Динамический метод создания газовых смесей для плазменных технологий
Рассмотрен вопрос создания многокомпонентных газовых смесей, предназначенных для использования в плазменных установках. Предложен динамический метод получения смесей газов, основанный на сверхкритическом истечении газов из емкостей через калиброванные отверстия. Показано, что при соответствующем в...
Збережено в:
| Видавець: | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
|---|---|
| Дата: | 2018 |
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2018
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/147716 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Цитувати: | Динамический метод создания газовых смесей для плазменных технологий / С.И. Планковский, О.В. Шипуль, С.А. Заклинский, О.В. Трифонов // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 5. — С. 121-125. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
Репозиторії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-147716 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1477162019-02-16T01:26:39Z Динамический метод создания газовых смесей для плазменных технологий Планковский, С.И. Шипуль, О.В. Заклинский, С.А. Трифонов, О.В. Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Рассмотрен вопрос создания многокомпонентных газовых смесей, предназначенных для использования в плазменных установках. Предложен динамический метод получения смесей газов, основанный на сверхкритическом истечении газов из емкостей через калиброванные отверстия. Показано, что при соответствующем выборе объема емкостей и площадей критических отверстий может быть обеспечена высокая точность заданного состава смеси. В случае необходимости генерации газовой смеси из компонент, имеющих различные показатели адиабаты, предложено производить коррекцию начального давления газов в емкостях. Это также позволит компенсировать погрешности, связанные с изготовлением конструктивных элементов генератора смеси. Приведен пример расчета генератора смеси на основе предложенного метода, который подтверждает возможность обеспечения ее компонентного состава с погрешностью порядка 0,01%. Розглянуто питання створення багатокомпонентних газових сумішей, призначених для використання в плазмових установках. Запропоновано динамічний метод отримання сумішей газів, що базується на надкритичному витіканні газів з ємностей через калібровані отвори. Показано, що при відповідному виборі об’єму ємностей і площин критичних отворів може бути забезпечена висока точність заданого складу суміші. У разі необхідності генерації газової суміші із компонент, що мають різні показники адіабати, і для компенсації похибок, пов'язаних з виготовленням конструктивних елементів генератора суміші, запропоновано проводити корекцію початкового тиску газів в ємностях. Наведено приклад розрахунку генератора суміші на основі запропонованого методу, який підтверджує можливість забезпечення її компонентного складу з похибкою близько 0,01%. The issue of creating multicomponent gas mixtures intended for use in plasma technologies is considered. A dynamic method for obtaining mixed gases based on supercritical outflow of gases from tanks through calibrated holes is proposed. It is shown that, with an appropriate choice of the volume of capacities and areas of critical orifices, high accuracy of the specified mixture composition can be ensured. If it is necessary to generate a gas mixture from components having different adiabatic indices and to compensate for the errors associated with the fabrication of the components of the mixture generator, it is suggested to correct the initial pressure of the gases in the tanks. An example of calculation of a mixture generator is given based on the proposed method, which confirms the possibility of providing its component composition with an error of about 0.01%. 2018 Article Динамический метод создания газовых смесей для плазменных технологий / С.И. Планковский, О.В. Шипуль, С.А. Заклинский, О.В. Трифонов // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 5. — С. 121-125. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. 1562-6016 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/147716 66.071.4:66.088 ru Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| spellingShingle |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Планковский, С.И. Шипуль, О.В. Заклинский, С.А. Трифонов, О.В. Динамический метод создания газовых смесей для плазменных технологий Вопросы атомной науки и техники |
| description |
Рассмотрен вопрос создания многокомпонентных газовых смесей, предназначенных для использования в
плазменных установках. Предложен динамический метод получения смесей газов, основанный на сверхкритическом истечении газов из емкостей через калиброванные отверстия. Показано, что при соответствующем
выборе объема емкостей и площадей критических отверстий может быть обеспечена высокая точность заданного состава смеси. В случае необходимости генерации газовой смеси из компонент, имеющих различные показатели адиабаты, предложено производить коррекцию начального давления газов в емкостях. Это
также позволит компенсировать погрешности, связанные с изготовлением конструктивных элементов генератора смеси. Приведен пример расчета генератора смеси на основе предложенного метода, который подтверждает возможность обеспечения ее компонентного состава с погрешностью порядка 0,01%. |
| format |
Article |
| author |
Планковский, С.И. Шипуль, О.В. Заклинский, С.А. Трифонов, О.В. |
| author_facet |
Планковский, С.И. Шипуль, О.В. Заклинский, С.А. Трифонов, О.В. |
| author_sort |
Планковский, С.И. |
| title |
Динамический метод создания газовых смесей для плазменных технологий |
| title_short |
Динамический метод создания газовых смесей для плазменных технологий |
| title_full |
Динамический метод создания газовых смесей для плазменных технологий |
| title_fullStr |
Динамический метод создания газовых смесей для плазменных технологий |
| title_full_unstemmed |
Динамический метод создания газовых смесей для плазменных технологий |
| title_sort |
динамический метод создания газовых смесей для плазменных технологий |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| publishDate |
2018 |
| topic_facet |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/147716 |
| citation_txt |
Динамический метод создания газовых смесей для плазменных технологий / С.И. Планковский, О.В. Шипуль, С.А. Заклинский, О.В. Трифонов // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 5. — С. 121-125. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
| series |
Вопросы атомной науки и техники |
| work_keys_str_mv |
AT plankovskijsi dinamičeskijmetodsozdaniâgazovyhsmesejdlâplazmennyhtehnologij AT šipulʹov dinamičeskijmetodsozdaniâgazovyhsmesejdlâplazmennyhtehnologij AT zaklinskijsa dinamičeskijmetodsozdaniâgazovyhsmesejdlâplazmennyhtehnologij AT trifonovov dinamičeskijmetodsozdaniâgazovyhsmesejdlâplazmennyhtehnologij |
| first_indexed |
2023-05-20T17:28:28Z |
| last_indexed |
2023-05-20T17:28:28Z |
| _version_ |
1796153381499174912 |