2025-02-23T03:35:39-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-167739%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T03:35:39-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-167739%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T03:35:39-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T03:35:39-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response

Структурно-фазовые превращения в наноразмерной системе Cu/Cr при термическом и ионном воздействиях

Исследованы особенности формирования структуры и фазового состава системы Cu(25 нм)/Cr(25 нм) при отжиге в вакууме в широком температурном интервале. Зафиксировано развитие окислительно-восстановительных процессов, которые можно эффективно контролировать путём использования дополнительной ионно-плаз...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Круглов, И.А., Котенко, И.Е., Грищенко, В.А., Сидоренко, С.И., Волошко, С.М.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2019
Series:Металлофизика и новейшие технологии
Subjects:
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/167739
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Description
Summary:Исследованы особенности формирования структуры и фазового состава системы Cu(25 нм)/Cr(25 нм) при отжиге в вакууме в широком температурном интервале. Зафиксировано развитие окислительно-восстановительных процессов, которые можно эффективно контролировать путём использования дополнительной ионно-плазменной обработки. Низкоэнергетическое ионное воздействие позволяет также стабилизировать нанокристаллическую структуру путём торможения процессов рекристаллизации и таким образом повысить термическую стабильность рабочих плёночных элементов микро- и наноэлектронных устройств.