |
To obtain micrometric gratings with a high aspect ratio by lithographic technique, it is proposed to use a proton
beam focused in a line and electromagnetic scanning in the transverse direction to irradiate the resistive material.
Numerical modeling is carried out to optimize the parameters of the probe forming system for this task. The calculations were confirmed during the experimental implementation of the proposed technique. A grating from the
23.4×2060 μm lines was made. |
| format |
Article |
| author |
Ponomarev, A.G. Kolinko, S.V. Rebrov, V.A. Kolomiets, V.N. Kravchenko, S.N. |
| author_facet |
Ponomarev, A.G. Kolinko, S.V. Rebrov, V.A. Kolomiets, V.N. Kravchenko, S.N. |
| author_sort |
Ponomarev, A.G. |
| title |
Using of proton beam writing techniques for fabrication of micro difraction gratings |
| title_short |
Using of proton beam writing techniques for fabrication of micro difraction gratings |
| title_full |
Using of proton beam writing techniques for fabrication of micro difraction gratings |
| title_fullStr |
Using of proton beam writing techniques for fabrication of micro difraction gratings |
| title_full_unstemmed |
Using of proton beam writing techniques for fabrication of micro difraction gratings |
| title_sort |
using of proton beam writing techniques for fabrication of micro difraction gratings |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| publishDate |
2018 |
| topic_facet |
Приложения и технологии |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/147662 |
| citation_txt |
Using of proton beam writing techniques for fabrication of micro difraction gratings / A.G. Ponomarev, S.V. Kolinko, V.A. Rebrov, V.N. Kolomiets, S.N. Kravchenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 4. — С. 285-288. — Бібліогр.: 13 назв. — англ. |
| series |
Вопросы атомной науки и техники |
| work_keys_str_mv |
AT ponomarevag usingofprotonbeamwritingtechniquesforfabricationofmicrodifractiongratings AT kolinkosv usingofprotonbeamwritingtechniquesforfabricationofmicrodifractiongratings AT rebrovva usingofprotonbeamwritingtechniquesforfabricationofmicrodifractiongratings AT kolomietsvn usingofprotonbeamwritingtechniquesforfabricationofmicrodifractiongratings AT kravchenkosn usingofprotonbeamwritingtechniquesforfabricationofmicrodifractiongratings |
| first_indexed |
2023-05-20T17:28:06Z |
| last_indexed |
2023-05-20T17:28:06Z |
| _version_ |
1796153362258853888 |