Исследование влияния параметров синтеза алмазных покрытий на скорость их роста и величину удельного электрического сопротивления
Приведены результаты исследований по влиянию на кинетику процесса синтеза алмазных покрытий из газовой фазы в плазме тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем, величины тока разряда и температуры подложки. Показано, что для каждого интервала токов разряда существует своя зависимость скоро...
Збережено в:
Дата: | 2010 |
---|---|
Автори: | Веревкин, А.А., Выровец, И.И., Грицына, В.И., Дудник, С.Ф., Кутний, В.Е., Опалев, О.А., Рыбка, А.С., Стрельницкий, В.Е. |
Формат: | Стаття |
Мова: | Russian |
Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2010
|
Теми: | |
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/14991 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Цитувати: | Исследование влияния параметров синтеза алмазных покрытий на скорость их роста и величину удельного электрического сопротивления / А.А. Веревкин, И.И. Выровец, В.И. Грицына, С.Ф. Дудник, В.Е. Кутний, О.А. Опалев, А.С. Рыбка, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2010. — № 1. — С. 104-107. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
-
Получение самонесущих поликристаллических алмазных пленок для детекторов ионизирующего излучения
за авторством: Березняк, Е.П., та інші
Опубліковано: (2011) -
Синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем
за авторством: Опалев, О.А., та інші
Опубліковано: (2000) -
Электродуговой плазмотрон для высокопроизводительного синтеза алмазных покрытий
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2001) -
Влияние добавки аргона в водородометановую смесь на синтез алмазоподобного покрытия в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем
за авторством: Пашнев, В.К., та інші
Опубліковано: (2002) -
Разработка дозиметрических и спектрометрических блоков регистрации гамма-излучения на основе полупроводниковых соединений CdTe (CdZnTe) для АЭС Украины
за авторством: Кутний, В.Е., та інші
Опубліковано: (2004)