Температурна залежність параметрів поверхневих станів структури метал–діелектрик–напівпровідник

• Видавець: Інститут хімії поверхні ім. О.О. Чуйка НАН України
• Дата: 2012
• Автори: Гаврилюк, О.О., Клименко, В.Є., Семчук, О.Ю.
• Формат: Стаття
• Мова: Ukrainian
• Опубліковано: Інститут хімії поверхні ім. О.О. Чуйка НАН України 2012
• Назва видання: Поверхность
• Теми: Теория химического строения и реакционной способности поверхности. Моделирование процессов на поверхности
• Онлайн доступ: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/148893
• Цитувати: Температурна залежність параметрів поверхневих станів структури метал–діелектрик–напівпровідник / О.О. Гаврилюк, В.Є. Клименко, О.Ю. Семчук // Поверхность. — 2012. — Вип. 4 (19). — С. 52-56. — Бібліогр.: 11 назв. — укр.

Досліджена температурна залежность параметрів поверхневих станів структури метал-діелектрик-напівпровідник на високих частотах. Фазометричним методом досліджено імпеданс вбудованого каналу безкорпусного планарного польового транзистора з двома ізольованими затворами.