Using of proton beam writing techniques for fabrication of micro difraction gratings

• Дата: 2018
• Автори: Ponomarev, A.G., Kolinko, S.V., Rebrov, V.A., Kolomiets, V.N., Kravchenko, S.N.
• Формат: Стаття
• Мова: English
• Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2018
• Назва видання: Вопросы атомной науки и техники
• Теми: Приложения и технологии
• Онлайн доступ: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/147662
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Using of proton beam writing techniques for fabrication of micro difraction gratings / A.G. Ponomarev, S.V. Kolinko, V.A. Rebrov, V.N. Kolomiets, S.N. Kravchenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 4. — С. 285-288. — Бібліогр.: 13 назв. — англ.

To obtain micrometric gratings with a high aspect ratio by lithographic technique, it is proposed to use a proton beam focused in a line and electromagnetic scanning in the transverse direction to irradiate the resistive material. Numerical modeling is carried out to optimize the parameters of the...