Возникновение и роль напряжения сжатия при ионном осаждении алмазоподобной пленки

У моделі нелокального термопружного піку описується процес формування механічних напруг у плівках, що осаджуються, при бомбардуванні іонами низької енергії. Отримано аналітичне вираження для напруг стиску, що є узагальненням відомої формули Девіса. Результати теорії застовуються для аналізу напруг у...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2009
Автори:	Стрельницкий, В.Е., Калиниченко, А.И., Перепелкин, С.С.
Формат:	Стаття
Мова:	Russian
Опубліковано:	Українське матеріалознавче товариство 2009
Теми:	Доповіді учасників V Міжнародної конференції
Онлайн доступ:	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/15857
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Возникновение и роль напряжения сжатия при ионном осаждении алмазоподобной пленки / В.Е.Стрельницкий, А.И.Калиниченко, С.С.Перепелкин // Вісник Українського матеріалознавчого товариства. — 2009. — № 1(2). — С. 43-50. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

id	irk-123456789-15857
record_format	dspace
spelling	irk-123456789-158572011-02-02T12:04:06Z Возникновение и роль напряжения сжатия при ионном осаждении алмазоподобной пленки Стрельницкий, В.Е. Калиниченко, А.И. Перепелкин, С.С. Доповіді учасників V Міжнародної конференції У моделі нелокального термопружного піку описується процес формування механічних напруг у плівках, що осаджуються, при бомбардуванні іонами низької енергії. Отримано аналітичне вираження для напруг стиску, що є узагальненням відомої формули Девіса. Результати теорії застовуються для аналізу напруг у ta-C покриттях, отриманих осадженням пучка іонів C+ з енергією від 25 еВ до 1000 еВ при різних температурах підкладки, і для пояснення впливу температури підкладки на співвідношення між sp² і sp³ станами у плівці, що осаджується. Отримані результати перебувають у якісній згоді з експериментальними даними по осадженню вуглецевих плівок з пучків іонів C+ при різних температурах підкладки. Получено аналитическое выражение для напряжений сжатия, которое является обобщением формулы Дэвиса. Результаты теории используются для анализа напряжений в ta-C покрытиях, полученных осаждением ионов C+ с энергией от 25 эВ до 1000 эВ при различных температурах подложки и для объяснения влияния температуры подложки на соотношение между sp² и sp³ состояниями в осаждаемой плёнке. Полученные результаты находятся в качественном согласии с экспериментальными данными по осаждению углеродных плёнок из пучков ионов C+ при различных температурах подложки. In the model of non-local thermoelastic peak of stress formation in deposited films at lowenergy ion bombardment is considered. The analytical expression for compressive stress which is generalization of Davis’s formula is obtained. The theoretical results are used for stress analysis in ta-C coatings obtained by deposition of C+ ions with energy from 25 eV up to 1000 eV at different substrate temperatures and for explanation of influence of substrate temperature on relationship between sp² and sp³ bonds in the deposited film. The results are in qualitative accordance with experimental data on deposition of carbon films from C+ ion beams at different substrate temperatures. 2009 Article Возникновение и роль напряжения сжатия при ионном осаждении алмазоподобной пленки / В.Е.Стрельницкий, А.И.Калиниченко, С.С.Перепелкин // Вісник Українського матеріалознавчого товариства. — 2009. — № 1(2). — С. 43-50. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. XXXX-0036 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/15857 621.762.01 ru Українське матеріалознавче товариство
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
language	Russian
topic	Доповіді учасників V Міжнародної конференції Доповіді учасників V Міжнародної конференції
spellingShingle	Доповіді учасників V Міжнародної конференції Доповіді учасників V Міжнародної конференції Стрельницкий, В.Е. Калиниченко, А.И. Перепелкин, С.С. Возникновение и роль напряжения сжатия при ионном осаждении алмазоподобной пленки
description	У моделі нелокального термопружного піку описується процес формування механічних напруг у плівках, що осаджуються, при бомбардуванні іонами низької енергії. Отримано аналітичне вираження для напруг стиску, що є узагальненням відомої формули Девіса. Результати теорії застовуються для аналізу напруг у ta-C покриттях, отриманих осадженням пучка іонів C+ з енергією від 25 еВ до 1000 еВ при різних температурах підкладки, і для пояснення впливу температури підкладки на співвідношення між sp² і sp³ станами у плівці, що осаджується. Отримані результати перебувають у якісній згоді з експериментальними даними по осадженню вуглецевих плівок з пучків іонів C+ при різних температурах підкладки.
format	Article
author	Стрельницкий, В.Е. Калиниченко, А.И. Перепелкин, С.С.
author_facet	Стрельницкий, В.Е. Калиниченко, А.И. Перепелкин, С.С.
author_sort	Стрельницкий, В.Е.
title	Возникновение и роль напряжения сжатия при ионном осаждении алмазоподобной пленки
title_short	Возникновение и роль напряжения сжатия при ионном осаждении алмазоподобной пленки
title_full	Возникновение и роль напряжения сжатия при ионном осаждении алмазоподобной пленки
title_fullStr	Возникновение и роль напряжения сжатия при ионном осаждении алмазоподобной пленки
title_full_unstemmed	Возникновение и роль напряжения сжатия при ионном осаждении алмазоподобной пленки
title_sort	возникновение и роль напряжения сжатия при ионном осаждении алмазоподобной пленки
publisher	Українське матеріалознавче товариство
publishDate	2009
topic_facet	Доповіді учасників V Міжнародної конференції
url	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/15857
citation_txt	Возникновение и роль напряжения сжатия при ионном осаждении алмазоподобной пленки / В.Е.Стрельницкий, А.И.Калиниченко, С.С.Перепелкин // Вісник Українського матеріалознавчого товариства. — 2009. — № 1(2). — С. 43-50. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.
work_keys_str_mv	AT strelʹnickijve vozniknovenieirolʹnaprâženiâsžatiâpriionnomosaždeniialmazopodobnojplenki AT kaliničenkoai vozniknovenieirolʹnaprâženiâsžatiâpriionnomosaždeniialmazopodobnojplenki AT perepelkinss vozniknovenieirolʹnaprâženiâsžatiâpriionnomosaždeniialmazopodobnojplenki
first_indexed	2023-10-18T16:56:22Z
last_indexed	2023-10-18T16:56:22Z
_version_	1796140267202412544

Возникновение и роль напряжения сжатия при ионном осаждении алмазоподобной пленки

Репозитарії

Схожі ресурси