Probe measurements of parameters of dense gasmetallic plasma in the inhomogeneous magnetic field of a planar magnetron discharge
The paper presents measurements of the electron temperature and plasma concentration in both stationary and pulsed operation modes of a longitudinal planar MDC with a magnetically insulated anode in stationary and highcurrent pulsed operation modes with a high-voltage impulse voltage addition. The...
Збережено в:
Дата: | 2018 |
---|---|
Автори: | Chunadra, А.G., Sereda, К.N., Tarasov, I.K. |
Формат: | Стаття |
Мова: | English |
Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2018
|
Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
Теми: | |
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/149062 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Цитувати: | Probe measurements of parameters of dense gasmetallic plasma in the inhomogeneous magnetic field of a planar magnetron discharge / А.G. Chunadra, К.N. Sereda, I.K. Tarasov // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 6. — С. 252-254. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
-
High-current pulsed operation modes of the planar MSS with magnetically insulated anode without transition to the arc discharge
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2012) -
Control of planar magnetron sputtering system operating modes by additional anode magnetic field
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2010) -
Increasing of mass transfer efficiency at magnetron deposition of metal coating
за авторством: Chunadra, A.G., та інші
Опубліковано: (2015) -
Features of coatings deposition in combined stationary-pulsed operation mode of the magnetron sputtering system
за авторством: Chunadra, А.G., та інші
Опубліковано: (2017) -
Excitation of self-sustained secondary emission by gas discharge and hollow beam generation in magnetron injection gun
за авторством: Cherenshchykov, S.A., та інші
Опубліковано: (2009)