Scanning Acoustic Microscopy of Annealing Effects for Aluminium Thin Film Deposited on Silicon Substrate
Scanning acoustic microscope (SAM) has proved to be a powerful new technique for investigation and characterization of mechanical properties of materials, especially, the opaque ones. Non-destructive measurements can be carried out using SAM in the vicinity of materials’ surfaces or relatively deepe...
Збережено в:
| Видавець: | Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
|---|---|
| Дата: | 2018 |
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2018
|
| Назва видання: | Металлофизика и новейшие технологии |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/151871 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Цитувати: | Scanning Acoustic Microscopy of Annealing Effects for Aluminium Thin Film Deposited on Silicon Substrate / Chafia Atailia, Lakhdar Deboub, Amar Boudour, Youcef Boumaiza // Металлофизика и новейшие технологии. — 2018. — Т. 40, № 10. — С. 1387-1399. — Бібліогр.: 20 назв. — англ. |