Вплив середовища відпалу на швидкість дифузії ніклю до поверхні тонкоплівкової системи Au/Ni

За даними мас-спектрометрії вторинних йонів, електронної Оже-спектроскопії, Рентґенової дифракції, оптичної та атомово-силової мікроскопії досліджено інтенсивність розвитку дифузійних процесів і зміни морфології поверхні в системі Au (120 нм)/Ni (70 нм) за умов відпалу за температури 200 °C впродовж...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2012
Автори: Сидоренко, С.І., Волошко, С.М., Міщук, О.О., Тинькова, А.А.
Формат: Стаття
Мова:Ukrainian
Опубліковано: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2012
Назва видання:Металлофизика и новейшие технологии
Теми:
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/167704
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Вплив середовища відпалу на швидкість дифузії ніклю до поверхні тонкоплівкової системи Au/Ni / С.І. Сидоренко, С.М. Волошко, О.О. Міщук, А.А. Тинькова // Металлофизика и новейшие технологии. — 2012. — Т. 34, № 1. — С. 65-76. — Бібліогр.: 13 назв. — укр.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-167704
record_format dspace
spelling irk-123456789-1677042020-04-06T01:28:14Z Вплив середовища відпалу на швидкість дифузії ніклю до поверхні тонкоплівкової системи Au/Ni Сидоренко, С.І. Волошко, С.М. Міщук, О.О. Тинькова, А.А. Металлические поверхности и плёнки За даними мас-спектрометрії вторинних йонів, електронної Оже-спектроскопії, Рентґенової дифракції, оптичної та атомово-силової мікроскопії досліджено інтенсивність розвитку дифузійних процесів і зміни морфології поверхні в системі Au (120 нм)/Ni (70 нм) за умов відпалу за температури 200 °C впродовж 20 хв. у вакуумній камері за різних значень тиску залишкової атмосфери (10⁻³ Па і 10⁻⁶ Па) та в середовищі водню під тиском у 5∙10² Па. По данным масс-спектрометрии вторичных ионов, электронной ожеспектроскопии, рентгеновской дифракции, оптической и атомно-силовой микроскопии исследованы интенсивность развития диффузионных процессов и изменения морфологии поверхности в системе Au (120 нм)/Ni (70 нм) в условиях отжига при температуре 200°C на протяжении 20 мин. в вакуумной камере при различных значениях давления остаточной атмосферы (10⁻³ Па и 10⁻⁶ Па) и в среде водорода при давлении 5∙10² Па. Development of the interdiffusion processes and surface-morphology changes in Au (120 nm)/Ni (70 nm) system are studied during 20 min heating at 200°C in a vacuum with different residual atmosphere pressure (10⁻³ and 10⁻⁶ Pa) and in the ambient of hydrogen at pressure of 5∙10² Pa according to the data of the secondary ion mass-spectrometry (SIMS), Auger electron spectroscopy (AES), x-ray diffraction, optical and atomic force microscopy. 2012 Article Вплив середовища відпалу на швидкість дифузії ніклю до поверхні тонкоплівкової системи Au/Ni / С.І. Сидоренко, С.М. Волошко, О.О. Міщук, А.А. Тинькова // Металлофизика и новейшие технологии. — 2012. — Т. 34, № 1. — С. 65-76. — Бібліогр.: 13 назв. — укр. 1024-1809 PACS numbers: 61.72.Cc, 68.35.Fx,68.37.Ps,68.49.Sf,68.55.jd,82.80.Ms, 82.80.Pv http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/167704 uk Металлофизика и новейшие технологии Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Ukrainian
topic Металлические поверхности и плёнки
Металлические поверхности и плёнки
spellingShingle Металлические поверхности и плёнки
Металлические поверхности и плёнки
Сидоренко, С.І.
Волошко, С.М.
Міщук, О.О.
Тинькова, А.А.
Вплив середовища відпалу на швидкість дифузії ніклю до поверхні тонкоплівкової системи Au/Ni
Металлофизика и новейшие технологии
description За даними мас-спектрометрії вторинних йонів, електронної Оже-спектроскопії, Рентґенової дифракції, оптичної та атомово-силової мікроскопії досліджено інтенсивність розвитку дифузійних процесів і зміни морфології поверхні в системі Au (120 нм)/Ni (70 нм) за умов відпалу за температури 200 °C впродовж 20 хв. у вакуумній камері за різних значень тиску залишкової атмосфери (10⁻³ Па і 10⁻⁶ Па) та в середовищі водню під тиском у 5∙10² Па.
format Article
author Сидоренко, С.І.
Волошко, С.М.
Міщук, О.О.
Тинькова, А.А.
author_facet Сидоренко, С.І.
Волошко, С.М.
Міщук, О.О.
Тинькова, А.А.
author_sort Сидоренко, С.І.
title Вплив середовища відпалу на швидкість дифузії ніклю до поверхні тонкоплівкової системи Au/Ni
title_short Вплив середовища відпалу на швидкість дифузії ніклю до поверхні тонкоплівкової системи Au/Ni
title_full Вплив середовища відпалу на швидкість дифузії ніклю до поверхні тонкоплівкової системи Au/Ni
title_fullStr Вплив середовища відпалу на швидкість дифузії ніклю до поверхні тонкоплівкової системи Au/Ni
title_full_unstemmed Вплив середовища відпалу на швидкість дифузії ніклю до поверхні тонкоплівкової системи Au/Ni
title_sort вплив середовища відпалу на швидкість дифузії ніклю до поверхні тонкоплівкової системи au/ni
publisher Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
publishDate 2012
topic_facet Металлические поверхности и плёнки
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/167704
citation_txt Вплив середовища відпалу на швидкість дифузії ніклю до поверхні тонкоплівкової системи Au/Ni / С.І. Сидоренко, С.М. Волошко, О.О. Міщук, А.А. Тинькова // Металлофизика и новейшие технологии. — 2012. — Т. 34, № 1. — С. 65-76. — Бібліогр.: 13 назв. — укр.
series Металлофизика и новейшие технологии
work_keys_str_mv AT sidorenkosí vplivseredoviŝavídpalunašvidkístʹdifuzííníklûdopoverhnítonkoplívkovoísistemiauni
AT vološkosm vplivseredoviŝavídpalunašvidkístʹdifuzííníklûdopoverhnítonkoplívkovoísistemiauni
AT míŝukoo vplivseredoviŝavídpalunašvidkístʹdifuzííníklûdopoverhnítonkoplívkovoísistemiauni
AT tinʹkovaaa vplivseredoviŝavídpalunašvidkístʹdifuzííníklûdopoverhnítonkoplívkovoísistemiauni
first_indexed 2023-10-18T22:21:24Z
last_indexed 2023-10-18T22:21:24Z
_version_ 1796155301477482496