Морфология поверхности и тонкая структура толстых углеродных пленок, полученных электронно-лучевым испарением углерода
Приведены результаты исследования морфологии поверхности и тонкой структуры толстых (25…50 мкм) пленок углерода, полученных из паровой фазы с использованием электронно-лучевой технологии испарения графита и последующей конденсации в вакууме. Исследованы структуры углеродных пленок в широком интервал...
Збережено в:
| Дата: | 2017 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України
2017
|
| Назва видання: | Современная электрометаллургия |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/160334 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Морфология поверхности и тонкая структура толстых углеродных пленок, полученных электронно-лучевым испарением углерода / Ю.А. Курапов, Л.А. Крушинская, В.В. Борецкий // Современная электрометаллургия. — 2017. — № 2 (127). — С. 53-58. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |