Вплив середовища відпалу на швидкість дифузії ніклю до поверхні тонкоплівкової системи Au/Ni
За даними мас-спектрометрії вторинних йонів, електронної Оже-спектроскопії, Рентґенової дифракції, оптичної та атомово-силової мікроскопії досліджено інтенсивність розвитку дифузійних процесів і зміни морфології поверхні в системі Au (120 нм)/Ni (70 нм) за умов відпалу за температури 200 °C впродовж...
Збережено в:
Дата: | 2012 |
---|---|
Автори: | , , , |
Формат: | Стаття |
Мова: | Ukrainian |
Опубліковано: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2012
|
Назва видання: | Металлофизика и новейшие технологии |
Теми: | |
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/167704 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Цитувати: | Вплив середовища відпалу на швидкість дифузії ніклю до поверхні тонкоплівкової системи Au/Ni / С.І. Сидоренко, С.М. Волошко, О.О. Міщук, А.А. Тинькова // Металлофизика и новейшие технологии. — 2012. — Т. 34, № 1. — С. 65-76. — Бібліогр.: 13 назв. — укр. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraineid |
irk-123456789-167704 |
---|---|
record_format |
dspace |
spelling |
irk-123456789-1677042020-04-06T01:28:14Z Вплив середовища відпалу на швидкість дифузії ніклю до поверхні тонкоплівкової системи Au/Ni Сидоренко, С.І. Волошко, С.М. Міщук, О.О. Тинькова, А.А. Металлические поверхности и плёнки За даними мас-спектрометрії вторинних йонів, електронної Оже-спектроскопії, Рентґенової дифракції, оптичної та атомово-силової мікроскопії досліджено інтенсивність розвитку дифузійних процесів і зміни морфології поверхні в системі Au (120 нм)/Ni (70 нм) за умов відпалу за температури 200 °C впродовж 20 хв. у вакуумній камері за різних значень тиску залишкової атмосфери (10⁻³ Па і 10⁻⁶ Па) та в середовищі водню під тиском у 5∙10² Па. По данным масс-спектрометрии вторичных ионов, электронной ожеспектроскопии, рентгеновской дифракции, оптической и атомно-силовой микроскопии исследованы интенсивность развития диффузионных процессов и изменения морфологии поверхности в системе Au (120 нм)/Ni (70 нм) в условиях отжига при температуре 200°C на протяжении 20 мин. в вакуумной камере при различных значениях давления остаточной атмосферы (10⁻³ Па и 10⁻⁶ Па) и в среде водорода при давлении 5∙10² Па. Development of the interdiffusion processes and surface-morphology changes in Au (120 nm)/Ni (70 nm) system are studied during 20 min heating at 200°C in a vacuum with different residual atmosphere pressure (10⁻³ and 10⁻⁶ Pa) and in the ambient of hydrogen at pressure of 5∙10² Pa according to the data of the secondary ion mass-spectrometry (SIMS), Auger electron spectroscopy (AES), x-ray diffraction, optical and atomic force microscopy. 2012 Article Вплив середовища відпалу на швидкість дифузії ніклю до поверхні тонкоплівкової системи Au/Ni / С.І. Сидоренко, С.М. Волошко, О.О. Міщук, А.А. Тинькова // Металлофизика и новейшие технологии. — 2012. — Т. 34, № 1. — С. 65-76. — Бібліогр.: 13 назв. — укр. 1024-1809 PACS numbers: 61.72.Cc, 68.35.Fx,68.37.Ps,68.49.Sf,68.55.jd,82.80.Ms, 82.80.Pv http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/167704 uk Металлофизика и новейшие технологии Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
collection |
DSpace DC |
language |
Ukrainian |
topic |
Металлические поверхности и плёнки Металлические поверхности и плёнки |
spellingShingle |
Металлические поверхности и плёнки Металлические поверхности и плёнки Сидоренко, С.І. Волошко, С.М. Міщук, О.О. Тинькова, А.А. Вплив середовища відпалу на швидкість дифузії ніклю до поверхні тонкоплівкової системи Au/Ni Металлофизика и новейшие технологии |
description |
За даними мас-спектрометрії вторинних йонів, електронної Оже-спектроскопії, Рентґенової дифракції, оптичної та атомово-силової мікроскопії досліджено інтенсивність розвитку дифузійних процесів і зміни морфології поверхні в системі Au (120 нм)/Ni (70 нм) за умов відпалу за температури 200 °C впродовж 20 хв. у вакуумній камері за різних значень тиску залишкової атмосфери (10⁻³ Па і 10⁻⁶ Па) та в середовищі водню під тиском у 5∙10² Па. |
format |
Article |
author |
Сидоренко, С.І. Волошко, С.М. Міщук, О.О. Тинькова, А.А. |
author_facet |
Сидоренко, С.І. Волошко, С.М. Міщук, О.О. Тинькова, А.А. |
author_sort |
Сидоренко, С.І. |
title |
Вплив середовища відпалу на швидкість дифузії ніклю до поверхні тонкоплівкової системи Au/Ni |
title_short |
Вплив середовища відпалу на швидкість дифузії ніклю до поверхні тонкоплівкової системи Au/Ni |
title_full |
Вплив середовища відпалу на швидкість дифузії ніклю до поверхні тонкоплівкової системи Au/Ni |
title_fullStr |
Вплив середовища відпалу на швидкість дифузії ніклю до поверхні тонкоплівкової системи Au/Ni |
title_full_unstemmed |
Вплив середовища відпалу на швидкість дифузії ніклю до поверхні тонкоплівкової системи Au/Ni |
title_sort |
вплив середовища відпалу на швидкість дифузії ніклю до поверхні тонкоплівкової системи au/ni |
publisher |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
publishDate |
2012 |
topic_facet |
Металлические поверхности и плёнки |
url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/167704 |
citation_txt |
Вплив середовища відпалу на швидкість дифузії ніклю до поверхні тонкоплівкової системи Au/Ni / С.І. Сидоренко, С.М. Волошко, О.О. Міщук, А.А. Тинькова // Металлофизика и новейшие технологии. — 2012. — Т. 34, № 1. — С. 65-76. — Бібліогр.: 13 назв. — укр. |
series |
Металлофизика и новейшие технологии |
work_keys_str_mv |
AT sidorenkosí vplivseredoviŝavídpalunašvidkístʹdifuzííníklûdopoverhnítonkoplívkovoísistemiauni AT vološkosm vplivseredoviŝavídpalunašvidkístʹdifuzííníklûdopoverhnítonkoplívkovoísistemiauni AT míŝukoo vplivseredoviŝavídpalunašvidkístʹdifuzííníklûdopoverhnítonkoplívkovoísistemiauni AT tinʹkovaaa vplivseredoviŝavídpalunašvidkístʹdifuzííníklûdopoverhnítonkoplívkovoísistemiauni |
first_indexed |
2023-10-18T22:21:24Z |
last_indexed |
2023-10-18T22:21:24Z |
_version_ |
1796155301477482496 |