Взаимодействие частиц шлама с частицами износа полировального порошка при полировании оптоэлектронных элементов
В результате анализа взаимодействия частиц шлама и износа полировального порошка показано, что рассеяние частиц происходит на углы 136,8°–173,2°, а эффективное дифференциальное сечение рассеяния составляет 0,4–1,8 Тб. Траектории движения частиц представляют собой кольца, расположенные у обрабатываем...
Збережено в:
| Дата: | 2018 |
|---|---|
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
2018
|
| Назва видання: | Сверхтвердые материалы |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/167106 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Взаимодействие частиц шлама с частицами износа полировального порошка при полировании оптоэлектронных элементов / Ю.Д. Филатов // Сверхтвердые материалы. — 2018. — № 4. — С. 71-81. — Бібліогр.: 18 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-167106 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1671062020-03-16T01:26:12Z Взаимодействие частиц шлама с частицами износа полировального порошка при полировании оптоэлектронных элементов Филатов, Ю.Д. Исследование процессов обработки В результате анализа взаимодействия частиц шлама и износа полировального порошка показано, что рассеяние частиц происходит на углы 136,8°–173,2°, а эффективное дифференциальное сечение рассеяния составляет 0,4–1,8 Тб. Траектории движения частиц представляют собой кольца, расположенные у обрабатываемой поверхности в зоне, толщина которой приблизительно равна среднему радиусу зерна полировального порошка. В результаті аналізу взаємодії частинок шламу та зносу полірувального порошку показано, що розсіювання частинок відбувається на кути 136,8°–173,2°, а ефективний диференційний переріз розсіювання складає 0,4–1,8 Тб. Траєкторії руху частинок являють собою кільця, розташовані поблизу оброблюваної поверхні у зоні, товщина якої приблизно дорівнює середньому радіусу зерна полірувального порошку. The analysis of interaction between debris particles and polishing powder wear particles has demonstrated that the scattering of particles occurs through angles of 136.8° to 173.2°, and the effective differential scattering cross-section is 0.4 to 1.8 Tb. The trajectories of particles are rings located near the the workpiece surface within a zone whose thickness approximates the mean grain radius of the polishing powder. 2018 Article Взаимодействие частиц шлама с частицами износа полировального порошка при полировании оптоэлектронных элементов / Ю.Д. Филатов // Сверхтвердые материалы. — 2018. — № 4. — С. 71-81. — Бібліогр.: 18 назв. — рос. 0203-3119 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/167106 621.923.7-492.2:621.38 ru Сверхтвердые материалы Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Исследование процессов обработки Исследование процессов обработки |
| spellingShingle |
Исследование процессов обработки Исследование процессов обработки Филатов, Ю.Д. Взаимодействие частиц шлама с частицами износа полировального порошка при полировании оптоэлектронных элементов Сверхтвердые материалы |
| description |
В результате анализа взаимодействия частиц шлама и износа полировального порошка показано, что рассеяние частиц происходит на углы 136,8°–173,2°, а эффективное дифференциальное сечение рассеяния составляет 0,4–1,8 Тб. Траектории движения частиц представляют собой кольца, расположенные у обрабатываемой поверхности в зоне, толщина которой приблизительно равна среднему радиусу зерна полировального порошка. |
| format |
Article |
| author |
Филатов, Ю.Д. |
| author_facet |
Филатов, Ю.Д. |
| author_sort |
Филатов, Ю.Д. |
| title |
Взаимодействие частиц шлама с частицами износа полировального порошка при полировании оптоэлектронных элементов |
| title_short |
Взаимодействие частиц шлама с частицами износа полировального порошка при полировании оптоэлектронных элементов |
| title_full |
Взаимодействие частиц шлама с частицами износа полировального порошка при полировании оптоэлектронных элементов |
| title_fullStr |
Взаимодействие частиц шлама с частицами износа полировального порошка при полировании оптоэлектронных элементов |
| title_full_unstemmed |
Взаимодействие частиц шлама с частицами износа полировального порошка при полировании оптоэлектронных элементов |
| title_sort |
взаимодействие частиц шлама с частицами износа полировального порошка при полировании оптоэлектронных элементов |
| publisher |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України |
| publishDate |
2018 |
| topic_facet |
Исследование процессов обработки |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/167106 |
| citation_txt |
Взаимодействие частиц шлама с частицами износа полировального порошка при полировании оптоэлектронных элементов / Ю.Д. Филатов // Сверхтвердые материалы. — 2018. — № 4. — С. 71-81. — Бібліогр.: 18 назв. — рос. |
| series |
Сверхтвердые материалы |
| work_keys_str_mv |
AT filatovûd vzaimodejstviečasticšlamasčasticamiiznosapolirovalʹnogoporoškapripolirovaniioptoélektronnyhélementov |
| first_indexed |
2023-10-18T22:20:01Z |
| last_indexed |
2023-10-18T22:20:01Z |
| _version_ |
1796155242373447680 |