Scanning Acoustic Microscopy of Annealing Effects for Aluminium Thin Film Deposited on Silicon Substrate

Scanning Acoustic Microscopy of Annealing Effects for Aluminium Thin Film Deposited on Silicon Substrate

Scanning acoustic microscope (SAM) has proved to be a powerful new technique for investigation and characterization of mechanical properties of materials, especially, the opaque ones. Non-destructive measurements can be carried out using SAM in the vicinity of materials’ surfaces or relatively deepe...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Видавець:Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
Дата:2018
Автори: Chafia Atailia, Lakhdar Deboub, Amar Boudour, Youcef Boumaiza
Формат: Стаття
Мова:English
Опубліковано: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2018
Назва видання:Металлофизика и новейшие технологии
Теми:
Физико-технические основы эксперимента и диагностики
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/151871
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Цитувати:Scanning Acoustic Microscopy of Annealing Effects for Aluminium Thin Film Deposited on Silicon Substrate / Chafia Atailia, Lakhdar Deboub, Amar Boudour, Youcef Boumaiza // Металлофизика и новейшие технологии. — 2018. — Т. 40, № 10. — С. 1387-1399. — Бібліогр.: 20 назв. — англ.

Репозиторії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-151871
record_format dspace
spelling irk-123456789-1518712019-05-25T01:25:47Z Scanning Acoustic Microscopy of Annealing Effects for Aluminium Thin Film Deposited on Silicon Substrate Chafia Atailia Lakhdar Deboub Amar Boudour Youcef Boumaiza Физико-технические основы эксперимента и диагностики Scanning acoustic microscope (SAM) has proved to be a powerful new technique for investigation and characterization of mechanical properties of materials, especially, the opaque ones. Non-destructive measurements can be carried out using SAM in the vicinity of materials’ surfaces or relatively deeper away from them. The present work is focussed on the effects of annealing on mechanical properties of samples composed of an Al layer (10 μμm) on Si substrate. Combining the results obtained from the so-called acoustic signature and acoustic images of the Al/Si interface with those from the lateral and longitudinal waves (Rayleigh speeds), it is possible to deduce that the best homogeneous adhesion is obtained after annealing at 500°C. Сканирующий акустический микроскоп (САМ) является мощным современным инструментом для исследования и определения механических свойств материалов, особенно непрозрачных. САМ позволяет проводить неразрушающие исследования материалов как вблизи их поверхности, так и на некотором расстоянии от неё вглубь образца. Работа посвящена изучению влияния отжига на механические свойства образцов, состоящих из слоя Al (10 мкм) на подложке из Si. Объединяя результаты, полученные на основании измерений так называемой акустической сигнатуры и акустических изображений интерфейса Al/Si с использованием поперечных и продольных волн (скоростей Рэлея), можно сделать вывод, что наилучшая гомогенная адгезия реализуется после отжига при 500°С. Сканівний акустичний мікроскоп (САМ) є потужнім новим інструментом для дослідження та визначення механічних властивостей матеріялів, особливо непрозорих. САМ уможливлює проводити неруйнівні дослідження матеріялів як поблизу поверхні, так і на деякій віддалі від неї углиб зразка. Робота стосується вивчення впливу відпалу на механічні властивості зразків, що складаються з шару Al (10 мкм) на підложжі з Si. Поєднуючи результати, одержані з так званої акустичної сиґнатури й акустичних зображень інтерфейсу Al/Si з використанням поперечних і поздовжніх хвиль (Релейових швидкостей), можна зробити висновок, що найліпша гомогенна адгезія реалізується після відпалу за 500°С. 2018 Article Scanning Acoustic Microscopy of Annealing Effects for Aluminium Thin Film Deposited on Silicon Substrate / Chafia Atailia, Lakhdar Deboub, Amar Boudour, Youcef Boumaiza // Металлофизика и новейшие технологии. — 2018. — Т. 40, № 10. — С. 1387-1399. — Бібліогр.: 20 назв. — англ. 1024-1809 PACS: 46.40.Cd, 62.25.Jk, 62.30.+d, 68.37.Tj, 81.15.Gh, 81.40.Ef, 81.70.Cv DOI: 10.15407/mfint.40.10.1387 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/151871 en Металлофизика и новейшие технологии Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language English
topic Физико-технические основы эксперимента и диагностики
Физико-технические основы эксперимента и диагностики
spellingShingle Физико-технические основы эксперимента и диагностики
Физико-технические основы эксперимента и диагностики
Chafia Atailia
Lakhdar Deboub
Amar Boudour
Youcef Boumaiza
Scanning Acoustic Microscopy of Annealing Effects for Aluminium Thin Film Deposited on Silicon Substrate
Металлофизика и новейшие технологии
description Scanning acoustic microscope (SAM) has proved to be a powerful new technique for investigation and characterization of mechanical properties of materials, especially, the opaque ones. Non-destructive measurements can be carried out using SAM in the vicinity of materials’ surfaces or relatively deeper away from them. The present work is focussed on the effects of annealing on mechanical properties of samples composed of an Al layer (10 μμm) on Si substrate. Combining the results obtained from the so-called acoustic signature and acoustic images of the Al/Si interface with those from the lateral and longitudinal waves (Rayleigh speeds), it is possible to deduce that the best homogeneous adhesion is obtained after annealing at 500°C.
format Article
author Chafia Atailia
Lakhdar Deboub
Amar Boudour
Youcef Boumaiza
author_facet Chafia Atailia
Lakhdar Deboub
Amar Boudour
Youcef Boumaiza
author_sort Chafia Atailia
title Scanning Acoustic Microscopy of Annealing Effects for Aluminium Thin Film Deposited on Silicon Substrate
title_short Scanning Acoustic Microscopy of Annealing Effects for Aluminium Thin Film Deposited on Silicon Substrate
title_full Scanning Acoustic Microscopy of Annealing Effects for Aluminium Thin Film Deposited on Silicon Substrate
title_fullStr Scanning Acoustic Microscopy of Annealing Effects for Aluminium Thin Film Deposited on Silicon Substrate
title_full_unstemmed Scanning Acoustic Microscopy of Annealing Effects for Aluminium Thin Film Deposited on Silicon Substrate
title_sort scanning acoustic microscopy of annealing effects for aluminium thin film deposited on silicon substrate
publisher Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
publishDate 2018
topic_facet Физико-технические основы эксперимента и диагностики
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/151871
citation_txt Scanning Acoustic Microscopy of Annealing Effects for Aluminium Thin Film Deposited on Silicon Substrate / Chafia Atailia, Lakhdar Deboub, Amar Boudour, Youcef Boumaiza // Металлофизика и новейшие технологии. — 2018. — Т. 40, № 10. — С. 1387-1399. — Бібліогр.: 20 назв. — англ.
series Металлофизика и новейшие технологии
work_keys_str_mv AT chafiaatailia scanningacousticmicroscopyofannealingeffectsforaluminiumthinfilmdepositedonsiliconsubstrate
AT lakhdardeboub scanningacousticmicroscopyofannealingeffectsforaluminiumthinfilmdepositedonsiliconsubstrate
AT amarboudour scanningacousticmicroscopyofannealingeffectsforaluminiumthinfilmdepositedonsiliconsubstrate
AT youcefboumaiza scanningacousticmicroscopyofannealingeffectsforaluminiumthinfilmdepositedonsiliconsubstrate
first_indexed 2023-05-20T17:36:53Z
last_indexed 2023-05-20T17:36:53Z
_version_ 1796153694235918336

Схожі ресурси