Probe measurements of parameters of dense gasmetallic plasma in the inhomogeneous magnetic field of a planar magnetron discharge
The paper presents measurements of the electron temperature and plasma concentration in both stationary and pulsed operation modes of a longitudinal planar MDC with a magnetically insulated anode in stationary and highcurrent pulsed operation modes with a high-voltage impulse voltage addition. The...
Збережено в:
| Дата: | 2018 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2018
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/149062 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Probe measurements of parameters of dense gasmetallic plasma in the inhomogeneous magnetic field of a planar magnetron discharge / А.G. Chunadra, К.N. Sereda, I.K. Tarasov // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 6. — С. 252-254. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-149062 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1490622019-02-20T01:24:30Z Probe measurements of parameters of dense gasmetallic plasma in the inhomogeneous magnetic field of a planar magnetron discharge Chunadra, А.G. Sereda, К.N. Tarasov, I.K. Низкотемпературная плазма и плазменные технологии The paper presents measurements of the electron temperature and plasma concentration in both stationary and pulsed operation modes of a longitudinal planar MDC with a magnetically insulated anode in stationary and highcurrent pulsed operation modes with a high-voltage impulse voltage addition. The measurements were carried out according to the standard procedure for Langmuir double probes. The obtained volt-ampere characteristics of a double probe show that the electron temperature increases by a factor of two in the pulsed mode of operation of the magnetron in comparison with the steady-state regime, and the density of the pulsed plasma increases by three orders of magnitude. Представлено виміри температури електронів і концентрація плазми як у стаціонарному, так і в імпульсному режимах роботи повздовжньої планарної МРС з магнітоізольованим анодом у стаціонарному та сильнострумовому імпульсному режимах роботи з високовольтною імпульсною добавкою напруги. Виміри проводилися за стандартною методикою для двійних зондів Ленгмюра. Отримані вольт-амперні характеристики двійного зонда показують, що температура електронів збільшується в два рази в імпульсному режимі роботи магнетрона в порівнянні у стаціонарним режимом, а концентрація імпульсної плазми зростає на три порядки. Представлены измерения температуры электронов и концентрации плазмы как в стационарном, так и в импульсном режимах работы продольной планарной МРС с магнитоизолированным анодом в стационарном и сильноточном импульсном режимах работы с высоковольтной импульсной добавкой напряжения. Измерения проводились по стандартной методике для двойных зондов Ленгмюра. Полученные вольтамперные характеристики двойного зонда показывают, что температура электронов увеличивается в два раза в импульсном режиме работы магнетрона по сравнению со стационарным режимом, а плотность импульсной плазмы возрастает на три порядка. 2018 Article Probe measurements of parameters of dense gasmetallic plasma in the inhomogeneous magnetic field of a planar magnetron discharge / А.G. Chunadra, К.N. Sereda, I.K. Tarasov // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 6. — С. 252-254. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 51.50.+v, 52.25.Jm http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/149062 en Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
English |
| topic |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| spellingShingle |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии Низкотемпературная плазма и плазменные технологии Chunadra, А.G. Sereda, К.N. Tarasov, I.K. Probe measurements of parameters of dense gasmetallic plasma in the inhomogeneous magnetic field of a planar magnetron discharge Вопросы атомной науки и техники |
| description |
The paper presents measurements of the electron temperature and plasma concentration in both stationary and
pulsed operation modes of a longitudinal planar MDC with a magnetically insulated anode in stationary and highcurrent pulsed operation modes with a high-voltage impulse voltage addition. The measurements were carried out
according to the standard procedure for Langmuir double probes. The obtained volt-ampere characteristics of a
double probe show that the electron temperature increases by a factor of two in the pulsed mode of operation of the
magnetron in comparison with the steady-state regime, and the density of the pulsed plasma increases by three
orders of magnitude. |
| format |
Article |
| author |
Chunadra, А.G. Sereda, К.N. Tarasov, I.K. |
| author_facet |
Chunadra, А.G. Sereda, К.N. Tarasov, I.K. |
| author_sort |
Chunadra, А.G. |
| title |
Probe measurements of parameters of dense gasmetallic plasma in the inhomogeneous magnetic field of a planar magnetron discharge |
| title_short |
Probe measurements of parameters of dense gasmetallic plasma in the inhomogeneous magnetic field of a planar magnetron discharge |
| title_full |
Probe measurements of parameters of dense gasmetallic plasma in the inhomogeneous magnetic field of a planar magnetron discharge |
| title_fullStr |
Probe measurements of parameters of dense gasmetallic plasma in the inhomogeneous magnetic field of a planar magnetron discharge |
| title_full_unstemmed |
Probe measurements of parameters of dense gasmetallic plasma in the inhomogeneous magnetic field of a planar magnetron discharge |
| title_sort |
probe measurements of parameters of dense gasmetallic plasma in the inhomogeneous magnetic field of a planar magnetron discharge |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| publishDate |
2018 |
| topic_facet |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/149062 |
| citation_txt |
Probe measurements of parameters of dense gasmetallic plasma in the inhomogeneous magnetic field of a planar magnetron discharge / А.G. Chunadra, К.N. Sereda, I.K. Tarasov // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 6. — С. 252-254. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. |
| series |
Вопросы атомной науки и техники |
| work_keys_str_mv |
AT chunadraag probemeasurementsofparametersofdensegasmetallicplasmaintheinhomogeneousmagneticfieldofaplanarmagnetrondischarge AT seredakn probemeasurementsofparametersofdensegasmetallicplasmaintheinhomogeneousmagneticfieldofaplanarmagnetrondischarge AT tarasovik probemeasurementsofparametersofdensegasmetallicplasmaintheinhomogeneousmagneticfieldofaplanarmagnetrondischarge |
| first_indexed |
2023-05-20T17:31:39Z |
| last_indexed |
2023-05-20T17:31:39Z |
| _version_ |
1796153503357337600 |